探針臺工作原理：1.探針臺工作原理，將待測物吸附在載物臺上后推入探針臺腔體內(nèi)，利用探針座精密移動探針，通過顯微鏡的觀察，將探針與待測物接觸，然后將探針座上的電纜與儀表連接，通過自帶的軟件實現(xiàn)器件的參數(shù)測量和提取。結(jié)果方便保留對比查看。2.探針臺功能，通過連接儀器及待測物實現(xiàn)器件的參數(shù)提取，通過自帶的驅(qū)動及測試軟件能夠單獨實現(xiàn)器件的電學(xué)特性測試，為精密器件提供一個良好的系統(tǒng)平臺。ADVANCED儀準(zhǔn)科技研發(fā)的高性價比手動探針臺可以搭配多種測試儀器使用，比如示波器，頻譜儀，IV等等。探針臺的研究成果不僅對天文學(xué)有著重要的意義，還對物理學(xué)等學(xué)科領(lǐng)域產(chǎn)生了深遠(yuǎn)的影響。上海半自動探針臺

它是如何工作的？探針臺將晶圓或芯片固定在安裝在平臺上的卡盤上，該平臺允許將 DUT 定位在顯微鏡視野的中心。機(jī)械手放置在平臺的平面上，并在機(jī)械手中插入探針臂和先進(jìn)。探頭先進(jìn)必須適合要執(zhí)行的測試程序。然后，用戶通過調(diào)整相應(yīng)的操縱器將探針先進(jìn)精確定位在設(shè)備內(nèi)的正確位置。然后通過降低壓板使探針與晶片接觸；現(xiàn)在可以測試該設(shè)備。對于具有多個器件的晶圓，在測試一個器件后，可以升起壓板并將支撐晶圓的平臺移動到下一個器件。深圳雙層位移探針臺定制探針臺是推進(jìn)太空探索和航天事業(yè)的重要一環(huán)。

XY 精密工作臺結(jié)構(gòu)設(shè)計，由于XY 工作臺需要放置于真空腔體內(nèi)，XY 工作臺結(jié)構(gòu)越緊湊，真空腔體就越小，設(shè)備尺寸也 就相應(yīng)減小。結(jié)構(gòu)緊湊合理的XY 工作臺有利于 降低真空腔體加工難度、減少能源浪費。XY 工作臺整體處于真空腔體中，要求零部件結(jié)構(gòu)密致性好，零部件材料不能逸出空氣，材料表 面不能有揮發(fā)性油脂。XY 工作臺需要完全暴露在特 種環(huán)境中，所有零部件均需要通過耐腐蝕、耐低溫 性等試驗，對于電機(jī)、絲杠、導(dǎo)軌等外購件，如果沒 有合適的型號滿足上述要求，需要對相應(yīng)外購件 加裝特制密封裝置，使外購件與腔體內(nèi)環(huán)境有效 隔絕。

極低溫測試:因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時，空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上，會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。高溫?zé)o氧化測試：當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現(xiàn)象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。探針臺的建設(shè)需要克服地球環(huán)境和宇宙環(huán)境的技術(shù)差距。

太陽能產(chǎn)業(yè)探針臺(Solar Cell 量測系統(tǒng))；量測軟體:I-V /C-V Curve, Isc, Voc,Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,Power Convert Efficiency采用KEITHLEY Source Meter可加配任意品牌之太陽光模擬器。x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)，無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺，x-y向工作臺都是其較主要的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障，而工作臺故障有許多是對其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的，所以對工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。本文只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)作一介紹。探針臺需要高度的保密性和安全措施。福建探針臺廠家

探針臺的數(shù)據(jù)對太空探索、戰(zhàn)略部署、國家的安全等領(lǐng)域具有普遍的應(yīng)用和重要的戰(zhàn)略意義。上海半自動探針臺

承片臺結(jié)構(gòu)設(shè)計要具有實現(xiàn)自動對準(zhǔn)的茲 向 旋轉(zhuǎn)，茲 向旋轉(zhuǎn)的分度精度要求非常高，在150 mm (6 英寸)晶圓上的分度精度要臆0.05° ；為了實現(xiàn)與探針的緊密接觸穩(wěn)定地抬升、有效地達(dá)到接觸 位置的精度，抬升機(jī)構(gòu)的進(jìn)給精度要高，同時承片 臺要具備極高的剛性，而且在150 mm 的臺面上 剛度一致是非常重要的。通過在Z 軸方向的往復(fù) 移動，實現(xiàn)高剛性、穩(wěn)定的探針接觸。承片臺旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)在設(shè)計上采用THK 超精密 交叉滾柱軸環(huán)RB 型（外圈分隔，內(nèi)環(huán)旋轉(zhuǎn)）支撐 旋轉(zhuǎn)。在交叉滾柱軸環(huán)中，因圓柱形滾柱在呈 90° 的V 形溝槽滾動面上通過間隔保持器被相互垂直排列。使得單個軸承就可承受徑向、軸向及 力矩負(fù)荷等所有方向的負(fù)荷，具有很高的剛性。又 由于內(nèi)圈或外圈是分隔的構(gòu)造，軸承間隙可調(diào)整。上海半自動探針臺