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上海探針臺(tái)設(shè)備

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-10-31

8英寸手動(dòng)探針臺(tái)用途:以往如果需要測(cè)試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài),研發(fā)人員一般會(huì)采用萬(wàn)用電表的表筆去點(diǎn)測(cè)。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對(duì)于精密微小(納米級(jí))的微電子器件(如IC、wafer、Chip、LCDArray、CMOSCameraModule、Pitch微小的Connector),萬(wàn)用表點(diǎn)到被測(cè)位置就顯得無(wú)能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生,利用高精度微探針將被測(cè)原件的內(nèi)部訊號(hào)引導(dǎo)出來(lái),便于其電性測(cè)試設(shè)備(不屬于本機(jī)器)對(duì)此測(cè)試、分析。探針臺(tái)的設(shè)立能夠加深人類對(duì)宇宙和自身的認(rèn)識(shí)。上海探針臺(tái)設(shè)備

探針臺(tái)在使用過(guò)程中,不可用硬物接觸機(jī)器,以免發(fā)生故障或危險(xiǎn)。探針臺(tái)光學(xué)部件清潔時(shí),可用鏡頭紙蘸無(wú)水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無(wú)水酒精時(shí)易燃物,注意使用安全。停電或長(zhǎng)期不用、外出旅行時(shí),請(qǐng)將電源線插頭拔掉以維護(hù)機(jī)器壽命。操作人員必須嚴(yán)格按要要求操作,以保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確和儀器的正常使用。工作環(huán)境。探針臺(tái)應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺(tái)面上,較好是具有防震裝置的工作臺(tái)上,避免在高溫,潮濕激烈震動(dòng),陽(yáng)光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。上海探針臺(tái)設(shè)備探針臺(tái)的運(yùn)營(yíng)需要考慮科學(xué)、技術(shù)和管理等多個(gè)方面的因素,并做好安全保密方面的工作。

半自動(dòng)型,chuck尺寸800mm/600mm;X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程200mm/150mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm;可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡;針座擺放個(gè)數(shù)6~8顆;顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2"x2"x2";可搭配Probe card測(cè)試;適用領(lǐng)域:8寸/6寸Wafer、IC測(cè)試之產(chǎn)品;電動(dòng)型;chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不銹鋼或鍍金);X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程300mm x 300mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm,微調(diào)精度土1u;可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡。

隨著5G、汽車?yán)走_(dá)等技術(shù)的發(fā)展,在片測(cè)試也進(jìn)入了亞毫米波/太赫茲頻段,對(duì)在片測(cè)試技術(shù)提出了更高的挑戰(zhàn)。在片測(cè)量系統(tǒng):微波射頻在片測(cè)量系統(tǒng)一般由射頻/微波測(cè)量?jī)x器和探針臺(tái)及附件組成。 微波射頻在片測(cè)量系統(tǒng)中,探針臺(tái)和探針用于芯片測(cè)量端口與射頻測(cè)量?jī)x器端口(同軸或波導(dǎo))之間的適配;微波射頻測(cè)量?jī)x器完成各項(xiàng)所需的射頻測(cè)量。探針臺(tái)(Probe Station):探針臺(tái)是半導(dǎo)體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一,其普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。通過(guò)與測(cè)試儀器的配合,探針臺(tái)將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來(lái),在進(jìn)入后序工序前予以剔除,較大程度上降低器件的制造成本。探針臺(tái)主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測(cè)、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。探針臺(tái)提供了探索宇宙的有效途徑。

探針臺(tái)的基本組件,探針臺(tái)由六個(gè)基本組件組成:Chuck – 一種用于固定晶片或裸片而不損壞它的裝置。載物臺(tái) – 用于將卡盤定位在 X、Y、Z 和 Theta (θ) 上。機(jī)械手——用于將探頭定位在被測(cè)設(shè)備 (DUT) 上。壓板 - 用于固定操縱器并使探針與設(shè)備接觸。探頭先進(jìn)和臂 - 安裝在機(jī)械手上,它們直接接觸設(shè)備。光學(xué) - 用于查看和放大被測(cè)設(shè)備和探頭先進(jìn)。它是如何工作的?探針臺(tái)將晶圓或芯片固定在安裝在平臺(tái)上的卡盤上,該平臺(tái)允許將 DUT 定位在顯微鏡視野的中心。探針臺(tái)是在地球表面建立的觀測(cè)站,旨在收集宇宙射線、電磁波等信息。上海探針臺(tái)設(shè)備

探針臺(tái)擁有先進(jìn)的天文儀器,可以提供高質(zhì)量的觀測(cè)數(shù)據(jù)。上海探針臺(tái)設(shè)備

探針臺(tái)具有以下優(yōu)勢(shì):能夠確保相關(guān)產(chǎn)品研發(fā)的質(zhì)量。能夠有效縮短研發(fā)時(shí)間和資金成本??梢钥s減器件的制作工藝成本。具有更加可靠和省時(shí)省力的優(yōu)勢(shì),可以縮減器件的制作工藝成本??梢栽谡婵諚l件下操作,提高了測(cè)試的準(zhǔn)確度。具有高剛性的硅片承載臺(tái)和高精度的探針控制系統(tǒng),有效提高了測(cè)試精度??蛇x配接入光纖,可將一根或幾根電學(xué)探針替換為光纖,提高了測(cè)試靈活性。具有優(yōu)良的直流漏電控制能力,確保測(cè)試的安全性。探針臺(tái)普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電以及集成電路等行業(yè),用于測(cè)試、調(diào)試和維修電子設(shè)備、電路板和芯片。上海探針臺(tái)設(shè)備