潔凈技術(shù)又稱為生產(chǎn)環(huán)境和污染控制技術(shù),是近些年隨著高新技術(shù)發(fā)展起來的一門綜合性的新興科學(xué)技術(shù)。潔凈技術(shù)通常包括:空氣凈化技術(shù)、空調(diào)技術(shù)、水純化技術(shù)、氣體純化技術(shù)、微量雜志控制技術(shù)、潔凈環(huán)境的檢測技術(shù)及相關(guān)的環(huán)境的控制技術(shù)。凈化工程技術(shù)在電子、核子、航空航天、生物工程、制藥、精密機(jī)械、化工、食品、汽車制造等高科技工業(yè)領(lǐng)域及現(xiàn)代科學(xué)領(lǐng)域中得到應(yīng)用。隨著我國科技水平的提高,人民生活水平也提升。人們對(duì)生活質(zhì)量及生活環(huán)境抱有越來越高的要求,如:空調(diào)凈化系統(tǒng)設(shè)備、水凈化設(shè)備、空氣凈化器等凈化工程技術(shù)已經(jīng)開始步入千家萬戶,進(jìn)入人們的現(xiàn)代生活。特別在電子行業(yè)發(fā)展中更能體現(xiàn)出科技水平的提升速度,電子逐漸微型化,質(zhì)量化,完美化給我們帶來了快捷,方便,耐用的時(shí)代。凈化工程技術(shù)在某種意義上已經(jīng)成為衡量國家和工業(yè)的一個(gè)重要標(biāo)志。發(fā)展趨勢競爭方向轉(zhuǎn)變由價(jià)格競爭轉(zhuǎn)變?yōu)閮r(jià)值競爭。隨著電子產(chǎn)品的集成化、密化、微型化、功能化等趨勢,對(duì)元器件的可靠性要求越來越高,電子信息制造業(yè)對(duì)潔凈室的要求標(biāo)準(zhǔn)也更加嚴(yán)格。微量的臟污或微弱的靜電都有可能造成元器件產(chǎn)品良品率的大幅降低,直接影響公司的效益。在潔凈室內(nèi)工作時(shí),應(yīng)避免大聲喧嘩和劇烈動(dòng)作,以減少塵埃的揚(yáng)起。蚌埠光學(xué)凈化工程
有的廠家給出的噴蒸效率為70%。各種不同的加濕器的應(yīng)用范圍不同:如:淋水、濕膜、高壓噴霧等水加濕器,其特點(diǎn)是加濕量大、投資費(fèi)用低,而相對(duì)濕度控制精度較差,因此多用于相對(duì)濕度要求不嚴(yán)格(>±10%),加濕量很大的工業(yè)廠房和一般舒適用空調(diào)房間的空調(diào)系統(tǒng)加濕。而相對(duì)濕度控制精度高的干蒸汽加濕和電極(電熱)式加濕因投資較高則多用在相對(duì)濕度精度要求嚴(yán)格的恒溫恒濕潔凈室的空調(diào)系統(tǒng)加濕中。對(duì)于以微生物為控制對(duì)象的生物潔凈室(例如:生物制藥、潔凈手術(shù)室、無菌室、生物安全實(shí)驗(yàn)室、實(shí)驗(yàn)無菌動(dòng)物飼養(yǎng)室等)其重點(diǎn)要控制微生物的產(chǎn)生和傳播,因?yàn)槌睗窈退质俏?span style="color:#f5c81c;">生物滋生和繁殖的條件,因此水加濕的淋水、濕膜、高壓噴霧等方法不能用在生物潔凈室中,只能采用干蒸汽加濕和電極(電熱)式加濕。還有一個(gè)值得注意的問題是,近些年來我國南方如佛山、廣州以及華東的上海、蘇州等地冬季室外空氣相對(duì)濕度較“規(guī)范”給出的室外空調(diào)計(jì)算相對(duì)濕度要低,例如:冬季室外計(jì)算相對(duì)濕度佛山無塵室、廣州均為70%,上海和蘇州為75%,而這些年實(shí)測的室外相對(duì)濕度有時(shí)只有30%左右,因此,建起來運(yùn)行的潔凈室的加濕量不足,室內(nèi)相對(duì)濕度偏低,達(dá)不到設(shè)計(jì)要求。常州半導(dǎo)體凈化工程凈化工程中的潔凈室應(yīng)建立詳細(xì)的維護(hù)記錄和檔案,方便追溯和管理。
往往須耗時(shí)相當(dāng)長一段時(shí)間。層流式。Laminar)等級(jí)名稱等級(jí)限值μmμmμmμm5μm容積單位容積單位容積單位容積單位容積單位國際單位英制單位mFtmFtmFtmFtmFt35010////00//10////100//0////283//1000//////77//////1810000//////247070//////000////////////0層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級(jí)為Class1~100。其型式可分為二種:(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在側(cè)污染較嚴(yán)重。優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡單,運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。缺點(diǎn):建造費(fèi)用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會(huì)影響其它工作區(qū)域。優(yōu)點(diǎn):管理容易,運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。亂流式缺點(diǎn):構(gòu)造費(fèi)用較高,彈性運(yùn)用空間困難,天花板之吊架相當(dāng)占空間,維修更換過濾器較麻煩。復(fù)合式。
樓梯間可采用自然通風(fēng)系統(tǒng);當(dāng)機(jī)械加壓送風(fēng)口未設(shè)置在前室的頂部或正對(duì)前室入口的墻面時(shí),樓梯間應(yīng)采用機(jī)械加壓送風(fēng)系統(tǒng)。3當(dāng)防煙樓梯間在裙房高度以上部分采用自然通風(fēng)時(shí),不具備自然通風(fēng)條件的裙房的前室、共用前室及合用前室應(yīng)采用機(jī)械加壓送風(fēng)系統(tǒng),且前室、共用前室及合用前室送風(fēng)口的設(shè)置方式應(yīng)符合本條第2款的規(guī)定。3.1.4建筑地下部分的防煙樓梯間前室及消防電梯前室,當(dāng)無自然通風(fēng)條件或自然通風(fēng)不符合要求時(shí),應(yīng)采用機(jī)械加壓送風(fēng)系統(tǒng)。潔凈室的設(shè)計(jì)和建設(shè)需遵循嚴(yán)格的規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn),確保達(dá)到所需的潔凈度等級(jí)。
AMC)作為IC工廠所關(guān)心的問題于20年前先由日本人提出,近年來,世界IC技術(shù)發(fā)展迅速,IC芯片日益微型化。AMC對(duì)當(dāng)前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要多,粒子污染控制只需要確定粒徑及個(gè)數(shù),但對(duì)AMC控制而言,除了受芯片線寬的縮小而變化外,并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及傳送系統(tǒng)等的影響。更有甚者用于某一工序的各種工藝材料(化學(xué)品、特種氣體等)在很多情況下其微量的分子殘余對(duì)下一工序往往可能就是污染物。因此,IC生產(chǎn)過程中的某些加工工序及工序間的材料傳送和存放環(huán)境中,AMC已成為嚴(yán)重影響成品率的重要問題,AMC分子控制技術(shù)成為潔凈工程設(shè)計(jì)與施工建設(shè)的主流趨勢。目前,國內(nèi)的潔凈工程企業(yè)中已經(jīng)開始從事此方向的研究,在該領(lǐng)域比較的企業(yè)有亞翔集成,在分子凈化技術(shù)方面該公司已經(jīng)走在了同行業(yè)的前列,而中國電子工程設(shè)計(jì)院則在防微震方面技術(shù)。潔凈室的門窗應(yīng)使用密封性能好的材料制作,確保氣密性符合要求。合肥油煙凈化工程
凈化工程通過對(duì)空氣的有效過濾,實(shí)現(xiàn)對(duì)室內(nèi)環(huán)境的綜合治理。蚌埠光學(xué)凈化工程
這樣可以減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān);B.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級(jí)、千級(jí)或萬級(jí)、十萬級(jí)等較低的凈化無塵廠房。2、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之水冷柜機(jī)+增壓風(fēng)柜+448696a3-db7f-4aae-afab-c與前種方案比較,這是相對(duì)比較簡單的空調(diào)方案。它可以地縮小機(jī)房的面積,水冷柜機(jī)可以根據(jù)具體的情況布置于較小機(jī)房內(nèi)或凈化車間內(nèi),增壓風(fēng)柜也可以布置于機(jī)房內(nèi)或吊在機(jī)房內(nèi)或在夾層內(nèi)。優(yōu)點(diǎn):A.空氣處理效果較好的,處理過后的空氣在送風(fēng)過程中被污染程度低。送風(fēng)的溫度、濕度控制效果可以達(dá)到較好的控制。主要在空氣處理機(jī)組(增壓風(fēng)柜)里進(jìn)行控制;B.布置靈活。自帶冷源;C.大小廠房、新舊廠房都適用;D.維修頻率較低;E.車間噪音低。缺點(diǎn):A.需要小面積的機(jī)房。需要有冷卻塔[1]、冷卻水泵的擺放位置;B.空調(diào)機(jī)組與空調(diào)處理機(jī)組要集中布置;C.造價(jià)較低。特點(diǎn):這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng),具體根據(jù)車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級(jí)、萬級(jí)、十萬級(jí)等的凈化無塵廠房。3、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之分體空調(diào)柜機(jī)++FFU送風(fēng)口這是簡易的一個(gè)空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車間內(nèi),并用彩鋼圍護(hù)起來。蚌埠光學(xué)凈化工程