優(yōu)先選擇地,所述機架上還固定有中轉(zhuǎn)裝置,所述中轉(zhuǎn)裝置位于所述自動上料裝置及自動下料裝置的一側(cè),所述中轉(zhuǎn)裝置包括氣缸墊塊、中轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)氣缸及tray盤中轉(zhuǎn)臺,所述中轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)氣缸固定于所述氣缸墊塊上,所述tray盤中轉(zhuǎn)臺與所述中轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)氣缸相連。優(yōu)先選擇地,所述自動上料機構(gòu)、自動下料機構(gòu)均包括伺服電機、行星減速機、滾珠絲桿、頭一移動底板、第二移動底板47、以及位于所述滾珠絲桿兩側(cè)的兩個導(dǎo)向軸,所述伺服電機與所述行星減速機相連,所述行星減速機通過聯(lián)軸器與所述滾珠絲桿相連,所述滾珠絲桿及兩個導(dǎo)向軸分別與所述頭一移動底板相連,所述頭一移動底板與所述第二移動底板47相連。設(shè)計和制造的冗余度越高,越能提供成品的良率。湖北集成電路芯片測試機平臺
對于光學(xué)IC,還需要對其進行給定光照條件下的電氣性能測試。chiptest主要設(shè)備:探針平臺(包括夾持不同規(guī)格chip的夾具)。chiptest輔助設(shè)備:無塵室及其全套設(shè)備。chiptest能測試的范圍和wafertest是差不多的,由于已經(jīng)經(jīng)過了切割、減薄工序,還可以將切割、減薄工序中損壞的不良品挑出來。但chiptest效率比wafertest要低不少。packagetest是在芯片封裝成成品之后進行的測試。由于芯片已經(jīng)封裝,所以不再需要無塵室環(huán)境,測試要求的條件較大程度上降低。湖北集成電路芯片測試機平臺測試本身就是設(shè)計,這個是需要在起初就設(shè)計好,對于設(shè)計公司來說,測試至關(guān)重要,不亞于電路設(shè)計本身。
s4:當自動上料裝置40的一個tray盤中的待測試芯片全部完成測試,且自動下料裝置50的空tray盤中放滿測試合格的芯片后,移載裝置20將自動上料裝置40的空tray盤移載至自動下料裝置50。當自動上料裝置40的位于較上方的tray盤中的50個芯片全部完成測試后,且該50個芯片全部都是合格品,則此時自動下料裝置50的tray盤中放滿50個測試合格的芯片。則通過移載裝置20將自動上料裝置40的孔的tray盤移載至自動下料裝置50上,且將該tray盤放置于自動下料裝置50的放置有50個芯片的tray盤的上方。
做一款芯片較基本的環(huán)節(jié)是設(shè)計->流片->封裝->測試,芯片成本構(gòu)成一般為人力成本20%,流片40%,封裝35%,測試5% 測試其實是芯片各個環(huán)節(jié)中較“便宜”的一步,在這個每家公司都喊著“Cost Down”的激烈市場中,人力成本逐年攀升,晶圓廠和封裝廠都在乙方市場中“叱咤風(fēng)云”,唯獨只有測試顯得不那么難啃,Cost Down的算盤落到了測試的頭上。但仔細算算,測試省50%,總成本也只省2.5%,流片或封裝省15%,測試就相當于不收費了。但測試是產(chǎn)品質(zhì)量然后一關(guān),若沒有良好的測試,產(chǎn)品PPM過高,退回或者賠償都遠遠不是5%的成本能表示的。在芯片制造完成后進行測試,對測試數(shù)據(jù)進行分析,從而分析失效模式,驗證研發(fā)。
頭一移動機構(gòu)72固定于機架10的上頂板上,頭一移動機構(gòu)72包括兩個頭一移動固定塊721、頭一移動固定底板722、兩個相對設(shè)置的頭一移動導(dǎo)軌723、頭一移動氣缸724。兩個頭一移動固定塊721相對設(shè)置于機架10的上頂板上,兩個頭一移動導(dǎo)軌723分別固定于兩個頭一移動固定塊721上,頭一移動固定底板722通過滑塊分別與兩個頭一移動導(dǎo)軌723相連。頭一移動氣缸724與頭一移動固定底板722相連,頭一移動氣缸724通過氣缸固定板與機架10的上頂板相連。芯片測試機通常集成了多個測試模塊。湖北集成電路芯片測試機平臺
集成電路測試是對集成電路或模塊進行檢測,確定電路質(zhì)量好壞。湖北集成電路芯片測試機平臺
Probe Card---乃是Tester與wafer上的DUT之間其中一個連接介面,目的在連接Tester Channel 與待測DUT。大部分為鎢銅或鈹銅,也有鈀等其他材質(zhì);材質(zhì)的選擇需要強度高、導(dǎo)電性及不易氧化等特性,樣子如下面所示。當 probe card 的探針正確接觸wafer內(nèi)一顆 die的每個bond pads后, 送出start信號通過Interface給tester開始測試, tester完成測試送回分類訊號 ( End of test) 給Prober, 量產(chǎn)時必須 tester 與 prober 做連接(docking) 才能測試。較終測試(FT,或者封裝測試):就是在圖(3)中的Package Device上進行測試.下圖就是一個完整的FT的測試系統(tǒng)。對比wafer test,其中硬件部分,prober換成了handler,其作用是一樣的,handler的主要作用是機械手臂,抓取DUT,放在測試區(qū)域,由tester對其進行測試,然后handler再根據(jù)tester的測試結(jié)果,抓取DUT放到相應(yīng)的區(qū)域,比如好品區(qū),比如壞品1類區(qū),壞品2類區(qū)等。湖北集成電路芯片測試機平臺