在被濺射的靶極(陰極)與陽極之間加一個正交磁場和電場,在高真空室中充入所需要的惰性氣體(通常為Ar氣),永久磁鐵在靶材料表面形成250~350高斯的磁場,同高壓電場組成正交電磁場。在電場的作用下,Ar氣電離成正離子和電子,靶上加有一定的負(fù)高壓,從靶極發(fā)出的電子受磁場的作用與工作氣體的電離幾率增大,在陰極附近形成高密度的等離子體,Ar離子在洛侖茲力的作用下加速飛向靶面,以很高的速度轟擊靶面,使靶上被濺射出來的原子遵循動量轉(zhuǎn)換原理以較高的動能脫離靶面飛向基片淀積成膜。鋁靶材則廣泛應(yīng)用于鏡面反射層的制作。北京氧化鋅靶材多少錢
鎢(元素符號W),銀白色重金屬,過渡金屬的一員。在元素周期表中位于第6族,原子序數(shù)為74。鎢的*****特性是它擁有所有金屬中比較高的熔點,高達(dá)3422°C,同時也具有很高的沸點(約5555°C)。這種獨特的高溫性能使鎢成為許多高溫應(yīng)用場合的理想材料。鎢的密度接近于金,約為19.25g/cm3,僅次于鈾和金。它具有非常好的強度和硬度,即使在極高溫度下也能保持這些性質(zhì),這在金屬中是非常罕見的。此外,鎢還具有良好的耐腐蝕性,不會在空氣中氧化,即使在高溫下也能抵抗大多數(shù)酸和堿的腐蝕。鎢的用途非常***。在工業(yè)中,鎢主要用于硬質(zhì)合金的生產(chǎn),這種合金在切削工具、鉆頭、模具等方面有著重要應(yīng)用。此外,由于其高密度和良好的機械性能,鎢也常用于***領(lǐng)域,例如作為穿甲彈的材料。在科學(xué)研究和醫(yī)療設(shè)備中,鎢因其優(yōu)異的高溫性能被***用作靶材,尤其是在X射線管中。作為靶材,鎢主要用于產(chǎn)生X射線或作為電子束技術(shù)的焦點。靶材是放射源裝置中的關(guān)鍵組件,它們的作用是被高速電子撞擊,從而產(chǎn)生X射線。鎢靶材因其高熔點、高密度和良好的導(dǎo)熱性能,能夠在受到強烈電子束轟擊時保持穩(wěn)定,不容易熔化或損壞,這使得它成為醫(yī)療影像和材料分析等領(lǐng)域的優(yōu)先材料。北京鍍膜靶材多少錢并且背板需要具備導(dǎo)熱導(dǎo)電性。
4.防潮措施:-存儲區(qū)域的相對濕度應(yīng)保持在40%至60%之間??梢允褂酶稍飫┖蜐穸瓤刂葡到y(tǒng)來維持適宜的濕度。5.保養(yǎng)和清潔:-定期檢查靶材的完整性,如果發(fā)現(xiàn)裂紋或者其他損傷,應(yīng)避免使用。-在清潔靶材時,應(yīng)使用高純度酒精或去離子水輕輕擦拭,不宜使用有機溶劑或者酸堿性強的清潔劑。6.使用前的準(zhǔn)備:-在靶材裝入濺射設(shè)備前,應(yīng)在潔凈室環(huán)境下進行再次清潔,確保表面無污染。-濺射前進行一段時間的預(yù)濺射,以去除靶材表面可能存在的輕微雜質(zhì)。7.保養(yǎng)記錄:-建議建立靶材使用和保養(yǎng)記錄,詳細(xì)記錄每次使用情況和存儲條件,以便跟蹤性能變化并及時做出調(diào)整。通過遵循以上存儲和保養(yǎng)建議,可以有效延長ITO靶材的使用壽命,確保濺射過程的穩(wěn)定性和薄膜的高質(zhì)量。
適宜的存儲環(huán)境:應(yīng)將鎳靶材存放在干燥、陰涼、通風(fēng)良好的環(huán)境中。避免高濕度和極端溫度,因為這些條件可能導(dǎo)致材料氧化或其他化學(xué)變化。防止污染:存儲鎳靶材時,應(yīng)避免與其他化學(xué)品或污染源直接接觸,以防止表面污染或化學(xué)反應(yīng)。防塵措施:在存儲和搬運過程中,需保持環(huán)境的潔凈,避免塵埃和顆粒物沉積在靶材表面,這些顆粒可能影響其在濺射過程中的性能。包裝和防護:使用原廠包裝或適當(dāng)?shù)姆雷o材料(如防靜電袋)進行封裝,保護鎳靶材不受物理損傷或環(huán)境影響。定期檢查:定期檢查鎳靶材的狀態(tài),特別是在長期存儲后。檢查是否有氧化、變色或其他形式的退化。正確搬運:在搬運鎳靶材時,應(yīng)小心輕放,避免跌落或撞擊,因為物理損傷可能影響材料的結(jié)構(gòu)和性能。使用后的處理:使用過的鎳靶材應(yīng)根據(jù)其化學(xué)和物理狀態(tài)妥善處理。如果有可回收價值,應(yīng)考慮回收再利用。粉末冶金是一種常用的靶材制備方法,尤其適用于金屬和陶瓷材料。
a.選擇適合的鎢靶材規(guī)格針對不同的應(yīng)用領(lǐng)域和設(shè)備,選擇合適規(guī)格和尺寸的鎢靶材至關(guān)重要。例如,在半導(dǎo)體制造中,應(yīng)選擇高純度、精細(xì)晶體結(jié)構(gòu)的靶材;而在X射線生成應(yīng)用中,則可能需要更大尺寸和特定形狀的靶材。b.控制使用環(huán)境鎢靶材的性能在很大程度上取決于使用環(huán)境。維持合適的溫度和壓力條件,避免化學(xué)腐蝕和物理損傷是確保靶材穩(wěn)定運行的關(guān)鍵。在高溫應(yīng)用中應(yīng)特別注意散熱問題。c.配合適當(dāng)?shù)募夹g(shù)和設(shè)備為了比較大限度地發(fā)揮鎢靶材的性能,建議配合使用適當(dāng)?shù)募夹g(shù)和設(shè)備。例如,在電子束或X射線應(yīng)用中,應(yīng)使用能夠準(zhǔn)確控制能量和焦點的設(shè)備。d.遵循安全指南在處理和使用鎢靶材時,遵循安全操作規(guī)程非常重要。應(yīng)提供適當(dāng)?shù)姆雷o措施,如防輻射和防化學(xué)危害的裝備,并確保工作人員了解相關(guān)安全知識。e.考慮靶材的回收和再利用鑒于鎢資源的珍貴和環(huán)境影響,考慮鎢靶材的回收和再利用是推薦的做法。這不僅有助于成本節(jié)約,也符合可持續(xù)發(fā)展的原則。對靶材進行表面處理可以提高其性能,例如提高耐腐蝕性或改變表面的電學(xué)特性。河南氧化物靶材價錢
CoF~Cu多層復(fù)合膜是如今應(yīng)用很多的巨磁阻薄膜結(jié)構(gòu)。北京氧化鋅靶材多少錢
靶材是半導(dǎo)體薄膜沉積的關(guān)鍵材料,是一種用于濺射沉積的高純度材料。根據(jù)半導(dǎo)體材料的種類,靶材可分為多種類型,包括硅(Si)、氮化硅(Si3N4)、氧化物(如二氧化硅、三氧化二鋁等)、化合物半導(dǎo)體(如砷化鎵GaAs、氮化鋁AlN等)以及其他材料。這些靶材都是經(jīng)過嚴(yán)格的制備工藝,以保證其高純度、均勻性和穩(wěn)定性。靶材的制備工藝包括多個步驟,如原料選材、原料制備、壓制成型、高溫?zé)Y(jié)等過程。原料選材是靶材制備的重要一步,需要選擇高純度的原料,通常采用化學(xué)還原法、真空冶煉法、機械合成法等方法。在壓制成型的過程中,選用合適的成型模具和壓力,使得形成的靶材密度和形狀均勻一致。高溫?zé)Y(jié)是為了進一步提高靶材的密度和強度,通常采用高溫?zé)Y(jié)爐,在高溫下進行持續(xù)燒結(jié)過程。北京氧化鋅靶材多少錢