異質(zhì)結(jié)電池為對稱的雙面結(jié)構(gòu)，主要由 N 型單晶硅片襯底、正面和背面的本征/摻雜非晶硅薄膜層、雙面的透明導(dǎo)電氧化薄膜(TCO) 層和金屬電極構(gòu)成。其中，本征非晶硅層起到表面鈍化作用，P型摻雜非晶硅層為發(fā)射層，N 型摻雜非晶硅層起到背場作用。HJT電池轉(zhuǎn)換效率高，拓展?jié)摿Υ?，工藝簡單并且降本路線清晰，契合了光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展的規(guī)律，是有潛力的下一代電池技術(shù)。HJT電池為對稱的雙面結(jié)構(gòu)，主要由 N 型單晶硅片襯底、正面和背面的本征/摻雜非晶硅薄膜層、雙面的透明導(dǎo)電氧化薄膜(TCO) 層和金屬電極構(gòu)成。其中，本征非晶硅層起到表面鈍化作用，P型摻雜非晶硅層為發(fā)射層，N 型摻雜非晶硅層起到背場作用。光伏異質(zhì)結(jié)結(jié)合了晶體硅和非晶硅的優(yōu)點，實現(xiàn)了低成本、高效率的太陽能轉(zhuǎn)換。北京單晶硅異質(zhì)結(jié)薄膜

HJT電池生產(chǎn)流程，HJT電池生產(chǎn)設(shè)備，制絨清洗的主要目的。1去除硅片表面的污染和損傷層；2利用KOH腐蝕液對n型硅片進行各項異性腐蝕，將Si（100）晶面腐蝕為Si（111）晶面的四方椎體結(jié)構(gòu)（“金字塔結(jié)構(gòu)”），即在硅片表面形成絨面，可將硅片表面反射率降低至12.5%以下，從而產(chǎn)生更多的光生載流子；3形成潔凈硅片表面，由于HJT電池中硅片襯底表面直接為異質(zhì)結(jié)界面的一部分，避免不潔凈引進的缺陷和雜質(zhì)而帶來的結(jié)界面處載流子的復(fù)合。堿溶液濃度較低時，單晶硅的(100)與(111)晶面的腐蝕速度差別比較明顯，速度的比值被稱為各向異性因子(anisotropicfactorAF)；因此改變堿溶液的濃度及溫度，可以有效地改變AF，使得在不同方向上的速度不同，在硅片表面形成密集分布的“金字塔”結(jié)構(gòu)的減反射絨面；在制絨工序，絨面大小為主要指標(biāo)，一般可通過添加劑的選擇、工藝配比的變化、工藝溫度及工藝時間等來進行調(diào)節(jié)控制。杭州新型異質(zhì)結(jié)PECVD光伏異質(zhì)結(jié)在建筑、農(nóng)業(yè)、交通等領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，為綠色能源的發(fā)展提供了有力支持。

異質(zhì)結(jié)電池的清洗制絨：在沉積a-Si:H之前的晶圓清洗有兩個作用。一個是去除晶圓表面的顆粒和金屬污染。另一個是用氫氣使表面上的懸空鍵部分鈍化。清潔是降低a-Si:H/c-Si界面狀態(tài)密度的關(guān)鍵一步。不同清潔程序的效果可以通過測量清潔過的晶圓的載流子壽命來研究，這些晶圓已經(jīng)用相同的a-Si:H薄膜進行了鈍化。在高質(zhì)量硅片的塊狀區(qū)域的載流子重組可以被認為是可以忽略的，因此對載流子壽命的測量表明了表面重組，因此也表明了清潔過程的質(zhì)量。下圖顯示了在代爾夫特理工大學(xué)進行的三種不同清洗方法的比較。在晶圓兩面沉積本征a-Si:H層之前，以三種不同的方式處理（100）取向的FZ c-Si晶圓。晶圓使用標(biāo)準的RCA清洗，第二個晶圓使用涉及濃硝酸的標(biāo)準DIMES清洗程序進行清洗。所有三個晶圓都被浸泡在HF中，以去除原生氧化層，這是對第三個晶圓進行的處理。在預(yù)處理之后，在晶圓的兩面都沉積了120納米厚的本征a-Si:H層，每次運行都使用相同的沉積條件。使用Sinton壽命測試器測量載流子壽命，以評估鈍化質(zhì)量。使用標(biāo)準RCA工藝清潔的晶圓載流子壽命高，因此鈍化效果也好。只接受HF浸漬處理的晶圓觀察到低的載流子壽命。

光伏異質(zhì)結(jié)是一種由不同材料組成的太陽能電池結(jié)構(gòu)。它由兩種或更多種不同的半導(dǎo)體材料組成，其中一種是p型半導(dǎo)體，另一種是n型半導(dǎo)體。這兩種半導(dǎo)體材料的電子結(jié)構(gòu)不同，因此它們的導(dǎo)電性質(zhì)也不同。在光伏異質(zhì)結(jié)中，p型半導(dǎo)體和n型半導(dǎo)體之間形成了一個pn結(jié)，這是一個具有特殊電學(xué)性質(zhì)的界面。當(dāng)光線照射到光伏異質(zhì)結(jié)上時，光子會被吸收并激發(fā)出電子和空穴。由于pn結(jié)的存在，電子和空穴會被分離，電子會向n型半導(dǎo)體移動，空穴會向p型半導(dǎo)體移動。這種電子和空穴的分離會產(chǎn)生電勢差，從而產(chǎn)生電流。這就是光伏異質(zhì)結(jié)的工作原理。光伏異質(zhì)結(jié)具有高效率、長壽命、低成本等優(yōu)點，因此被廣泛應(yīng)用于太陽能電池、太陽能電池板、太陽能電池組等領(lǐng)域。隨著技術(shù)的不斷進步，光伏異質(zhì)結(jié)的效率和性能將不斷提高，為太陽能產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供更多的可能性。光伏異質(zhì)結(jié)的制造工藝不斷優(yōu)化，降低了生產(chǎn)成本，提高了產(chǎn)量和良品率。

光伏異質(zhì)結(jié)是一種利用半導(dǎo)體材料的光電效應(yīng)將光能轉(zhuǎn)化為電能的技術(shù)。其原理是基于半導(dǎo)體材料的能帶結(jié)構(gòu)和PN結(jié)的特性。半導(dǎo)體材料的能帶結(jié)構(gòu)是指在晶體中，電子的能量分布情況。在半導(dǎo)體中，有一個價帶和一個導(dǎo)帶，兩者之間存在一個能隙。當(dāng)光子能量大于等于這個能隙時，光子就可以激發(fā)價帶中的電子躍遷到導(dǎo)帶中，形成自由電子和空穴。這個過程就是光電效應(yīng)。PN結(jié)是由P型半導(dǎo)體和N型半導(dǎo)體組成的結(jié)構(gòu)。在PN結(jié)中，P型半導(dǎo)體中的空穴和N型半導(dǎo)體中的自由電子會在結(jié)界面處發(fā)生復(fù)合，形成電子-空穴對。這個過程會產(chǎn)生電勢差，形成電場，使得電子和空穴在結(jié)界面處被分離，形成電勢差。光伏異質(zhì)結(jié)就是將半導(dǎo)體材料的能帶結(jié)構(gòu)和PN結(jié)的特性結(jié)合起來，形成一個異質(zhì)結(jié)。在光伏異質(zhì)結(jié)中，P型半導(dǎo)體和N型半導(dǎo)體的結(jié)界面處形成了一個電勢差，使得光子激發(fā)的電子和空穴被分離，形成電勢差。這個電勢差可以被收集，形成電流，從而將光能轉(zhuǎn)化為電能?？傊夥愘|(zhì)結(jié)的原理是基于半導(dǎo)體材料的能帶結(jié)構(gòu)和PN結(jié)的特性，利用光子激發(fā)電子和空穴的光電效應(yīng)，形成電勢差，將光能轉(zhuǎn)化為電能。光伏異質(zhì)結(jié)的制造過程中，非晶硅層可以作為掩膜，提高電池的抗反射性能，從而提高光電轉(zhuǎn)換效率。自動化異質(zhì)結(jié)吸雜設(shè)備

光伏異質(zhì)結(jié)的制造工藝包括薄膜沉積、熱處理、光刻等步驟，具有靈活性高、可定制化的優(yōu)點。北京單晶硅異質(zhì)結(jié)薄膜

異質(zhì)結(jié)電池整線生產(chǎn)設(shè)備，l在擴散的過程中，pn結(jié)p區(qū)一側(cè)出現(xiàn)負電荷區(qū)，n區(qū)一側(cè)出現(xiàn)正電荷區(qū)，其形成空間電荷區(qū)，在空間內(nèi)部形成內(nèi)建電場，載流子做漂移運動，阻礙電子與空穴的擴散，達到平衡，能帶停止相對移動，p區(qū)能帶相對于n區(qū)上移，n區(qū)能帶相對于p區(qū)下移，pn結(jié)的費米能級處處相等，即載流子的擴散電流和漂移電流相互抵消；pn結(jié)勢壘區(qū)存在較強的內(nèi)建電場（自n區(qū)指向p區(qū)），則p區(qū)的電子進入n區(qū)，n區(qū)的空穴進入p區(qū)，使p端電勢升高，n端電勢降低，在pn結(jié)兩端產(chǎn)生光生電動勢，即為PN結(jié)的光生伏特效應(yīng)。同理，由于光照在PN結(jié)兩端產(chǎn)生光生電動勢，即在PN結(jié)兩端加上正向偏壓V，則產(chǎn)生正向電流IF，在PN結(jié)開路時，光生電流等于正向電流，PN結(jié)兩端建立起穩(wěn)定的電勢差VOC，即光電池的開路電壓，這就是光電池的基本原理。北京單晶硅異質(zhì)結(jié)薄膜