探針臺(tái)：手動(dòng)探針臺(tái)、半自動(dòng)探針臺(tái)、全自動(dòng)探針臺(tái)、8英寸半自動(dòng)探針臺(tái)、12英寸全自動(dòng)探針臺(tái)、太赫茲探針臺(tái)、射頻探針臺(tái)、硅光探針臺(tái)等探針臺(tái)的簡(jiǎn)單介紹，探針臺(tái)是半導(dǎo)體表征參數(shù)測(cè)試測(cè)量非常常用的設(shè)備，應(yīng)用范圍非常普遍。本文，我們只就手動(dòng)探針臺(tái)及其半導(dǎo)體測(cè)試測(cè)量應(yīng)用進(jìn)行討論。首先，我們來(lái)看看維基百科上對(duì)于探針臺(tái)（機(jī)械探針臺(tái)）的定義：盡管以上定義對(duì)于測(cè)量?jī)x器的描述比較窄（探針臺(tái)較早期的用法），但從上面我們不難了解到，探針臺(tái)是一個(gè)實(shí)現(xiàn)精密探針定位、為用戶提供半導(dǎo)體待測(cè)點(diǎn)至測(cè)量?jī)x器連接通路的設(shè)備。它主要包含了探針臺(tái)、定位器、探針、探針夾具及電纜組件。探針臺(tái)能夠?yàn)樘仗剿魈峁╆P(guān)鍵的科研數(shù)據(jù)。北京手動(dòng)探針臺(tái)生產(chǎn)商

手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)顧名思義是手動(dòng)控制的，這意味著晶圓載物臺(tái)、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動(dòng)移動(dòng)的。因此一般是在沒(méi)有很多待測(cè)器件需要測(cè)量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動(dòng)探針臺(tái)。該類(lèi)探針臺(tái)的優(yōu)點(diǎn)之一是只需要較少的培訓(xùn)，易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測(cè)試環(huán)境，并且不需要涉及額外培訓(xùn)和設(shè)置時(shí)間的電子設(shè)備、PC或軟件。由于其靈活和可變性高的特點(diǎn)，非常適合研發(fā)人員使用。全自動(dòng)探針臺(tái)相比上述兩種添加了晶圓材料處理搬運(yùn)單元（MHU）和模式識(shí)別（自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)）。負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試?？梢?4小時(shí)連續(xù)工作，通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。全自動(dòng)探針臺(tái)價(jià)格也是遠(yuǎn)比手動(dòng)/半自動(dòng)探針臺(tái)要昂貴。深圳8寸探針臺(tái)廠商探針臺(tái)的數(shù)據(jù)對(duì)太空探索、戰(zhàn)略部署、國(guó)家的安全等領(lǐng)域具有普遍的應(yīng)用和重要的戰(zhàn)略意義。

在地質(zhì)勘探方面，憑借其準(zhǔn)確度高、速度快的特點(diǎn)，幫助人類(lèi)更好地探索地球深處的各種資源。探測(cè)機(jī)器人通過(guò)自己的機(jī)械臂采集樣本，在經(jīng)過(guò)相關(guān)的研究分析后，為地球物質(zhì)研究領(lǐng)域帶來(lái)了巨大的突破。而在生物科技的應(yīng)用中，可以幫助科學(xué)家在分子層面上研究生命現(xiàn)象，如蛋白質(zhì)合成、DNA 重組等，為生物學(xué)家們的研究提供出了便利。材料科學(xué)是另一個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域。利用實(shí)驗(yàn)結(jié)果為材料科學(xué)領(lǐng)域提供基礎(chǔ)數(shù)據(jù)，幫助科學(xué)家們更好地掌握材料的物理特性。同時(shí)，作為理論工具，在材料計(jì)算中也有不可替代的作用。它能將理論解析進(jìn)行實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，實(shí)驗(yàn)結(jié)果為理論研究提供了更多的數(shù)據(jù)支持。

射頻探針：射頻探針的本質(zhì)為適配器，將芯片測(cè)量接口轉(zhuǎn)為同軸或波導(dǎo)端口。常見(jiàn)的射頻探針有GSG型、GS型、GSSG型等。射頻探針的主要參數(shù)有高工作頻率、探針針尖距（Pitch）等。目前，同軸接口的射頻探針頻率可達(dá)110 GHz（MPI目前適配安利的擴(kuò)頻模塊可到220G）波導(dǎo)接口的射頻探針頻率高達(dá)1.1 THz，有一些型號(hào)的探針可以選配BiasTee。校準(zhǔn)：微波射頻在片測(cè)試的校準(zhǔn)主要是指S參數(shù)校準(zhǔn)，可以通過(guò)使用校準(zhǔn)片完成校準(zhǔn)。一般的校準(zhǔn)片提供開(kāi)路（Open）、短路（Short）、匹配（Match）、直通（Through）和延遲線（Line）標(biāo)準(zhǔn)件，可完成TOSM校準(zhǔn)或TRL校準(zhǔn)或SOLT或SOLR或LRM等。探針臺(tái)建設(shè)需要綜合考慮技術(shù)、人力、資金等眾多因素。

探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。探針臺(tái)普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。據(jù) SEMI 預(yù)測(cè)，2020 年全球的探針臺(tái)市場(chǎng)規(guī)模約為 42.96 億元。由于半導(dǎo)體設(shè)備需求 與半導(dǎo)體芯片出貨量息息相關(guān)，在 5G、物聯(lián)網(wǎng)等因素的催化下，半導(dǎo)體芯片出貨量維持較 高規(guī)模，半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模將穩(wěn)步提升，探針臺(tái)市場(chǎng)規(guī)模在 2021、2022 年有望達(dá)到 51.56 億元、59.29 億元。探針臺(tái)具有規(guī)?；?、系統(tǒng)性、戰(zhàn)略性和國(guó)際性等特點(diǎn)，是人類(lèi)探索宇宙的中心樞紐。上海12寸探針臺(tái)價(jià)位

探針臺(tái)的發(fā)展需要國(guó)際合作和共同努力。北京手動(dòng)探針臺(tái)生產(chǎn)商

x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)，無(wú)論是全自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)還是自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)，x-y向工作臺(tái)都是其較主要的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測(cè)試臺(tái)的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺(tái)的故障，而工作臺(tái)故障有許多是對(duì)其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的，所以對(duì)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。本文只對(duì)自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)作一介紹。平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)，平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開(kāi)，定子是基礎(chǔ)平臺(tái)， 動(dòng)子和定子間有一層氣墊，動(dòng)子浮于氣墊上，而可編程承片臺(tái)則安裝在動(dòng)子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)，由于動(dòng)子和定子間無(wú)相對(duì)摩擦故無(wú)磨損，使用壽命長(zhǎng)。北京手動(dòng)探針臺(tái)生產(chǎn)商