探針臺(Prober station)又稱探針測試臺,主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個可調(diào)測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進行科研分析,抽查測試等用途。探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)得研發(fā),生產(chǎn)制造,失效分析等,是對晶圓(Wafer)上得器件進行電特性測試或故障分析而使用得精密機臺,通過探針臺能很好得幫助工程技術(shù)人員實現(xiàn)微小位置得電學(xué)參數(shù)測試。探針臺的運營需要考慮科學(xué)、技術(shù)和管理等多個方面的因素,并做好安全保密方面的工作。安徽高精度探針臺怎么樣
滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺的維護與保養(yǎng),相對于平面電機工作臺,絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜,工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅(qū)動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動,導(dǎo)向部分采用精密直線滾動導(dǎo)軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件,所以具有傳動效率高、摩擦力矩小,使用壽命長等特點。這種結(jié)構(gòu)的工作臺應(yīng)放置在溫度23±3 ℃,濕度≤70%,無有害氣體的環(huán)境中,滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油,但不可過多,值得指出的是,這種結(jié)構(gòu)的工作臺在裝配過程中,從直線導(dǎo)軌的直線性,上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復(fù)性,定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調(diào)整,用戶一般情況不能輕易改變,一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來的狀態(tài),所以對需要調(diào)整的工作臺應(yīng)有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過培訓(xùn)的專業(yè)人員完成。江蘇晶圓測試探針臺怎么樣探針臺的建設(shè)需要對宇宙環(huán)境綜合思考,并有針對性解決相關(guān)科技難題。
探針臺,是我們半導(dǎo)體實驗室電學(xué)性能測試的常用設(shè)備,也是各大實驗室以及芯片設(shè)計、封裝測試的熟客。設(shè)備具備各項優(yōu)勢,高性能低成本,用途廣,操作方便,在不同測試環(huán)境下,測試結(jié)果穩(wěn)定,客觀,深受工程師們的青睞。探針臺主要用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的 CP 測試環(huán)節(jié),負責(zé)晶圓的輸送與定位,確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試,實現(xiàn)更加精確的數(shù)據(jù)測試測量。半導(dǎo)體測試設(shè)備主要包括測試機、探針臺和分選機。
探針臺的基本組件,探針臺由六個基本組件組成:Chuck – 一種用于固定晶片或裸片而不損壞它的裝置。載物臺 – 用于將卡盤定位在 X、Y、Z 和 Theta (θ) 上。機械手——用于將探頭定位在被測設(shè)備 (DUT) 上。壓板 - 用于固定操縱器并使探針與設(shè)備接觸。探頭先進和臂 - 安裝在機械手上,它們直接接觸設(shè)備。光學(xué) - 用于查看和放大被測設(shè)備和探頭先進。它是如何工作的?探針臺將晶圓或芯片固定在安裝在平臺上的卡盤上,該平臺允許將 DUT 定位在顯微鏡視野的中心。探針臺能夠觀測到遠離地球的星系和恒星群。
XY 精密工作臺結(jié)構(gòu)設(shè)計,由于XY 工作臺需要放置于真空腔體內(nèi),XY 工作臺結(jié)構(gòu)越緊湊,真空腔體就越小,設(shè)備尺寸也 就相應(yīng)減小。結(jié)構(gòu)緊湊合理的XY 工作臺有利于 降低真空腔體加工難度、減少能源浪費。XY 工作臺整體處于真空腔體中,要求零部件結(jié)構(gòu)密致性好,零部件材料不能逸出空氣,材料表 面不能有揮發(fā)性油脂。XY 工作臺需要完全暴露在特 種環(huán)境中,所有零部件均需要通過耐腐蝕、耐低溫 性等試驗,對于電機、絲杠、導(dǎo)軌等外購件,如果沒 有合適的型號滿足上述要求,需要對相應(yīng)外購件 加裝特制密封裝置,使外購件與腔體內(nèi)環(huán)境有效 隔絕。探針臺提供了探索宇宙的有效途徑。安徽高精度探針臺怎么樣
探針臺的觀測和研究任務(wù)需要具備高水平的科研和管理人才。安徽高精度探針臺怎么樣
不同的顯微鏡,顯微鏡的支架會有所不同,通常有立柱安裝和龍門安裝兩種配置。定位器平臺用于放置定位器(探針座)、形狀和尺寸根據(jù)測試應(yīng)用不同會有不同的設(shè)計形式。樣品臺(載物臺)用于承載待測樣品,通常根據(jù)晶圓尺寸設(shè)計,常用的尺寸從2~12英寸。除了承載樣品的功能,樣品臺還可根據(jù)測量需求,設(shè)計為帶測量通路和帶精密控溫的形式。精密移動組件。以上承載平臺都配套了相應(yīng)的移動定位功能,方便用戶對顯微鏡、待測樣品及定位器進行精密的移動。通常有X-Y-Z-R-T這些方向移動功能。定位器。定位器(又稱探針座),幫助用戶實現(xiàn)探針的精密移動定位。因此,結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性、驅(qū)動絲桿精度、導(dǎo)向機構(gòu)的直線度、往復(fù)精度、長期使用時以上指標的可靠性都是選購定位器時應(yīng)當考慮的主要指標。安徽高精度探針臺怎么樣
深圳市泰克光電科技有限公司坐落于深圳市寶安區(qū)新橋街道象山社區(qū)新玉路84號B棟3層,是集設(shè)計、開發(fā)、生產(chǎn)、銷售、售后服務(wù)于一體,能源的生產(chǎn)型企業(yè)。公司在行業(yè)內(nèi)發(fā)展多年,持續(xù)為用戶提供整套探針臺,芯片測試機,藍膜編帶機,分光編帶機的解決方案。公司主要產(chǎn)品有探針臺,芯片測試機,藍膜編帶機,分光編帶機等,公司工程技術(shù)人員、行政管理人員、產(chǎn)品制造及售后服務(wù)人員均有多年行業(yè)經(jīng)驗。并與上下游企業(yè)保持密切的合作關(guān)系。TEC-PHO,SHIBUYA,Oh'TEC集中了一批經(jīng)驗豐富的技術(shù)及管理專業(yè)人才,能為客戶提供良好的售前、售中及售后服務(wù),并能根據(jù)用戶需求,定制產(chǎn)品和配套整體解決方案。我們本著客戶滿意的原則為客戶提供探針臺,芯片測試機,藍膜編帶機,分光編帶機產(chǎn)品售前服務(wù),為客戶提供周到的售后服務(wù)。價格低廉優(yōu)惠,服務(wù)周到,歡迎您的來電!