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一種用于傳送晶圓的真空吸附機械手，其特征在于，包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺；設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道；所述吸附絕緣凸臺呈環(huán)形，所述吸附絕緣凸臺所圍成的空間構(gòu)成所述真空氣道的其中一段；位于所述吸附絕緣凸臺內(nèi)的偽絕緣凸臺，所述偽絕緣凸...

種微孔真空吸盤工作臺的制作方法 【技術(shù)領(lǐng)域】 [0001]本實用新型涉及一種微孔真空吸盤工作臺，屬于機械設(shè)備領(lǐng)域。 【背景技術(shù)】 [0002]劃片刀用于精密加工，由于它的損耗速度非?？欤虼诵枨罅糠浅４?。生產(chǎn)劃片刀需要使用晶圓劃片機...

機械臂是指高精度，多輸入多輸出、高度非線性、強耦合的復雜系統(tǒng)。因其獨特的操作靈活性, 已在工業(yè)裝配, 安全防爆等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。機械臂是一個復雜系統(tǒng), 存在著參數(shù)攝動、外界干擾及未建模動態(tài)等不確定性。因而機械臂的建模模型也存在著不確定性，對于不同的任務(wù), 需...

微孔陶瓷吸盤的性能2018-10-1917:01高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤)，特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面積吸附,同時也可作氣浮平臺，廣泛應(yīng)用半導體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密...

精密結(jié)構(gòu)陶瓷的應(yīng)用領(lǐng)域： 能源領(lǐng)域：精密結(jié)構(gòu)陶瓷可用于制造固體氧化物燃料電池（SOFC）的關(guān)鍵部件，如電解質(zhì)、陽極和陰極等，提高能源利用效率。 汽車工業(yè)：精密結(jié)構(gòu)陶瓷可用于制造汽車發(fā)動機中的氣門座圈、火花塞等部件，提高發(fā)動機的燃油經(jīng)濟性和耐...

耐磨防護涂層的施工工藝如下: 一、基材表面處理(對待施工部位進行打磨粗化處理,并清洗干凈晾干) 1、將待施工部位表面用電動鋼絲刷(或噴砂)進行打磨露出新鮮金屬基材,除銹標準達 到Sa2.5級 2、用**清洗劑清洗或干抹布將機件表面粉末、灰塵擦拭干凈,處理后的基...

吸音材料多孔陶瓷具有連通開氣孔，當聲波傳入時，在很小的氣孔內(nèi)受力振蕩。振動受到的摩擦和阻礙，使聲波傳播受到***，導致聲音衰減，從而起到吸音的作用。是一種消除噪聲公害，益于人們身心健康的好材料。作為吸音材料的多孔陶瓷要求較小的孔徑(20～150/u...

耐磨陶瓷襯板 別名:耐磨陶瓷襯板、高鋁襯板、耐磨襯板，氧化鋁襯板，氧化鋁陶瓷板，管道耐磨內(nèi)襯 耐磨陶瓷襯板用途：是石油、礦山、鋼廠、電廠等行業(yè)物料輸送設(shè)備或者液體流經(jīng)管道表面的耐磨材料，主要作用是有效抗擊物料經(jīng)過時對管壁產(chǎn)生的沖擊作用，化學物質(zhì)的腐蝕作用和物料...

材質(zhì) (1)高硅質(zhì)硅酸鹽材料，它主要以硬質(zhì)瓷渣、耐酸陶瓷渣及其他耐酸的合成陶瓷顆粒為骨料，具有耐水性、耐酸性，使用溫度達700℃。 (2)鋁硅酸鹽材料，它以耐火粘土熟料、燒礬土、硅線石和合成莫來石顆粒為骨料。具有耐酸性和耐弱堿性，使用溫度達1 ...

等靜壓成型是在傳統(tǒng)干壓成型基礎(chǔ)上發(fā)展起來的特種成型方法。它利用流體傳遞壓力，從各個方向均勻地向彈性模具內(nèi)的粉體施加壓力。由于流體內(nèi)部壓力的一致性，粉體在各個方向承受的壓力都一樣，因此能避免坯體內(nèi)密度的差別。 等靜壓成型有濕袋式等靜壓和干袋式等靜壓之分...

本發(fā)明涉及一種半導體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。 背景技術(shù)： 在半導體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨...

精密結(jié)構(gòu)陶瓷服務(wù)流程主要包含以下幾個步驟：1.需求分析：首先需要明確客戶的需求，包括產(chǎn)品的規(guī)格、性能指標、應(yīng)用場景等，以幫助確定合適的產(chǎn)品類型和設(shè)計方案。2.設(shè)計：根據(jù)客戶需求，進行精密結(jié)構(gòu)陶瓷的設(shè)計。這通常包括使用專業(yè)軟件進行建模、仿真和分析，以確保設(shè)計的可...

場景是新技術(shù)應(yīng)用中的重要一環(huán)，場景越多意味著應(yīng)用的廣大性和未來的期望空間越大，而如果一款技術(shù)誕生沒有實際的應(yīng)用場景，即無法融入人們的日常生活和生產(chǎn)制造中，這對它的后續(xù)發(fā)展影響是致命的。 機械手臂的應(yīng)用場景有哪些呢？它的應(yīng)用特點十分明顯，主要代替人工從...

例如：尋找，運輸，握取，對準，裝配，檢驗等動作. 為了明確地描述工業(yè)機械人，美國機械人協(xié)會在1979年將機械人定義為一個可用程式控制，多功能的操作器，它透過程式控制和多變化的動作設(shè)計來移動材料，工件，工具或特別設(shè)備，以完成一連串的工作.所以，雖然許多工業(yè)機械人...

輸送半導體晶圓的機械手通常具有兩個以上的自由度。這種機械手典型地由兩個連桿和手部構(gòu)成。在本說明書中，將兩個連桿稱作上臂連桿和前臂連桿。典型地，上臂連桿的一端連結(jié)于電機的輸出軸，上臂連桿的另一端連結(jié)于前臂連桿的一端。而且，前臂連桿的另一端連結(jié)于手部。上臂連桿和前...

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，...

晶圓運送機械吸臂的工作原理主要包括以下幾個步驟： 吸附：吸盤通過真空吸附原理將晶圓緊密吸附在其表面，確保晶圓在傳送過程中不會發(fā)生相對位移。 移動：傳動系統(tǒng)驅(qū)動機械臂按照預定軌跡進行移動，將晶圓從一處工藝設(shè)備傳送至另一處。放置：到達目標位置后，吸...

氧化鋁耐磨陶瓷襯片是以Al2O3為主要原料，以稀有金屬氧化物為熔劑，經(jīng)一千七百度高溫焙燒而成的特種剛玉陶瓷。 Al2O3陶瓷襯片：氧化鋁含量高，結(jié)構(gòu)比較致密，具有特殊的性能，故稱為特種陶瓷。Al2O3陶瓷材料是以氧離子構(gòu)成的密排六方結(jié)構(gòu)，而鋁離子填充于三分之二...

2．噴涂機械臂 這種機械臂多用于噴漆生產(chǎn)線上，重復位姿精度要求不高。但由于漆霧易燃，一般采用液壓驅(qū)動或交流伺服電機驅(qū)動。3．焊接機械臂 這是目前使用**多的一類機械臂，它又可分為點焊和弧焊兩類。點焊機械臂負荷大基本介紹當提到機械人時，許多人會想到有手，有腳的人型...

組織遺傳制備工藝 該工藝是利用植物材質(zhì)(木材、竹子等)的天然多孔組織，將其在800~1000℃下和惰性氣體環(huán)境中熱解碳化得到與木材多孔結(jié)構(gòu)幾乎完全相同的碳預制體。然后以碳預制體為模板，1600℃時液態(tài)硅蒸發(fā)形成的硅蒸汽滲入模板與碳化合形成...

它通常有幾個自由度，用以抓取或移動物體（工具或工件）。”所以對工業(yè)機械臂可能理解為：擬人手臂、手腕和手功能 的機械電子裝置；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時變要求進行移動，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求。如夾持焊鉗或焊***，對汽車或摩托車車體...

2、干壓成型 對形狀簡單、適于干壓成型的中小型氧化鋯陶瓷產(chǎn)品常采用干壓方法成型。氧化鋯 陶瓷干壓時出現(xiàn)的常見問題是產(chǎn)品分層，這是因為氧化鋯超細粉造粒料的顆粒很細，因而顆粒輕、流動性差，干壓成型時容易出現(xiàn)分層現(xiàn)象。從生產(chǎn)實踐中得知，產(chǎn)品分層與成型模具的...

區(qū)熔法分為兩種：水平區(qū)熔法和立式懸浮區(qū)熔法。前者主要用于鍺、GaAs等材料的提純和單晶生長；后者主要用于硅。為什么有橫著和豎著長的不同捏？這是由于硅的熔點高，化學性能活潑，容易受到異物的玷污，所以難以找到適合的器皿來盛方，自然水平區(qū)熔法不能用在硅的...

半導體行業(yè)，尤其是集成電路領(lǐng)域，晶圓的身影隨處可見。 晶圓就是一塊薄薄的、圓形的高純硅晶片，而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結(jié)構(gòu)，使之成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。 眼前這密密麻麻的元器件，被整整齊齊的安放在...

氧化鋁陶瓷有較好的傳導性、機械強度和耐高溫性。需要注意的是需用超聲波進行洗滌。氧化鋁陶瓷是一種用途***的陶瓷，因為其優(yōu)越的性能，在現(xiàn)代社會的應(yīng)用已經(jīng)越來越***，滿足于日用和特殊性能的需要氧化鋁陶瓷分為高純型與普通型兩種。普通型氧化鋁陶瓷系按Al...

精密結(jié)構(gòu)陶瓷的性能測試也是非常重要的環(huán)節(jié)。為了確保材料的性能符合要求，需要對其進行一系列的性能測試，包括力學性能測試、熱性能測試、電學性能測試、化學性能測試等。力學性能測試主要包括強度、硬度、韌性等指標的測試；熱性能測試主要包括熱膨脹系數(shù)、熱導率、耐高溫性能等...

2、工業(yè)高溫窯爐 氧化鋁陶瓷具有優(yōu)異的耐高溫、熱穩(wěn)定性好、熱導率低、熱容小、耐機械振動等性能，導熱系數(shù)和容重分別只有傳統(tǒng)耐火材料的1/10和1/15，綜合性能好，是理想的節(jié)能增效耐火材料，用于工作溫度高于1400 ℃的鋼鐵工業(yè)各種熱處理爐...

6)自適應(yīng)控制。采用組合自適應(yīng)控制將系統(tǒng)劃分成關(guān)節(jié)子系統(tǒng)和柔性子系統(tǒng)。利用參數(shù)線性化的方法設(shè)計自適應(yīng)控制規(guī)則來辨識柔性機械臂的不確定性參數(shù)。對具有非線性和參數(shù)不確定性的柔性機械臂進行了**控制器的設(shè)計。控制器的設(shè)計是依據(jù)Lyapunov方法的魯棒和...

前驅(qū)體法優(yōu)點是：產(chǎn)物尺寸均一，品質(zhì)好。缺點是：前驅(qū)體的處理比較繁瑣，無法進行連續(xù)生產(chǎn)。6、模板誘導-水熱法模板誘導-水熱法是將模板法和水熱法結(jié)合起來，以硫酸鋁為前驅(qū)體加入模板劑制備了薄水鋁石陶瓷，并經(jīng)1200℃煅燒制得了α-Al2O3陶瓷。模板劑加...

泡工藝發(fā)泡工藝是陶瓷組分添加有機或無機化學物質(zhì),通過化學反應(yīng)等產(chǎn)生揮發(fā)氣體,經(jīng)干燥和燒成制成多孔陶瓷。發(fā)泡工藝與泡沫浸漬工藝相比,更容易控制制品的形狀、成分和密度,并可制備各種氣孔形狀和大小的多孔陶瓷,特別適用于制備閉氣孔的陶瓷材料。用來做發(fā)泡劑的...