幾種主要類型真空計(jì)的詳細(xì)介紹和對(duì)比
真空計(jì)按真空度刻度方法分類
真空計(jì)測(cè)量原理:直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過(guò)自身幾何尺寸計(jì)算出來(lái)或由測(cè)力確定。特點(diǎn):對(duì)所有氣體都是準(zhǔn)確的,且與氣體種類無(wú)關(guān)。示例:U型鎊壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)、熱輻射真空計(jì)等。相對(duì)真空計(jì)測(cè)量原理:由一些與氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來(lái)確定壓力,不能通過(guò)簡(jiǎn)單的計(jì)算進(jìn)刻度,必須進(jìn)行校準(zhǔn)才能刻度。特點(diǎn):讀數(shù)與氣體種類有關(guān)。示例:熱傳導(dǎo)真空計(jì)、電離真空計(jì)等。 真空計(jì)如何選型與使用?廣東金屬電容薄膜真空計(jì)
真空計(jì)按測(cè)量原理分類
靜態(tài)液位真空計(jì)測(cè)量原理:利用U型管兩端液面差來(lái)測(cè)量壓力。彈性元件真空計(jì)測(cè)量原理:利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來(lái)測(cè)量壓力值的大小。但直接測(cè)量這樣小的力是困難的,因此可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來(lái)間接測(cè)量壓力的變化。壓縮式真空計(jì)測(cè)量原理:在U型管的基礎(chǔ)上應(yīng)用波義耳定律,即將一定量待測(cè)壓力的氣體,經(jīng)過(guò)等溫壓縮使之壓力增加,以便用U型管真空計(jì)測(cè)量,然后用體積和壓力的關(guān)系計(jì)算被測(cè)壓力。熱傳導(dǎo)真空計(jì)測(cè)量原理:利用低壓下氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)的原理制成。示例:電阻真空計(jì)、熱偶真空計(jì)等。熱輻射真空計(jì)測(cè)量原理:利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關(guān)的原理。 河南金屬電容薄膜真空計(jì)生產(chǎn)廠家電容真空計(jì)在哪些領(lǐng)域有應(yīng)用?
陶瓷薄膜真空計(jì)在多個(gè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,陶瓷薄膜真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)真空度,確保氣氛純凈并排除雜質(zhì),從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領(lǐng)域,陶瓷薄膜真空計(jì)用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以提高冶金產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性??茖W(xué)研究:在物理學(xué)、化學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域的研究中,陶瓷薄膜真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)真空度,確保實(shí)驗(yàn)環(huán)境的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。航空航天:在航空航天領(lǐng)域,陶瓷薄膜真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)太空艙內(nèi)的真空度,確保航天員的生命安全和設(shè)備的正常運(yùn)行。醫(yī)療設(shè)備:在醫(yī)療設(shè)備的制造和維護(hù)過(guò)程中,陶瓷薄膜真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)放射設(shè)備中的真空環(huán)境等,確保其正常工作。
按測(cè)量原理分類
電離真空計(jì)測(cè)量原理:利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離,產(chǎn)生的離子流隨電力變化的原理。示例:熱陰極電離真空計(jì)、冷陰極電離真空計(jì)、放射性電離真空計(jì)等。放電管指示器測(cè)量原理:利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關(guān)的性質(zhì)判定真空度,一般能作為定性測(cè)量。粘滯真空計(jì)測(cè)量原理:利用低壓下氣體與容器壁的動(dòng)量交換即外摩擦原理。示例:振膜式真空計(jì)、磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)等。場(chǎng)致顯微儀測(cè)量原理:以吸附和解吸時(shí)間與壓力關(guān)系計(jì)算壓力。分壓力真空計(jì)測(cè)量原理:利用質(zhì)譜技術(shù)進(jìn)行混合氣體分壓力測(cè)量。示例:四極質(zhì)譜計(jì)、回旋質(zhì)譜計(jì)、射頻質(zhì)譜計(jì)等。 皮拉尼真空計(jì)是一種用于測(cè)量真空壓力的儀器。
真空計(jì)可以按照測(cè)量原理、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)以及使用范圍等進(jìn)行分類。其中,按照測(cè)量原理分類是最常見(jiàn)的方式。不同類型的真空計(jì)具有不同的測(cè)量范圍和精度。例如:波爾登規(guī)的測(cè)量范圍一般在100Pa至1atm。薄膜電容規(guī)的測(cè)量范圍一般橫跨4個(gè)量級(jí),比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī)的測(cè)量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。熱陰極電離規(guī)的測(cè)量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa,經(jīng)改進(jìn)后的熱陰極電離規(guī)(如Bayard-Alpert規(guī))可以將測(cè)量下限降低至1.0E-09Pa。冷陰極電離規(guī)的測(cè)量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。真空計(jì)的讀數(shù)可能會(huì)受到外部環(huán)境因素的影響。杭州電容薄膜真空計(jì)設(shè)備供應(yīng)商
電容真空計(jì)的工作原理是怎樣的?廣東金屬電容薄膜真空計(jì)
皮拉尼真空計(jì)在多個(gè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:
化學(xué)工業(yè):用于監(jiān)測(cè)化學(xué)反應(yīng)過(guò)程中的真空度變化。電子與微電子領(lǐng)域:用于半導(dǎo)體制造和微電子器件生產(chǎn)過(guò)程中的真空度測(cè)量。氣相沉積:用于監(jiān)測(cè)氣相沉積過(guò)程中的真空度變化。電子束焊接:用于電子束焊接過(guò)程中的真空度測(cè)量。真空冶金:用于真空冶金過(guò)程中的真空度監(jiān)測(cè)。此外,皮拉尼真空計(jì)還常用于監(jiān)測(cè)從大氣到高真空區(qū)域開(kāi)始的泵送過(guò)程(如渦輪分子泵或其他高真空泵接管該區(qū)域)、在真空冶金行業(yè)(在受控環(huán)境中制造的高純度合金)中確保不同薄膜涂層系統(tǒng)的工藝一致性和優(yōu)化等方面。 廣東金屬電容薄膜真空計(jì)