HJT電池生產(chǎn)流程，HJT電池生產(chǎn)設(shè)備，制絨清洗的主要目的。1去除硅片表面的污染和損傷層；2利用KOH腐蝕液對n型硅片進行各項異性腐蝕，將Si（100）晶面腐蝕為Si（111）晶面的四方椎體結(jié)構(gòu)（“金字塔結(jié)構(gòu)”），即在硅片表面形成絨面，可將硅片表面反射率降低至12.5%以下，從而產(chǎn)生更多的光生載流子；3形成潔凈硅片表面，由于HJT電池中硅片襯底表面直接為異質(zhì)結(jié)界面的一部分，避免不潔凈引進的缺陷和雜質(zhì)而帶來的結(jié)界面處載流子的復(fù)合。堿溶液濃度較低時，單晶硅的(100)與(111)晶面的腐蝕速度差別比較明顯，速度的比值被稱為各向異性因子(anisotropicfactorAF)；因此改變堿溶液的濃度及溫度，可以有效地改變AF，使得在不同方向上的速度不同，在硅片表面形成密集分布的“金字塔”結(jié)構(gòu)的減反射絨面；在制絨工序，絨面大小為主要指標(biāo)，一般可通過添加劑的選擇、工藝配比的變化、工藝溫度及工藝時間等來進行調(diào)節(jié)控制。異質(zhì)結(jié)電池主工藝有4道：制絨、非晶硅沉積、TCO沉積、金屬化。廣州新型異質(zhì)結(jié)材料

異質(zhì)結(jié)是指由兩種或兩種以上不同材料組成的結(jié)構(gòu)，其中兩種材料的晶格結(jié)構(gòu)、能帶結(jié)構(gòu)、電子親和能、禁帶寬度等物理性質(zhì)不同。在異質(zhì)結(jié)中，由于材料的不同，電子在兩種材料之間會發(fā)生反射、透射、折射等現(xiàn)象，從而形成電子的能帶結(jié)構(gòu)和電子密度分布的變化，這種變化會影響電子的傳輸和能量的轉(zhuǎn)移。異質(zhì)結(jié)在半導(dǎo)體器件中有廣泛的應(yīng)用，例如PN結(jié)、MOSFET、LED等。其中，PN結(jié)是基本的異質(zhì)結(jié)器件，由P型半導(dǎo)體和N型半導(dǎo)體組成，具有整流、放大、開關(guān)等功能，廣泛應(yīng)用于電子器件中。MOSFET是一種基于金屬-氧化物-半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的異質(zhì)結(jié)器件，具有高速、低功耗、高可靠性等優(yōu)點，被廣泛應(yīng)用于集成電路中。LED是一種基于半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)的發(fā)光器件，具有高亮度、長壽命、低功耗等優(yōu)點，被廣泛應(yīng)用于照明、顯示等領(lǐng)域?？傊?，異質(zhì)結(jié)是半導(dǎo)體器件中的重要組成部分，其物理性質(zhì)和應(yīng)用具有重要意義。浙江新型異質(zhì)結(jié)低銀光伏異質(zhì)結(jié)結(jié)合了晶體硅和薄膜太陽能電池的優(yōu)點，能在低成本下實現(xiàn)高效率。

太陽能異質(zhì)結(jié)中的不同層協(xié)同工作是通過光電轉(zhuǎn)換的方式實現(xiàn)的。太陽能異質(zhì)結(jié)由p型半導(dǎo)體和n型半導(dǎo)體組成，兩種半導(dǎo)體之間形成了pn結(jié)。當(dāng)太陽光照射到pn結(jié)上時，光子會被吸收并激發(fā)電子從價帶躍遷到導(dǎo)帶，形成電子空穴對。由于pn結(jié)兩側(cè)的電場方向相反，電子和空穴會被分離，形成電勢差，從而產(chǎn)生電流。不同層之間的協(xié)同工作是通過優(yōu)化各自的材料和結(jié)構(gòu)實現(xiàn)的。例如，p型半導(dǎo)體通常采用硼摻雜的硅材料，n型半導(dǎo)體則采用磷或氮摻雜的硅材料。這樣可以使得p型半導(dǎo)體的電子井深度較淺，n型半導(dǎo)體的電子井深度較深，從而提高光電轉(zhuǎn)換效率。此外，太陽能電池的表面還會涂覆一層透明導(dǎo)電膜，以增加光的吸收和電子的收集效率?？傊柲墚愘|(zhì)結(jié)中的不同層通過優(yōu)化材料和結(jié)構(gòu)，協(xié)同工作實現(xiàn)光電轉(zhuǎn)換，將太陽光能轉(zhuǎn)化為電能。這種協(xié)同工作的優(yōu)化可以提高太陽能電池的效率和穩(wěn)定性，從而推動太陽能技術(shù)的發(fā)展。

異質(zhì)結(jié)電池（HJT電池）的特點和優(yōu)勢1、無PID現(xiàn)象由于電池上表面為TCO，電荷不會在電池表面的TCO上產(chǎn)生極化現(xiàn)象，無PID現(xiàn)象。同時實測數(shù)據(jù)也證實了這一點。異質(zhì)結(jié)太陽能電池的技術(shù)應(yīng)用與前景2、低溫制造工藝HJT電池所有制程的加工溫度均低于250，避免了生產(chǎn)效率低而成本高的高溫擴散制結(jié)的過程，而且低溫工藝使得a-Si薄膜的光學(xué)帶隙、沉積速率、吸收系數(shù)以及氫含量得到較精確的控制，也可避免因高溫導(dǎo)致的熱應(yīng)力等不良影響。3、高效率HJT電池一直在刷新著量產(chǎn)的電池轉(zhuǎn)換效率的世界紀錄。HJT電池的效率比P型單晶硅電池高1-2%，而且之間的差異在慢慢增大。4、高光照穩(wěn)定性異質(zhì)結(jié)太陽能電池的技術(shù)應(yīng)用與前景在HJT太陽能電池中不會出現(xiàn)非晶硅太陽能電池中常見的Staebler-Wronski效應(yīng)。同時HJT電池采用的N型硅片，摻雜劑為磷，幾乎無光致衰減現(xiàn)象。5、可向薄型化發(fā)展HJT電池的制程溫度低，上下表面結(jié)構(gòu)對稱，無機械應(yīng)力產(chǎn)生，可以順利實現(xiàn)薄型化；另外經(jīng)研究，對于少子壽命較高（SRV<100cm/s）的N型硅基底，片子越薄可以得到越高的開路電壓。光伏異質(zhì)結(jié)技術(shù)可以應(yīng)用于各種類型的太陽能電池，包括晶體硅、薄膜和多結(jié)太陽能電池。

高效異質(zhì)結(jié)電池生產(chǎn)流程中使用的設(shè)備，PECVD 1.等離子化學(xué)氣相沉積（PlasmaEnhancedCVD，PECVD）是指利用輝光放電的物理作用來化學(xué)氣相沉積反應(yīng)的CVD技術(shù)；2.異質(zhì)結(jié)非晶硅薄膜沉積是采用RPECVD技術(shù)，射頻等離子體增強化學(xué)氣相沉積（RFPlasma-EnhancedChemicalVaporDeposition,RPECVD），是PECVD的另外一種技術(shù)。它是利用射頻能量使反應(yīng)氣體等離子化。優(yōu)點：低溫成膜（300-350℃），對基片影響小，避免了高溫帶來的膜層晶粒粗大；l低壓下形成薄膜厚度及成分較均勻、膜層致密、內(nèi)應(yīng)力小，不易產(chǎn)生裂紋；l擴大CVD應(yīng)用范圍，特別是在不同基片上制備金屬薄膜、非晶態(tài)無機薄膜等，薄膜的附著力大于普通CVD。光伏異質(zhì)結(jié)可以應(yīng)用在各種表面上，如玻璃、塑料等，具有廣泛的應(yīng)用前景。北京新型異質(zhì)結(jié)價格

光伏異質(zhì)結(jié)技術(shù)可以與其他先進技術(shù)相結(jié)合，如微晶硅鈍化、選擇性發(fā)射極等，進一步優(yōu)化電池性能。廣州新型異質(zhì)結(jié)材料

異質(zhì)結(jié)硅太陽能電池的工藝要求與同質(zhì)結(jié)晶體硅太陽能電池相比，有幾個優(yōu)點：與同質(zhì)結(jié)形成相比，異質(zhì)結(jié)形成期間的熱預(yù)算減少。a-Si:H層和TCO前接觸的沉積溫度通常低于250℃。與傳統(tǒng)的晶體硅太陽能電池相比，異質(zhì)結(jié)的形成和沉積接觸層所需的時間也更短。由于異質(zhì)結(jié)硅太陽能電池的低加工溫度及其對稱結(jié)構(gòu)，晶圓彎曲被抑制。外延生長：在晶體硅和a-Si:H鈍化層之間沒有尖銳的界面，而外延生長的結(jié)果是混合相的界面區(qū)域，界面缺陷態(tài)的密度增加。在a-Si:H的沉積過程中，外延生長導(dǎo)致異質(zhì)結(jié)太陽能電池的性能惡化，特別是影響了Voc。事實證明，在a-Si:H的沉積過程中，高沉積溫度（>140℃）會導(dǎo)致外延生長。其他沉積條件，如功率和襯底表面的性質(zhì)，也對外延生長有影響，通過使用a-SiO:H合金而不是a-Si:H，可以有效抑制外延生長。HJT的清洗特點:在制絨和清洗之后的圓滑處理導(dǎo)致了表面均勻性的改善，減少了微觀粗糙度，并提高了整個裝置的性能。此外，氫氣后處理被發(fā)現(xiàn)有利于提高a-Si:H薄膜的質(zhì)量和表面鈍化。CVD對比：HWCVD比PECVD有幾個優(yōu)點。例如，硅烷的熱解避免了表面的離子轟擊，而且產(chǎn)生的原子氫可以使表面鈍化。廣州新型異質(zhì)結(jié)材料