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上海光電凈化工程公司

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-05-09

    AMC)作為IC工廠所關(guān)心的問(wèn)題于20年前先由日本人提出,近年來(lái),世界IC技術(shù)發(fā)展迅速,IC芯片日益微型化。AMC對(duì)當(dāng)前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要多,粒子污染控制只需要確定粒徑及個(gè)數(shù),但對(duì)AMC控制而言,除了受芯片線寬的縮小而變化外,并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及傳送系統(tǒng)等的影響。更有甚者用于某一工序的各種工藝材料(化學(xué)品、特種氣體等)在很多情況下其微量的分子殘余對(duì)下一工序往往可能就是污染物。因此,IC生產(chǎn)過(guò)程中的某些加工工序及工序間的材料傳送和存放環(huán)境中,AMC已成為嚴(yán)重影響成品率的重要問(wèn)題,AMC分子控制技術(shù)成為潔凈工程設(shè)計(jì)與施工建設(shè)的主流趨勢(shì)。目前,國(guó)內(nèi)的潔凈工程企業(yè)中已經(jīng)開(kāi)始從事此方向的研究,在該領(lǐng)域比較的企業(yè)有亞翔集成,在分子凈化技術(shù)方面該公司已經(jīng)走在了同行業(yè)的前列,而中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院則在防微震方面技術(shù)。電纜橋架安裝牢固、接地完整,是凈化工程電路敷設(shè)的關(guān)鍵要求。上海光電凈化工程公司

    1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比。要求速度衰減更快,擴(kuò)散角度更大。(2)吹過(guò)水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干。對(duì)于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱層流潔凈室,由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指標(biāo)。過(guò)去都參考美國(guó)20gB標(biāo)準(zhǔn),采用.但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風(fēng)量是極大的,為了節(jié)能,也都在探求降低風(fēng)速的可行性。在我國(guó),《空氣潔凈技術(shù)措施》和(潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范)都是這樣規(guī)定的垂直平行流(層流)潔凈室≥水平平行流(層流)潔凈室≥m/s噪聲控制潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn),目的在于保障操作正常進(jìn)行,滿足必要的談話聯(lián)系及安全舒適的工作環(huán)境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標(biāo)是:1.煩惱的效應(yīng)由于噪聲,使人感到不安寧而產(chǎn)生煩惱情緒,一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧,比較吵鬧和極吵鬧7個(gè)煩惱等級(jí)。凡反應(yīng)水平屬于很吵鬧和極吵鬧者,即為高煩惱,高煩惱人數(shù)在總?cè)藬?shù)中的百分比即為高煩惱率。2.對(duì)工作效率的影響這主要看三方面的反應(yīng)水平,這三個(gè)方面是:集中精神,動(dòng)作準(zhǔn)確性,工作速度。制藥凈化工程設(shè)備凈化工程在醫(yī)藥行業(yè)中發(fā)揮著重要作用,為藥品生產(chǎn)提供無(wú)菌環(huán)境。

    可以2-4厘米/秒的速度移動(dòng),對(duì)高效空氣過(guò)濾器整個(gè)斷面封頭膠處和安裝框架處進(jìn)行掃描。當(dāng)粒子計(jì)數(shù)器讀數(shù)為空氣口大于或等于μm的塵粒超過(guò)3粒/分·升(或其穿透率大于‰)即認(rèn)為該處有明顯滲漏,必須進(jìn)行堵漏。(二)測(cè)試內(nèi)容1.總送風(fēng)量、總回風(fēng)量、新鮮空氣量、排風(fēng)量等;2.潔凈室壓力值;3.層流潔凈室斷面風(fēng)速和氣流流向;4.潔凈工作區(qū)的潔凈度;5.室內(nèi)溫度、濕度及其控制能力的調(diào)整測(cè)試;6.潔凈室內(nèi)噪聲。(三)潔凈工作區(qū)空氣潔凈度的測(cè)試方法對(duì)于粒徑大于或等于μm的塵粒計(jì)數(shù),宜采用光散射粒子計(jì)數(shù)法,也可采用濾膜顯微鏡計(jì)數(shù)法。光散射粒子計(jì)數(shù)法:1.、光散射粒子計(jì)數(shù)器采樣量100級(jí):每次采樣量大于或等于1升。1,000級(jí)-10,000級(jí):每次采樣量大于或等于。100,000級(jí):每次采樣量大于或等于。對(duì)于100級(jí)潔凈室,宜采用大流量粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行測(cè)試;如果條件不具備時(shí),可采用每次采樣量不小于1升的粒子計(jì)數(shù)器。2、采樣注意事項(xiàng):①采樣管必須干凈,連接處嚴(yán)禁滲漏。②采樣管的長(zhǎng)度,應(yīng)根據(jù)儀器的允許長(zhǎng)度。當(dāng)無(wú)規(guī)定時(shí),不宜大于。③采樣管口的流速,宜與潔凈室斷面平均風(fēng)速相接近。測(cè)試人員應(yīng)在采樣口的下風(fēng)側(cè)。④采樣順序應(yīng)按含塵濃度從低到高進(jìn)行。

    這樣可以減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān);B.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級(jí)、千級(jí)或萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)等較低的凈化無(wú)塵廠房。2、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之水冷柜機(jī)+增壓風(fēng)柜+448696a3-db7f-4aae-afab-c與前種方案比較,這是相對(duì)比較簡(jiǎn)單的空調(diào)方案。它可以地縮小機(jī)房的面積,水冷柜機(jī)可以根據(jù)具體的情況布置于較小機(jī)房?jī)?nèi)或凈化車(chē)間內(nèi),增壓風(fēng)柜也可以布置于機(jī)房?jī)?nèi)或吊在機(jī)房?jī)?nèi)或在夾層內(nèi)。優(yōu)點(diǎn):A.空氣處理效果較好的,處理過(guò)后的空氣在送風(fēng)過(guò)程中被污染程度低。送風(fēng)的溫度、濕度控制效果可以達(dá)到較好的控制。主要在空氣處理機(jī)組(增壓風(fēng)柜)里進(jìn)行控制;B.布置靈活。自帶冷源;C.大小廠房、新舊廠房都適用;D.維修頻率較低;E.車(chē)間噪音低。缺點(diǎn):A.需要小面積的機(jī)房。需要有冷卻塔[1]、冷卻水泵的擺放位置;B.空調(diào)機(jī)組與空調(diào)處理機(jī)組要集中布置;C.造價(jià)較低。特點(diǎn):這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng),具體根據(jù)車(chē)間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)等的凈化無(wú)塵廠房。3、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之分體空調(diào)柜機(jī)++FFU送風(fēng)口這是簡(jiǎn)易的一個(gè)空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車(chē)間內(nèi),并用彩鋼圍護(hù)起來(lái)。照明燈具在凈化工程中扮演著重要角色,需確保光照正常、安裝可靠。

    所以今后潔凈室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的,這也是為了節(jié)能而出現(xiàn)的一種動(dòng)向。防靜電潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發(fā)生,因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評(píng)價(jià)其質(zhì)量的一個(gè)不可忽視的方面。所謂靜電,是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負(fù)<一)電荷等量的均勻的電中性狀態(tài),而使電荷過(guò)剩,物體呈帶電狀態(tài),由于這些電荷平時(shí)是不流動(dòng)的,故稱靜電。在潔凈室內(nèi)靜電導(dǎo)致的事故有以下幾方面;1.靜電電引起的靜電電擊,引起人的不安全和恐懼感,并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒,由摔倒又致傷);2.靜電放電引起的放電電流,可導(dǎo)致諸如半導(dǎo)體元件等破壞和誤動(dòng)作,例如將50塊P-MOS電路放在塑料袋內(nèi),搖晃數(shù)次后,與非門(mén)柵極嚴(yán)重?fù)舸┱哂?jì)39塊,失效率競(jìng)達(dá)78%,這是因?yàn)榘雽?dǎo)體器件對(duì)靜電放電十分靈敏;3.靜電放電產(chǎn)生的電磁波可導(dǎo)致電子儀器和裝置的雜音和誤動(dòng)作;4.靜電放電的發(fā)光可導(dǎo)致照相肢片等感光破壞;5.靜電的力學(xué)現(xiàn)象可導(dǎo)致篩孔被粉塵堵塞,紡紗線紛亂,印刷品深淺不均和制品污染;靜電事故的產(chǎn)生主要在于靜電的產(chǎn)生和積累,而氣流的流動(dòng),氣流和管道、風(fēng)口、過(guò)濾器等摩擦,人體和衣服的摩擦,衣服之間的摩擦,工藝上的研磨。凈化工程在于控制環(huán)境潔凈度,確保產(chǎn)品生產(chǎn)的每一環(huán)節(jié)都達(dá)到高標(biāo)準(zhǔn)。江蘇GMP凈化工程

在凈化工程中,潔凈室的門(mén)窗設(shè)計(jì)應(yīng)充分考慮密封性和氣密性,防止外界空氣進(jìn)入。上海光電凈化工程公司

,確保為各行各業(yè)提供符合標(biāo)準(zhǔn)的凈化設(shè)備與過(guò)濾設(shè)備。經(jīng)過(guò)多年凈化空調(diào)工程的施工經(jīng)驗(yàn),我公司對(duì)各行業(yè)的生產(chǎn)工藝流程熟悉,如電子、微電子、半導(dǎo)體、實(shí)驗(yàn)室、LCD-TFT、醫(yī)藥、醫(yī)療、激光、雷射、印刷、光學(xué)、化學(xué)、生物、食品、化妝品、模具、航天航空、新能源等高科技行業(yè)。我們按照國(guó)家有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)為各行業(yè)客戶提供合理的方案,并免費(fèi)設(shè)計(jì),設(shè)計(jì)技術(shù)指標(biāo)均符合國(guó)標(biāo)潔凈室標(biāo)準(zhǔn),公司嚴(yán)格執(zhí)行通風(fēng)空調(diào)和空氣凈化的各項(xiàng)國(guó)家規(guī)范標(biāo)準(zhǔn),凡是由我公司承接的項(xiàng)目,客戶都能夠順利的通過(guò)有關(guān)部門(mén)的檢測(cè)驗(yàn)收,確保產(chǎn)品質(zhì)量及工程施工質(zhì)量,贏得了客戶滿意,我們將竭誠(chéng)為您服務(wù)。上海光電凈化工程公司