材料的可加工性是納米精度機構設計的另一個限制。首先,所選材料必須可加工成所需的幾何形狀。例如,我們的大多數(shù)撓性運動臺都是通過電火花加工來切割的。玻璃陶瓷盡管它們具有許多良好的性能但顯然不能用這種加工方式。另一方面,加工成本在產(chǎn)品價格中占主導地位,因為納米精度機構中的大部分組件尺寸都比較小,因此材料成本的影響并不顯著。材料的機械加工性取決于材料的強度、硬度、韌性和導熱性等特性。 鋁合金是工程結構中常用的材料之一。精密儀器主要利用其導熱性好、易于制造(加工成本低)和質(zhì)量輕的特性。由于其高熱膨脹系數(shù),必須小心使用。通常選擇這種材料進行熱匹配。 納米定位平臺直驅(qū)的好處?壓電納米整體移動臺控制...
掃描電子顯微鏡的納米電子束光刻(EBL)系統(tǒng)。它的主要組成部分包括改進型掃描電子顯微鏡、激光干涉儀控制平臺、多功能高速圖形發(fā)生器和功能齊全、操作簡便的軟件系統(tǒng)。 在電子和電氣制造業(yè)中,光刻技術是制造無源/有源器件的重要步驟。隨著納米技術的飛速發(fā)展,納米光刻技術作為一種重要的納米結構和納米器件制造技術,越來越受到人們的關注。尤其是電子束光刻技術(EBL),以其高分辨率和出色的靈活性在納米光刻技術中發(fā)揮著不可替代的作用。電子束的束斑尺寸可聚焦到小于一個納米,并可生成超高分辨率的圖案。因此,EBL在納米電子學、納米光學和其他大多數(shù)納米制造領域都有著巨大的應用潛力。 壓電納米定位臺可集成于各...
人們普遍認為,如果了解了納米定位平臺的共振頻率,就可以準確地展示其性能,尤其是動態(tài)性能。簡單來說,共振頻率越高,每個平臺軸的運動就越快。然而,就像生活中的許多事情一樣,它并沒有那么簡單!實際上,共振頻率由幾個因素決定。這些因素都會影響平臺的性能,因此在正確選擇納米定位系統(tǒng)之前,需要綜合考慮以下因素:制造平臺的材料,因為材料的剛度和密度會影響共振頻率。低密度材料的運動質(zhì)量越小,共振頻率越高;然而,如果增加負載,則共振頻率將迅速下降。相比之下,高剛度平臺,即使是由重型材料制造,也能更好地保持其共振頻率。施加到納米定位臺的負荷定義了加載的共振頻率,通常被認為是每個軸的前一個共振??刂坪头答侂娮釉O...
剛度:剛度是使物體產(chǎn)生單位變形所需的外力值。剛度與物體的材料性質(zhì)、幾何形狀、邊界支持情況以及外力作用形式有關。硅HR傳感器:Piezoconcept使用溫度補償?shù)母叻直媛使鑲鞲衅骶W(wǎng)絡來達到極高的長期穩(wěn)定性。這種測量裝置能夠測量皮米范圍內(nèi)的位置噪聲,其反應不像其他專業(yè)傳感器那樣依賴于污染物的存在和氣壓的變化。反沖力:反沖力是改變方向時發(fā)生的定位誤差。齒隙可由預載推力不足或驅(qū)動部件嚙合不準確引起,如齒輪齒。Piezoconcept的撓性運動平移機構和壓電執(zhí)行器設計本質(zhì)上是沒有反沖的。電控位移臺也稱為電控平移臺是一種依靠步進電機驅(qū)動的執(zhí)行裝置,通過絲杠將步進電機的角位移轉(zhuǎn)換為平臺位移。通...
北京微納光科儀器(集團)有限公司主要提供《微》《納》《光》《科》四個版塊產(chǎn)品,【實驗室一體化解決方案】的三個版塊《實驗室裝修/凈化/設計》《實驗室家具》《實驗室儀器設備》,《無人工廠一體化解決方案》以及《特殊工況下自動化設備和儀器解決方案》的服務。主要產(chǎn)品系列有:電控位移臺,手動位移臺,直驅(qū)滑臺轉(zhuǎn)臺,直線電機,相位臺,工業(yè)機械手,KK模組,真空無磁低溫;壓電納米促動器,壓電納米移動臺;光學冷加工,光學元器件,光學鍍膜,光學調(diào)整架,光纖調(diào)整耦合,晶元檢測,晶元曝光刻蝕半導體設備,影像測量,機器視覺,圖形圖像處理,光學分析儀器,光學檢測/測試儀器;科學實驗室的設計裝修,科學實驗室家具(光學平臺...
納米平臺應用領域都是一些特定的高精密領域,例如表面結構分析,自動對焦系統(tǒng),共焦顯微鏡,共焦顯微鏡等等,提供多種型號,多種功能,例如ZSY/OSM-Z-100B,ZSY/OEM-X-10A,NM-XYZ-100A-Z15A等等。納米科技在現(xiàn)代社會發(fā)展中起著越來越重要的作用,納米科技的發(fā)展離不開高分辨表面分析工具的發(fā)展,原子力顯微鏡憑借其超高分辨率成為研究納米科技的有力工具在各領域有著廣泛應用,其不僅可以用于物質(zhì)表面結構、表面摩擦學和材料力學、電學性能的研究,還可以用于原子操縱、物質(zhì)的納米級加工等。納米位移臺是原子力顯微鏡的中心部件,其性能直接決定了原子力顯微鏡的分辨率性能。 由于納米位移系統(tǒng)...
納米技術是21世紀重要的科學技術之一,它將引起一場新的工業(yè)發(fā)展浪潮。納米技術是包括納米電子、納米材料、納米生物、納米機械、納米制造、納米測量、納米物理納米化學等諸多科學技術在內(nèi)的一組技術的匯聚,其目的是研究、發(fā)展和加工結構尺寸小于100nm的材料、裝置和系統(tǒng),以獲得具有所需功能和性能的產(chǎn)品。科技發(fā)達國家為搶占這一高新技術生長點、制高點,競相將納米技術列為21世紀戰(zhàn)略性基礎研究的優(yōu)先項目。納米測量技術是納米技術的重要組成部分,對于納米材料的發(fā)展。納米器件和系統(tǒng)的研究與開發(fā)具有十分重要的意義。納米測量技術的內(nèi)涵涉及納米尺度的評價、成份、微細結構和物性的納米尺度的測量,它是在納米尺度上研究材料和...
納米定位平臺的設計從上面的簡要介紹中可以清楚地看出,為什么只考慮每個軸的共振頻率無法提供納米定位系統(tǒng)性能的準確圖片。也正因如此,多數(shù)情況下,只有定制系統(tǒng)才能滿足各個應用程序的特定要求。例如,必須選擇與應用相匹配的共振頻率特性的結構材料和平臺設計。此計算中的一個關鍵因素是施加的載荷。這就是為什么我們經(jīng)常在許多數(shù)據(jù)表中關注負載性能,因為這個標準能更好地反映平臺的實際用途。一般來說,作用在平臺上的負載越大,平臺的共振頻率就越低。我們的高剛度平臺意味著共振頻率受負載變化的影響較小,因此任何動態(tài)調(diào)諧對負載的變化都不太敏感。 由于納米位移系統(tǒng)自身具有閉環(huán)控制,能產(chǎn)生穩(wěn)定的、重復的運動。壓電納米運動機構...
頻率響應頻率響應本質(zhì)上是設備在給定頻率下響應輸入信號的速度指示。壓電系統(tǒng)對命令信號響應迅速,具有更高的諧振頻率,產(chǎn)生更快的響應速率以及更高的穩(wěn)定性和帶寬。然而,應注意的是,納米定位設備的諧振頻率會受到施加負載的影響,負載的增加會降低諧振頻率,從而降低納米定位器的速度和精度。4.穩(wěn)定和上升時間納米定位系統(tǒng)能在短距離內(nèi)進行高速位移。這意味著穩(wěn)定時間是關鍵因素。這里的時間指的是,在隨后拍攝圖像或測量之前,運動速度降低到可接受水平時所需的時長。相比之下,上升時間是納米定位平臺在兩個命令點之間移動的時間間隔;通常比穩(wěn)定時間快得多,重要的是,上升時間不包括納米定位平臺穩(wěn)定所需的時間。這兩個因素...
納米定位平臺的高級數(shù)字控制至關重要。尤為明顯的是,它可根據(jù)速度、分辨率和有效負載精確調(diào)整系統(tǒng)的性能特征,同時消除不必要的共振頻率影響。使用定制的軟件算法和陷波濾波器的組合來實現(xiàn)這一性能,后者能夠在狹義的頻率范圍內(nèi)衰減信號。因此,可以更大限度地減少接近共振頻率的頻率影響,有效地降低第二頻率對動態(tài)定位的影響。算法模塊工具箱可優(yōu)化平臺性能。速度和加速度控制算法能夠使平臺比單純依賴位置控制的設備實現(xiàn)更高級的操作帶寬驅(qū)動。雖然后者采用PID控制位置,但無法提供足夠的精度來控制高速運動。如果需要在移動平臺時進行控制以產(chǎn)生精確的波形或斜坡,則需要更多的控制。軌跡控制能夠使平臺軸快速移動到幾納米以內(nèi)的精確...
三維納米定位臺使用需要注意哪些細節(jié):5.定期維護和保養(yǎng):三維納米定位臺是一個復雜的精密設備,需要進行定期的保養(yǎng)和維護,以確保設備的正常運行和壽命。具體操作包括檢查設備的清潔度和電氣連接、潤滑和調(diào)整各軸向及傳感器等部件、更換和補充配件等等。用戶需要根據(jù)具體的設備和使用情況,制定相應的保養(yǎng)和維護計劃,并在必要時進行相應的調(diào)整和修理工作。 三維納米定位臺的應用領域:由于具有高精度和靈活性等優(yōu)點,三維納米定位臺在許多材料表征和精密加工領域得到了廣泛的應用。常見的應用領域包括:1.納米級別物體定位和操控三維納米定位臺可以實現(xiàn)亞納米級別的物體的位置調(diào)整和操控,因此被廣泛應用于納米顆粒、微米線、生...
由壓電陶瓷控制器控制的壓電納米定位臺用于移動3D干涉儀系統(tǒng)中的干涉物鏡或光纖連接器以產(chǎn)生位相移動,分5步位相移動,每移動一步后由CCD攝像頭讀取干涉條紋。壓電納米定位臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構,一體化的結構設計。機構放大式驅(qū)動原理,內(nèi)置高性能壓電陶瓷,可實現(xiàn)納米級位移。具有高剛性、高負載、無摩擦等特點,可適應匹配光纖端面檢測的需求。壓電納米定位臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構,一體化的結構設計。機構放大式驅(qū)動原理,內(nèi)置高性能壓電陶瓷,可實現(xiàn)納米級位移。具有高剛性、高負載、無摩擦等特點。此外,壓電納米定位臺還可用于:光路調(diào)整;納米操控技術;納米光刻,生物科技;激光干涉;CCD圖像處理;...
掃描電子顯微鏡的納米電子束光刻(EBL)系統(tǒng)。它的主要組成部分包括改進型掃描電子顯微鏡、激光干涉儀控制平臺、多功能高速圖形發(fā)生器和功能齊全、操作簡便的軟件系統(tǒng)。 在電子和電氣制造業(yè)中,光刻技術是制造無源/有源器件的重要步驟。隨著納米技術的飛速發(fā)展,納米光刻技術作為一種重要的納米結構和納米器件制造技術,越來越受到人們的關注。尤其是電子束光刻技術(EBL),以其高分辨率和出色的靈活性在納米光刻技術中發(fā)揮著不可替代的作用。電子束的束斑尺寸可聚焦到小于一個納米,并可生成超高分辨率的圖案。因此,EBL在納米電子學、納米光學和其他大多數(shù)納米制造領域都有著巨大的應用潛力。 壓電納米定位臺憑借高穩(wěn)定...
頻率響應頻率響應本質(zhì)上是設備在給定頻率下響應輸入信號的速度指示。壓電系統(tǒng)對命令信號響應迅速,具有更高的諧振頻率,產(chǎn)生更快的響應速率以及更高的穩(wěn)定性和帶寬。然而,應注意的是,納米定位設備的諧振頻率會受到施加負載的影響,負載的增加會降低諧振頻率,從而降低納米定位器的速度和精度。4.穩(wěn)定和上升時間納米定位系統(tǒng)能在短距離內(nèi)進行高速位移。這意味著穩(wěn)定時間是關鍵因素。這里的時間指的是,在隨后拍攝圖像或測量之前,運動速度降低到可接受水平時所需的時長。相比之下,上升時間是納米定位平臺在兩個命令點之間移動的時間間隔;通常比穩(wěn)定時間快得多,重要的是,上升時間不包括納米定位平臺穩(wěn)定所需的時間。這兩個因素...