異質結電池所有制程的加工溫度均低于250，避免了生產效率低而成本高的高溫擴散制結的過程，而且低溫工藝使得a-Si薄膜的光學帶隙、沉積速率、吸收系數以及氫含量得到較精確的控制，也可避免因高溫導致的熱應力等不良影響。釜川（無錫）智能科技有限公司，以半導體生產設備、太陽能電池生產設備為主要產品，打造光伏設備一體化服務。擁有強大的科研團隊，憑借技術競爭力，在清洗制絨設備、PECVD設備、PVD設備、電鍍銅設備等方面都有獨特優(yōu)勢；以高效加工制造、快速終端交付的能力，為客戶提供整線工藝設備的交付服務。光伏異質結技術的不斷進步和發(fā)展將進一步推動全球能源結構的優(yōu)化和轉型。上海異質結技術

異質結電池生產設備，本征非晶硅薄膜沉積（i-a-Si:H）i-a-Si:H/c-Si界面處存在復合活性高的異質界面，是由于界面處非晶硅薄膜中的缺陷和界面上的懸掛鍵會成為復合中心，因此需要進行化學鈍化；化學鈍化主要由氫鈍化非晶硅薄膜鈍化層來完成，將非晶硅薄膜中的缺陷和界面懸掛鍵飽和來減少復合性缺陷態(tài)密度。摻雜非晶硅薄膜沉積場鈍化主要在電池背面沉積同型摻雜非晶硅薄層形成背電場，可以削弱界面的復合，達到減少載流子復合和獲取更多光生載流子的目的；摻雜非晶硅薄膜一般采用與沉積本征非晶硅膜層相似的等離子體系統(tǒng)來完成；p型摻雜常用的摻雜源為硼烷(B2H6)混氫,或者三甲基硼(TMB)；n型摻雜則用磷烷混氫（PH3)。優(yōu)越的表面鈍化能力是獲得較高電池效率的重要條件，利用非晶硅優(yōu)異的鈍化效果，可將硅片的少子壽命大幅度提升。上海專業(yè)異質結設備供應商光伏異質結的制造工藝不斷優(yōu)化，降低了生產成本，提高了產量和良品率。

高效HJT電池整線裝備，物理的氣相沉積，PVD優(yōu)點沉積速度快、基材溫升低；所獲得的薄膜純度高、致密性好、成膜均勻性好；濺射工藝可重復性好，精確控制厚度；膜層粒子的散射能力強，繞鍍性好；不同的金屬、合金、氧化物能夠進行混合，同時濺射于基材上；缺點：常規(guī)平面磁控濺射技術靶材利用率不高，一般低于40％；在輝光放電中進行，金屬離化率較低。反應等離子體沉，RPD優(yōu)點：對襯底的轟擊損傷?。诲儗痈街阅芎?，膜層不易脫落；源材料利用率高，沉積速率高；易于化合物膜層的形成，增加活性；鍍膜所使用的基體材料和膜材范圍廣。缺點：薄膜中的缺陷密度較高，薄膜與基片的過渡區(qū)較寬，應用中受到限制（特別是電子器件和IC）；薄膜中含有氣體量較高。

光伏異質結是太陽能電池的主要組成部分，其應用前景非常廣闊。隨著全球對清潔能源的需求不斷增加，太陽能行業(yè)的發(fā)展前景也越來越廣闊。光伏異質結具有高效、環(huán)保、可再生等特點，可以廣泛應用于家庭、工業(yè)、農業(yè)等領域。在家庭領域，光伏異質結可以用于太陽能發(fā)電系統(tǒng)，為家庭提供清潔、穩(wěn)定的電力供應。在工業(yè)領域，光伏異質結可以用于太陽能電站，為企業(yè)提供大規(guī)模的清潔能源。在農業(yè)領域，光伏異質結可以用于太陽能灌溉系統(tǒng)，為農民提供便捷、高效的灌溉服務。此外，光伏異質結還可以應用于交通、通信、航空等領域，為這些領域提供清潔、高效的能源供應。因此，光伏異質結在太陽能行業(yè)的應用前景非常廣闊，具有非常大的發(fā)展?jié)摿?。光伏異質結技術的廣泛應用將有助于實現(xiàn)綠色能源轉型和應對氣候變化的目標。

光伏高效異質結電池整線解決方案，產業(yè)機遇：方向清晰：HJT技術工藝流程短、功率衰減低、輸出功率穩(wěn)定、雙面發(fā)電增益高、未來主流技術方向；時間明確：HJT平均量產效率已超過PERC瓶頸（25%），行業(yè)對HJT電池投入持續(xù)加大，電池商業(yè)化已逐漸成熟；機遇可期：設備與耗材是HJT規(guī)?；年P鍵，降本增效是不變的主題，具備HJT整線整合能力的供應商優(yōu)勢明顯。當前HJT生產成本約：硅片占比約50%，銀漿占比約25%，靶材約6%左右；當前HJT設備成本約：清洗制絨設備、PECVD設備、PVD設備、絲網印刷，設備投資額占比分別約10%、50%、25%和15%。異質結電池主工藝之一：PVD設備。上海異質結

光伏異質結是一種高效太陽能電池，具有更高的轉換效率和更低的衰減率。上海異質結技術

異質結（Heterojunction with Intrinsic Thin-layer，HJT）電池為對稱的雙面結構，主要由 N 型單晶硅片襯底、正面和背面的本征/摻雜非晶硅薄膜層（包括 N 型非晶硅薄膜 n-a-Si:H、本征非晶硅薄膜 i-a-Si:H 和 P 型非晶硅薄膜 p-a-Si:H）、雙面的透明導電氧化薄膜(TCO) 層和金屬電極構成。其中，本征非晶硅層起到表面鈍化作用，P型摻雜非晶硅層為發(fā)射層，N 型摻雜非晶硅層起到背場作用。HJT是很有潛力優(yōu)勢的技術，在將來HJT電池與鈣鈦礦技術進行復合疊層，突破轉換效率30%成為可能。上海異質結技術

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