高純氣體中間供氣系統(tǒng)是專為高精度分析測(cè)試設(shè)備所用高純工作氣體的傳輸而設(shè)計(jì),系統(tǒng)需要為分析設(shè)備提供壓力、流量穩(wěn)定且經(jīng)過(guò)長(zhǎng)距離傳輸后純度不變的高純氣體以滿足各種高精度分析設(shè)備的使用要求。系統(tǒng)同時(shí)還應(yīng)該滿足安全性的要求,并方便客戶的日常使用及管理。1.氣瓶間內(nèi)存放的氣瓶采用帶防倒鏈的氣瓶支架固定,氣瓶支架堅(jiān)固耐用、美觀大方。氣瓶支架采用鋁合金制作而成。2.氣瓶間內(nèi)的氣體鋼瓶與壓力調(diào)節(jié)器之間采用SS316L高壓金屬軟管連接無(wú)滲透。高壓軟管為柔性軟管,以保證連接的方便性。并自導(dǎo)防護(hù)鋼纜,預(yù)防極端情況下,鋼瓶閥損壞等現(xiàn)象帶來(lái)的高壓“抽鞭”事故。壓力調(diào)節(jié)器與管道的連接方式為雙環(huán)卡套。3.高壓軟管上的鋼瓶接頭...
高純/特種氣體的概念,半導(dǎo)體集成電路制造所需要的高純氣體主要分為兩大類:1.普通氣體:也叫大宗氣體,主要有:H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。2.特種氣體:主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體等。氣力輸送設(shè)計(jì)的計(jì)算方法:1、確定各工作參數(shù)。氣力輸送的主要工作參數(shù)包括輸送量、混合比(輸送濃度)和氣流速度等,這些參數(shù)的正確確定,對(duì)氣力輸送系統(tǒng)的選擇和運(yùn)行的經(jīng)濟(jì)性有很大的影響。2、確定各主要部件的型式和結(jié)構(gòu)尺寸,如選用吸送式氣力輸送型式,則要注意吸嘴的選型,繪制出系統(tǒng)示意圖。3、計(jì)算出系統(tǒng)各部分的壓力損失及管道總壓力損失。4、根據(jù)風(fēng)網(wǎng)總風(fēng)量和總壓力損失選擇合適的風(fēng)機(jī),并...
有一種極端應(yīng)用是在很短的時(shí)間內(nèi)需要大量的壓縮空氣,這種極端應(yīng)用模式通過(guò)壓縮機(jī)的選擇或管還有一種更極端的應(yīng)用場(chǎng)景,在極短的時(shí)間能需要使用大量壓縮空氣,但是每次用氣的間隔周期非常長(zhǎng)。這種情況下用一個(gè)較小的壓縮機(jī)、但有較高的排氣壓力,再配置一個(gè)儲(chǔ)氣罐,這樣的配置組合非常適合這樣的極端應(yīng)用場(chǎng)景。下面這個(gè)公式可用于這種場(chǎng)景的儲(chǔ)氣罐選型計(jì)算: 儲(chǔ)氣罐容積 (l); q = 泄空階段空氣流速 (l/s); t = 泄空階段時(shí)間 (s); p1 = 網(wǎng)絡(luò)中額定工作壓力 (bar); p2 = 消費(fèi)者運(yùn)行中的較小壓力 (bar); L = 充盈期空氣需求(1/工作周期)該公式?jīng)]有考慮壓縮機(jī)在排空階段也能提供壓縮...
氣體管道連接規(guī)范:1、氣體管道的連接應(yīng)采用焊接或法蘭連接等形式。氫氣管道不得用螺紋連接。高純氣體管道應(yīng)采用承插焊接。2、氣體管道與設(shè)備、閥門(mén)及其他附件的連接應(yīng)采用法蘭或螺紋連接。螺紋接頭的絲扣填料應(yīng)采用聚四氟乙烯薄膜或一氧化鉛、甘油調(diào)合填料。氣體管道設(shè)計(jì)規(guī)范:1、本章規(guī)定適用于壓力不大于0.8MPa的氫氣、氧氣、氮?dú)?、煤氣、壓縮空氣和真空等實(shí)驗(yàn)室內(nèi)氣體管道設(shè)計(jì)。2、氣體管道設(shè)計(jì)除應(yīng)按現(xiàn)行的《城鎮(zhèn)燃?xì)庠O(shè)計(jì)規(guī)范》、《工業(yè)企業(yè)煤氣安全規(guī)程》、《氧氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》、《氫氣使用安全技術(shù)規(guī)程》等的規(guī)定執(zhí)行外,尚應(yīng)符合本規(guī)范的規(guī)定。3、氫氣、氧氣和煤氣管道以及引入實(shí)驗(yàn)室的各種氣體管道支管宜明敷。當(dāng)管道井、管道...
氣路的布線:1.氣瓶間內(nèi)壓力調(diào)節(jié)面板與實(shí)驗(yàn)室內(nèi)的氣路終端之間選用SS316LBA管進(jìn)行連接,管道內(nèi)表面光潔度為Ra10,氧氣較大流速 (m/s) 20以下 15 12 10 8 4,真空管道管徑:,由于負(fù)壓管道不易方便精確計(jì)算,可參考下表經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù)選?。?,吸引管道管徑估算表,管徑 (mm) 15 20 25 32 40 50,吸引嘴數(shù) (個(gè)) 12 21 24 62 84 140。室內(nèi)氫氣管道不應(yīng)敷設(shè)在地溝內(nèi)或直接埋地,不得穿過(guò)不使用氫氣的房間。實(shí)驗(yàn)室氣體管道設(shè)計(jì)的流程是一個(gè)需要經(jīng)歷多個(gè)步驟的過(guò)程。對(duì)于實(shí)驗(yàn)室來(lái)說(shuō),氣體管道是非常重要的設(shè)施之一,通過(guò)管道可以將氣體輸送到不同的實(shí)驗(yàn)設(shè)備中,保證實(shí)驗(yàn)室...
對(duì)于低蒸汽壓氣體(WF6,DCS,BCl3,C5F8,ClF3等),需要考慮鋼瓶加熱,氣體面板加熱,管道伴熱等。為了精確控制流量,在氣源端一般會(huì)考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì),壓力調(diào)節(jié)閥。對(duì)于劇毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w,應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì),即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn),要點(diǎn)對(duì)點(diǎn),中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此,整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配,中間沒(méi)有三通。然后管道還要有良好的接地。管道系統(tǒng)應(yīng)有維護(hù)保養(yǎng)的方便性,包括檢修口、閥門(mén)的可訪問(wèn)性和更換部件的便捷性。杭州特殊氣體管道設(shè)計(jì)施工...
有一種極端應(yīng)用是在很短的時(shí)間內(nèi)需要大量的壓縮空氣,這種極端應(yīng)用模式通過(guò)壓縮機(jī)的選擇或管還有一種更極端的應(yīng)用場(chǎng)景,在極短的時(shí)間能需要使用大量壓縮空氣,但是每次用氣的間隔周期非常長(zhǎng)。這種情況下用一個(gè)較小的壓縮機(jī)、但有較高的排氣壓力,再配置一個(gè)儲(chǔ)氣罐,這樣的配置組合非常適合這樣的極端應(yīng)用場(chǎng)景。下面這個(gè)公式可用于這種場(chǎng)景的儲(chǔ)氣罐選型計(jì)算: 儲(chǔ)氣罐容積 (l); q = 泄空階段空氣流速 (l/s); t = 泄空階段時(shí)間 (s); p1 = 網(wǎng)絡(luò)中額定工作壓力 (bar); p2 = 消費(fèi)者運(yùn)行中的較小壓力 (bar); L = 充盈期空氣需求(1/工作周期)該公式?jīng)]有考慮壓縮機(jī)在排空階段也能提供壓縮...
易燃易爆氣體管道設(shè)計(jì)要求:①可燃?xì)怏w的報(bào)警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)裝置設(shè)電氣連鎖,當(dāng)空氣中的可燃?xì)怏w濃度達(dá)到規(guī)定值時(shí),事故排風(fēng)裝置自動(dòng)開(kāi)啟,同時(shí)向潔凈廠房的消防安全值班室發(fā)出報(bào)警信號(hào)。②為防止倒流回火應(yīng)在用氣設(shè)備的支管上設(shè)置阻火器,在排入大氣的排氣管道上,為防止排氣時(shí)突遇雷電襲擊阻止火焰蔓延至可燃?xì)怏w管道引發(fā)燃燒爆裂事故,必須在排氣管道上設(shè)置阻火器。③各種可燃?xì)怏w管道系統(tǒng)均應(yīng)設(shè)置能引入氮?dú)獾榷栊詺怏w的接口及相應(yīng)的檢測(cè)口,以便在可燃?xì)怏w供應(yīng)系統(tǒng)使用前后或檢修動(dòng)火前后對(duì)其系統(tǒng)進(jìn)行吹掃置換,但是惰性氣體吹掃接口在正常運(yùn)行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通,以避免影響氣體質(zhì)量。在亞微米級(jí)的集成電路生產(chǎn)中...
所有減壓器都需要連接一條通出氣體存西藏的排氣管路。易燃、氧化氣體排氣管路不能并在一起。所有設(shè)計(jì)和施工必須符合相關(guān)的規(guī)范和要求,如:《科學(xué)實(shí)驗(yàn)室建筑設(shè)計(jì)規(guī)范》–JGJ 91-93;《氫氣使用安全技術(shù)規(guī)程》-GB 4962-1985;《現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》-GB50236-1998。(上海圖勃?dú)怏w工程有限公司)所有氣體管路都由高質(zhì)量的、完全退火型、無(wú)縫連接的不銹鋼管(BA級(jí))組成。銅管只使用在氣體管路的末端,對(duì)氣體純度要求不是太嚴(yán)格的地方。(比如通風(fēng)柜)。應(yīng)盡量減少?gòu)澢苑乐贡粋鬏數(shù)臍怏w壓力、流量損失過(guò)大。江蘇氫氣氣體管道設(shè)計(jì)廠商實(shí)驗(yàn)室氣體管道安全性,氣體管道應(yīng)使用耐腐蝕、耐...
輔助系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。氣體柜或控制面板在安裝和運(yùn)輸?shù)倪^(guò)程中由于搬運(yùn)和震動(dòng),閥門(mén)、接頭、過(guò)濾器等的更換、或其他原因、需要對(duì)其重新進(jìn)行高壓氣密性試驗(yàn)和氦檢,氣體的置換也需要用到高壓氮?dú)饣蚝猓蕴貧夤裥柙O(shè)計(jì)接入高壓惰性氣體氦氣或氮?dú)?。一般選擇在特氣房設(shè)置一臺(tái)或多臺(tái)惰性氣體柜。材料的選擇。特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光(EP)管道,閥門(mén)一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過(guò)濾器、(
管道吹掃,應(yīng)采用高純氮?dú)猓?9.999%),從氣體入口端向末端進(jìn)行吹掃,現(xiàn)場(chǎng)有時(shí)為了方便和節(jié)約成本,也可采用高純凈的干燥壓縮空氣(lu點(diǎn)為-70℃,無(wú)油,經(jīng)過(guò)0.01μΜ的高精度氣體過(guò)濾器過(guò)濾)。沿著氣流的方向用木棒輕輕敲打外壁,每個(gè)閥門(mén)應(yīng)反復(fù)開(kāi)關(guān)幾次后再常開(kāi),連續(xù)吹掃至少24h以上。檢查后再進(jìn)行各種純度試驗(yàn),吹掃完畢應(yīng)及時(shí)貼好標(biāo)簽,標(biāo)簽應(yīng)包括介質(zhì)、流向、顏色等內(nèi)容。醫(yī)療氣體管線供給系統(tǒng)是一個(gè)現(xiàn)代化醫(yī)院重要的且必不可少的組成部分,它包括醫(yī)用氧氣系統(tǒng)、負(fù)壓吸引系統(tǒng)、壓縮空氣系統(tǒng)、笑氣(N2O)、氮?dú)庀到y(tǒng)及二氧化碳系統(tǒng)和中心工作站等。氫氣和氮?dú)獾臍馄看娣砰g應(yīng)有每小時(shí)不小于三次換氣的通風(fēng)措施。臺(tái)州氣...
助燃?xì)怏w:窒息性氣體,此類氣體無(wú)色、無(wú)臭、低毒性,但是大量窒息性氣體的泄漏或排入大氣中會(huì)使空氣中氧的濃度降低,當(dāng)空氣中的氧濃度低于18%時(shí),人會(huì)感覺(jué)到頭暈惡心,甚至?xí)斐芍舷⑺劳?。所以一定要?yán)防氣體的泄漏。在使用場(chǎng)所設(shè)置必要的換氣,及時(shí)將窒息性氣體排至室外。有毒氣體,在使用、貯存有毒氣體的場(chǎng)所應(yīng)設(shè)有可靠的通風(fēng)裝置。和毒氣泄漏報(bào)警裝置一旦空氣中有毒氣體達(dá)到規(guī)定值時(shí),應(yīng)進(jìn)行報(bào)警,同時(shí)自動(dòng)開(kāi)啟自動(dòng)排氣裝置,有毒氣體在排入大氣前必須經(jīng)過(guò)可靠的處理,達(dá)到規(guī)定的無(wú)害狀態(tài)后方可排放。此類氣體一遇水就會(huì)顯示強(qiáng)腐蝕性,因此在腐蝕性氣體系統(tǒng)使用前應(yīng)以干燥氮?dú)獾葘?duì)系統(tǒng)設(shè)備、管道進(jìn)行吹掃、干燥,尤其時(shí)高壓儲(chǔ)氣瓶的灌裝...
管道敷設(shè)要求:1)輸送干燥氣體的管道宜水平安裝, 輪送潮濕氣體的管道應(yīng)有不小于0.3%的坡度,坡向冷凝液體收集器。2)氧氣管道與其他氣體管道可同架敷設(shè),其間距不得小于0.25m,氧氣管道應(yīng)處于除氫氣管道外的其他氣體管道之上。3)氫氣管道與其他可燃?xì)怏w管道平行敷設(shè)時(shí),其間距不應(yīng)小于0.50m ; 交叉敷設(shè)時(shí),其間距不應(yīng)小于0.25m。分層敷設(shè)時(shí),氫氣管道應(yīng)位于上方。室內(nèi)氫氣管道不應(yīng)敷設(shè)在地溝內(nèi)或直接埋地,不得穿過(guò)不使用氫氣的房間。4)氣體管道不得和電纜、導(dǎo)電線路同架敷設(shè)。氫氣和氮?dú)獾臍馄看娣砰g應(yīng)有每小時(shí)不小于三次換氣的通風(fēng)措施。杭州工業(yè)氣體管道設(shè)計(jì)注意事項(xiàng)氣體管道連接規(guī)范:1、氣體管道的連接應(yīng)采...
高純氣體管路的設(shè)計(jì)要點(diǎn):1.根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況,高純氣體的管網(wǎng)不宜過(guò)大或者過(guò)長(zhǎng);宜采用不封閉的環(huán)形管路,在系統(tǒng)末端連續(xù)不斷排放少量的氣體,以便在管網(wǎng)中總有高純氣體流通,不會(huì)發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。2.管路中應(yīng)減少不流動(dòng)氣體的“死空間”,不應(yīng)設(shè)有盲管,在特種氣體的儲(chǔ)氣瓶與用氣設(shè)備之間應(yīng)設(shè)吹掃控制裝置、多閥門(mén)控制裝置、用以控制各個(gè)閥門(mén)的開(kāi)關(guān)順序、系統(tǒng)吹除,以確保供氣系統(tǒng)的安全、可靠運(yùn)行和防止“死區(qū)”形成而滯留污染物,降低氣體純度。使用氫氣及可燃?xì)怏w的實(shí)驗(yàn)室應(yīng)設(shè)置報(bào)警裝置。浙江鋁合金氣體管道設(shè)計(jì)市價(jià)實(shí)驗(yàn)室高純氣體管道設(shè)計(jì)需要根據(jù)實(shí)驗(yàn)室的布局和空間來(lái)確定管道的走向和布置。由于實(shí)驗(yàn)室內(nèi)部的...
負(fù)壓吸引系統(tǒng):系統(tǒng)需設(shè)水分離器,地面必須有排水槽。油潤(rùn)滑滑片式真空泵:具有空氣冷卻、低噪音、震動(dòng)少的優(yōu)點(diǎn)。內(nèi)部單向閥保護(hù)吸引系統(tǒng)不被污染,油霧分離器保護(hù)環(huán)境和減少油的損失。由于該設(shè)備是空氣冷卻,設(shè)備機(jī)房必須要有良好的透風(fēng)。負(fù)壓吸引系統(tǒng)附屬設(shè)備:雙重細(xì)菌過(guò)濾器:防止真空泵及真空罐被污染。不中斷氣流可替換過(guò)濾器:2個(gè)可交替使用的微粒過(guò)濾器。污物接收器:收集污染的及液體,保護(hù)真空系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn),不中斷氣流可清理污染物。真空緩沖罐:防止真空泵頻繁起動(dòng)。管道與套管之間應(yīng)采用非燃燒材料嚴(yán)密封堵。南京礦用氣體管道設(shè)計(jì)方案高純氣體管路設(shè)計(jì)要點(diǎn):01輸送系統(tǒng)“分等級(jí)”,對(duì)高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備,宜采用分等...
氣體管道設(shè)計(jì)規(guī)范:1.氫氣、氧氣和煤氣管道以及引入實(shí)驗(yàn)室的各種氣體管道支管宜明敷。當(dāng)管道井、管道技術(shù)層內(nèi)敷設(shè)有氫氣、氧氣和煤氣管道時(shí),應(yīng)有換氣1 - 3 次/h 的通風(fēng)措拖。2.按標(biāo)準(zhǔn)單元組合設(shè)計(jì)的通用實(shí)驗(yàn)空,各種氣體管道也應(yīng)按標(biāo)準(zhǔn)單元組合設(shè)計(jì)。3.穿過(guò)實(shí)驗(yàn)室墻體或樓板的氣體管道應(yīng)敷在預(yù)埋套管內(nèi),套管內(nèi)的管段不應(yīng)有焊縫。管道與套管之間應(yīng)采用非燃燒材料嚴(yán)密封堵。4.氫氣、氧氣管道的末端和較高點(diǎn)宜設(shè)放空管。放空管應(yīng)高出層頂2m以上,并應(yīng)設(shè)在防雷保護(hù)區(qū)內(nèi)。氫氣管道上還應(yīng)設(shè)取樣口和吹掃口。放空管、取樣口和吹掃口的位置應(yīng)能滿足管道內(nèi)氣體吹掃置換的要求。5.氫氣、氧氣管道應(yīng)有導(dǎo)除靜電的接地裝置。有接地要求...
對(duì)于低蒸汽壓氣體(WF6,DCS,BCl3,C5F8,ClF3等),需要考慮鋼瓶加熱,氣體面板加熱,管道伴熱等。為了精確控制流量,在氣源端一般會(huì)考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì),壓力調(diào)節(jié)閥。對(duì)于劇毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w,應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì),即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn),要點(diǎn)對(duì)點(diǎn),中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此,整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配,中間沒(méi)有三通。然后管道還要有良好的接地。當(dāng)管道井、管道技術(shù)層內(nèi)敷設(shè)有氫氣、氧氣和煤氣管道時(shí),應(yīng)有換氣次數(shù)為每小時(shí)1~3次的通風(fēng)措施。杭州定制...
日本把微電子生產(chǎn)中所采用的氣體,按其不同的品位,具體分為下列幾個(gè)不同的檔次:1.超高純氣體,氣體中雜質(zhì)總含量控制在1ppm以下,水份含量控制在0.2~1ppm。2.高純氣體,氣體中雜質(zhì)總含量控制在5ppm以下,水份含量控制在3 ppm以內(nèi)。3.潔凈氣體,氣體中雜質(zhì)總含量控制在10 ppm以下,對(duì)水份含量未作嚴(yán)格規(guī)定。 上述規(guī)定,都未涉及潔凈度。我們知道集成電路的生產(chǎn),幾乎都是在潔凈環(huán)境中進(jìn)行,是防止塵埃粒子污染微電子產(chǎn)品所必需的。所以,對(duì)潔凈的生產(chǎn)環(huán)境絕不允許采用不潔凈的氣體來(lái)破壞,必須使氣體的潔凈度與潔凈環(huán)境保持一致,根據(jù)相關(guān)資料以及近些年公司相關(guān)工程的經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行了一些歸納。氫氣、氧氣和煤氣管...
氣路的布線:1. 管道穿過(guò)障礙物時(shí)須使用管套并采用不可燃材料填充間隙。2. 管道之間采用先進(jìn)的美國(guó)全自動(dòng)定位軌道式氬弧焊機(jī)進(jìn)行內(nèi)外保護(hù)氬弧焊(TIG)方式連接,其優(yōu)點(diǎn)是泄漏率可到1X10-9s.c.c./sec.He,且不會(huì)再內(nèi)表面產(chǎn)生氧化層或褶皺等焊接缺陷。3. 管路上的三通全部采用焊接三通來(lái)實(shí)現(xiàn)連接,可更有效保證氣體的傳輸質(zhì)量。4. 管道需用固定卡具固定在管道支架上。管道支架為槽鋼結(jié)構(gòu)美觀大方。與墻體和管道固定牢固。且為耐火材料(鋁合金)制成。5. 氣體管路在鋪設(shè)過(guò)程中要做到橫平豎直,為保證管道走線的直線度和管道間的間距,每間隔一定距離應(yīng)設(shè)置一組管卡。卡具應(yīng)由不燃材料制作而成,美觀大方。各...
終端布局:1.系統(tǒng)設(shè)置為二次減壓系統(tǒng)。終端采用壁掛式設(shè)計(jì)。上設(shè)有壓力調(diào)節(jié)器、輸出壓力指示計(jì)、緊急切斷閥,同一氣路的呈上下對(duì)應(yīng)排布,方便操作。面板為不銹鋼產(chǎn)品,該終端可以實(shí)現(xiàn)在室內(nèi)對(duì)設(shè)備的壓力調(diào)節(jié)、輸出壓力的監(jiān)控及氣路開(kāi)關(guān)控制,省去了每日往返于氣瓶間和實(shí)驗(yàn)間的奔波,提高了辦事效率。2.控制終端上的氣體出口尺寸要與分析儀的氣體入口尺寸相對(duì)應(yīng)。氣體出口接頭還應(yīng)方便安裝。壓力調(diào)節(jié)面板和氣路控制終端上粘貼氣路編號(hào)、氣體種類、濃度等標(biāo)識(shí)。實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)是實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)中的一個(gè)重要組成部分,其安全性、可靠性和功能性對(duì)實(shí)驗(yàn)室的正常運(yùn)行至關(guān)重要。采用同等級(jí)輸送系統(tǒng),但是在純度要求高的用氣設(shè)備臨近處設(shè)末端氣體提純裝置...
高純氣體的供氣安全,各種特性氣體的使用安全,易燃易爆氣體:此類氣體只要形成了可燃?xì)怏w爆裂混合氣和達(dá)到著火溫度。便會(huì)發(fā)生燃燒爆裂事故因此在可燃?xì)怏w入口處、氣體鋼瓶存放間、潔凈室內(nèi)使用可燃?xì)怏w處、敷設(shè)可燃?xì)怏w的管廊或技術(shù)夾層以及可能聚集可燃?xì)怏w的場(chǎng)所均應(yīng)設(shè)置可燃?xì)怏w報(bào)警裝置。具體要求如下:①可燃?xì)怏w比空氣輕者,報(bào)警裝置設(shè)置在所處場(chǎng)所的頂部。②可燃?xì)怏w比空氣重者,報(bào)警裝置設(shè)置在所處場(chǎng)所的較低處。③可燃?xì)怏w在適當(dāng)?shù)墓艿捞帒?yīng)做接地,但接地電阻應(yīng)符合相關(guān)規(guī)定。對(duì)氫氣和煤氣管道不得采用銅質(zhì)材料,其它氣體管道可采用銅、碳鋼和可鍛鑄鐵等材料。定制氣體管道設(shè)計(jì)方案管道吹掃,應(yīng)采用高純氮?dú)猓?9.999%),從氣體...
氣路的布線:1. 應(yīng)盡量減少?gòu)澢苑乐贡粋鬏數(shù)臍怏w壓力、流量損失過(guò)大。壓力管道拐彎應(yīng)力集中區(qū)應(yīng)有安全加固,設(shè)計(jì)合適的拐彎半徑,彎曲部位不能有皺折及扭曲。彎曲半徑和彎曲質(zhì)量由專門(mén)使用工具保證。系統(tǒng)布線應(yīng)盡量減少接縫以降低泄漏的可能性。2. 配管時(shí)的每根管道每個(gè)管件均要用高壓的5N高純氮?dú)膺M(jìn)行吹掃才能接入系統(tǒng),整個(gè)系統(tǒng)安裝完畢后還要用5N的高純氮進(jìn)行大流量氣體吹掃,以確保系統(tǒng)的潔凈度即流出的氣體無(wú)油脂及明顯的固體顆粒物流出。3. 系統(tǒng)安裝完畢后要用高純氮?dú)膺M(jìn)行高壓部分、低壓部分氣密性實(shí)驗(yàn),對(duì)整個(gè)系統(tǒng)進(jìn)行檢測(cè)。對(duì)于特殊氣體,如高純氣體,管道內(nèi)部應(yīng)保持高度清潔,防止污染。上海廠房氣體管道設(shè)計(jì)廠商氣體管...
供氣管網(wǎng)的布置、設(shè)計(jì)和尺寸選擇對(duì)要說(shuō)空氣系統(tǒng)的效率、可靠性和壓縮空氣的整體能耗都有非常大的影響。比如說(shuō),有時(shí)候我們必須通過(guò)空提高空壓機(jī)的供氣壓力以彌補(bǔ)因較大的管道壓損造成的終端壓力不足,從壓縮空氣的系統(tǒng)能耗來(lái)說(shuō),這是非常不經(jīng)濟(jì)的設(shè)計(jì)。此外,當(dāng)用氣需求降低的時(shí)候管道系統(tǒng)的壓損也會(huì)隨之降低,從而在終端用氣點(diǎn)的壓力卻不斷上升甚至達(dá)到用氣壓力限值。 一般來(lái)說(shuō)壓縮空氣的官網(wǎng)設(shè)計(jì)要達(dá)到從空壓機(jī)出口到較遠(yuǎn)端的用氣點(diǎn)之間的壓損不超過(guò)0.1 bar。 這0.1bar的壓損包括官網(wǎng)間連接管路、管接頭和其它管路連接件產(chǎn)生的壓損。氫氣管道上還應(yīng)設(shè)取樣口和吹掃口。江蘇特殊氣體管道設(shè)計(jì)市價(jià)制定設(shè)計(jì)方案。在了解實(shí)驗(yàn)室需求的...
對(duì)于低蒸汽壓氣體(WF6,DCS,BCl3,C5F8,ClF3等),需要考慮鋼瓶加熱,氣體面板加熱,管道伴熱等。為了精確控制流量,在氣源端一般會(huì)考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì),壓力調(diào)節(jié)閥。對(duì)于劇毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w,應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì),即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn),要點(diǎn)對(duì)點(diǎn),中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此,整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配,中間沒(méi)有三通。然后管道還要有良好的接地。螺紋接頭的絲扣填料應(yīng)采用聚四氟乙烯薄膜或一氧化鉛、甘油調(diào)合填料。南京定制氣體管道設(shè)計(jì)公司當(dāng)供氣系統(tǒng)有...
氣體管道設(shè)計(jì)安全技術(shù):1、氣體管道設(shè)計(jì)的安全技術(shù)應(yīng)符合下列規(guī)定:2、每臺(tái)(組)用氫設(shè)備的支管和氫氣放空管上應(yīng)設(shè)置阻火器。3、各種氣體管道應(yīng)設(shè)置明顯標(biāo)志。4、使用氫氣及可燃?xì)怏w的實(shí)驗(yàn)室應(yīng)設(shè)置報(bào)警裝置。5、氣瓶應(yīng)放在主體建筑物之外的氣瓶存放間。對(duì)曰用氣量不超過(guò)一瓶的氣體,實(shí)驗(yàn)室內(nèi)可放置一個(gè)該種氣體的氣瓶,但氣瓶應(yīng)有安全防護(hù)設(shè)施。6、氫氣和氮?dú)獾臍馄看娣砰g應(yīng)有每小時(shí)不小于三次換氣的通風(fēng)措施。氣體管道設(shè)計(jì)有很多方面,都有不同的要求,氣體管道敷設(shè),氣體管道、閥門(mén)和附件,氣體管道連接及安全問(wèn)題都有要求。氣體純度大于或等于99.99%的氣體管道宜采用不銹鋼管、銅管或無(wú)縫鋼管。浙江氣體管道設(shè)計(jì)價(jià)格輔助系統(tǒng)的設(shè)...
外購(gòu)氣體鋼瓶供氣,外購(gòu)氣體鋼瓶集中存放在工廠的氣瓶間(庫(kù))中,氣瓶中高壓氣體經(jīng)氣體總線,減壓閥組匯集,減壓至一定壓力經(jīng)氣體純化裝置純化后供氣。為確保連續(xù)供氣,氣體鋼瓶一般分為兩組,交替放氣,根據(jù)產(chǎn)品工藝要求,選擇滿足供氣品質(zhì)的氣體純化裝置或在用氣點(diǎn)處設(shè)置末端氣體純化裝置。1-鋼瓶及總線2-減壓閥組;3-調(diào)壓裝置;4-氣體純化裝置; 5-末 氣 體 純 化 器;6-氣 體 過(guò) 濾 器;7-用 氣 點(diǎn),其他:實(shí)驗(yàn)室氣體管路系統(tǒng)規(guī)范,實(shí)驗(yàn)室集中供氣工程要求。氫氣管道與其它可燃?xì)怏w管道交叉敷設(shè)時(shí),其間距不應(yīng)小于0.25m。南京氮?dú)鈿怏w管道設(shè)計(jì)廠商氣體管道設(shè)計(jì)規(guī)范:1.氫氣、氧氣和煤氣管道以及引入實(shí)...
氣力輸送管道設(shè)計(jì)概述,氣力輸送屬流體輸送,它是以空氣或其他惰性氣作為工作介質(zhì),通過(guò)氣體的流動(dòng)將粉粒狀物料輸送到指定地點(diǎn),或者可以把氣力輸送定義為借助正壓或負(fù)壓氣流通過(guò)管道輸送物料的技術(shù)。氣力輸送系統(tǒng)由以下部分組成:(1)供料裝置;(2)輸送管道;(3)分離機(jī);(4)氣體動(dòng)力源。2、氣力輸送系統(tǒng)的分類,氣力輸送系統(tǒng)可分為吸送和壓送兩大類。根據(jù)氣力輸送系統(tǒng)的特征,所需風(fēng)量和壓力等的不同,又可分為多種不同的型式,但用于輸送散裝粉粒狀物料的氣力輸送系統(tǒng)主要是以下三種類型吸送式、壓送式、混合式。設(shè)計(jì)中應(yīng)考慮防火、防爆措施,尤其是對(duì)于易燃、易爆氣體。杭州礦用氣體管道設(shè)計(jì)氣體管道設(shè)計(jì)規(guī)范:1.氫氣、氧氣和煤...
中心供氧系統(tǒng):1)中壓輸送中心供氧站:0.8~1.0 MPa氧氣經(jīng)過(guò)二級(jí)減壓后,以0.3~0.5MPa(可調(diào))送至各醫(yī)療用氧氣終端。根據(jù)病區(qū)的要求,可調(diào)節(jié)末端壓力值,同時(shí)中壓輸送氣體,相對(duì)管經(jīng)較細(xì)。2)低壓輸送中心供氧站:0.5~0.6 MPa氧氣經(jīng)過(guò)氣體閥箱(包括氣體壓力表、氣體壓力接觸器、氣體壓力傳感器及報(bào)警控制系統(tǒng))0.2~0.4 MPa供至各醫(yī)療用氧氣終端。中心供氧系統(tǒng)技術(shù)要求,為保證系統(tǒng)正常供氧,應(yīng)有供氧欠壓報(bào)警裝置。當(dāng)供氧系統(tǒng)壓力低于報(bào)警壓力時(shí),應(yīng)有聲、光同時(shí)報(bào)警;聲報(bào)警要求在55db(A)噪聲環(huán)境下,在距1.5m范圍內(nèi)可以聽(tīng)到;氧氣管道須有可靠接地,接地電阻小于100Ω。凡是用氧...
閥門(mén)的選用。高純氣體對(duì)系統(tǒng)所用閥門(mén)的嚴(yán)密性有十分嚴(yán)格的要求,目前國(guó)內(nèi)潔凈廠房的高純氣體管道的閥門(mén)基本都采用SS304或SS316L不銹鋼材質(zhì),閥門(mén)型式有隔膜閥、波紋管閥和球閥。波紋管閥的嚴(yán)密性比球閥好,在氣體流過(guò)閥門(mén)時(shí)沒(méi)有與外環(huán)境接觸的填料,所以沒(méi)有滲漏現(xiàn)象:隔膜閥除了嚴(yán)密性與波紋管閥相當(dāng)以外,還具有閥體死體積小,易吹除且污染少,所以適用于對(duì)氣體純度和生產(chǎn)工藝要求極嚴(yán)格或者危險(xiǎn)性大的氣體。為確保輸送至用氣設(shè)備的氣體質(zhì)量,高純氣體管道與用氣設(shè)備之間應(yīng)用不銹鋼金屬軟管連接,不宜采用非金屬軟管。氣體管道與設(shè)備、閥門(mén)及其他附件的連接應(yīng)采用法蘭或螺紋連接。廠房氣體管道設(shè)計(jì)行價(jià)氣體管道不得和電纜、導(dǎo)電線路...
氣體管道、閥門(mén)和附件要求?:1、氣體管道宜采用無(wú)縫鋼管。氣體純度大于或等于99.99%的氣體管道宜采用不銹鋼管、銅管或無(wú)縫鋼管。2、氣體管道與設(shè)備的連接段宜采用金屬管道。如為非金屬軟管,宜采用聚四氟乙烯管、聚氯乙烯管,不得采用乳膠管。3、閥門(mén)和附件的材質(zhì):對(duì)氫氣和煤氣管道不得采用銅質(zhì)材料,其它氣體管道可采用銅、碳鋼和可鍛鑄鐵等材料。氫氣和氧氣管道所用的附件和儀表必須是該介質(zhì)的專門(mén)使用產(chǎn)品,不得代用。4、閥門(mén)與氧氣接觸部分應(yīng)采用非燃燒材料。其密封圈應(yīng)采用有色金屬、不銹鋼及聚四氟乙烯等材料。填料應(yīng)采用經(jīng)除油處理的石墨石棉或聚四氟乙烯。5、氣體管道中的法蘭墊片其材質(zhì)應(yīng)依管內(nèi)輸送的介質(zhì)確定。氫氣管道上...