無(wú)油活塞式真空泵是高新科技產(chǎn)品。工作原理是:連桿通過(guò)軸承與偏心壓裝在一起,偏心輪鎖緊在電機(jī)軸上,由于轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn),帶動(dòng)連桿往復(fù)運(yùn)動(dòng),從而實(shí)現(xiàn)空氣的吸入、壓縮和排出過(guò)程。無(wú)油活塞式真空泵具有以下特點(diǎn):--完全無(wú)油工作--高效節(jié)能--長(zhǎng)壽命--靜音--低升溫--運(yùn)行平穩(wěn)--高可靠性--體積小,重量輕--便攜式,可攜帶外出作業(yè)--結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,易維護(hù)--外形美觀。無(wú)油活塞式真空泵主要應(yīng)用在以下領(lǐng)域:醫(yī)療設(shè)備,科研設(shè)備,實(shí)驗(yàn)室,干燥設(shè)備,半導(dǎo)體工業(yè),汽車工業(yè),印刷機(jī)械,包裝機(jī)械,食品保鮮,水產(chǎn)養(yǎng)殖,水凈化處理,分析儀器,廣告制作,設(shè)備維修,生物制藥,通訊電子,石油化工,環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng),高原地區(qū)制氧等領(lǐng)域。微型...
微型化真空泵技術(shù)及發(fā)展本節(jié)簡(jiǎn)要介紹一些研究進(jìn)展較為明顯,或當(dāng)前關(guān)注度較高的微型化真空泵,主要包括膜片泵、射流/擴(kuò)散泵、努森泵和離子泵。2.1微型化膜片泵典型的單級(jí)膜片泵通常由一個(gè)腔體、一個(gè)泵膜、兩個(gè)閥門和一個(gè)致動(dòng)器組成,它利用泵膜的往復(fù)運(yùn)動(dòng)營(yíng)造腔體容積的周期性變化,利用單向閥門控制氣體流向,實(shí)現(xiàn)氣流的定向引入、輸出。膜片泵的原理、結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單,膜片材料可使用硅、電介質(zhì)和多種聚合物,驅(qū)動(dòng)機(jī)制可采用靜電、壓電、電滲、氣動(dòng)和磁力等[16]。關(guān)鍵部件的材料及加工都兼容MEMS工藝,使得膜片泵比較容易和其他微型器件集成,構(gòu)建片上型系統(tǒng)[17]。免維護(hù),使用壽命相對(duì)較長(zhǎng),無(wú)油活塞真空泵不需要這樣的維護(hù),可...