已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來(lái)，由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展，對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國(guó)在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目，而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于地位。光學(xué)微電子凈化工程一般包括：1、潔凈生產(chǎn)區(qū)2、潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）3、管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息）4、設(shè)備區(qū)（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房）材料1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。光學(xué)微電子凈化工程解決方案:凈化工程的設(shè)計(jì)過(guò)程中，應(yīng)加強(qiáng)對(duì)光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程。潔凈室的通風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)定期進(jìn)行維護(hù)和檢查，確保其正常運(yùn)行和凈化效果。杭州制藥凈化工程

   2．1．8陽(yáng)臺(tái)溢出型煙羽流balconyspillplume從著火房間的門（窗）梁處溢出，并沿著火房間外的陽(yáng)臺(tái)或水平突出物流動(dòng)，至陽(yáng)臺(tái)或水平突出物的邊緣向上溢出至相鄰高大空間的煙羽流。2．1．9窗口型煙羽流windowplume從發(fā)生通風(fēng)受限火災(zāi)的房間或隔間的門、窗等開(kāi)口處溢出至相鄰高大空間的煙羽流。2．1．10擋煙垂壁draftcurtain用不燃材料制成，垂直安裝在建筑頂棚、梁或吊頂下，能在火災(zāi)時(shí)形成一定的蓄煙空間的擋煙分隔設(shè)施。2．1．11儲(chǔ)煙倉(cāng)smokereservoir位于建筑空間頂部，由擋煙垂壁、梁或隔墻等形成的用于蓄積火災(zāi)煙氣的空間。儲(chǔ)煙倉(cāng)高度即設(shè)計(jì)煙層厚度。2．1．12清晰高度clearheight煙層下緣至室內(nèi)地面的高度。2．1．13煙羽流質(zhì)量流量massflowrateofplume單位時(shí)間內(nèi)煙羽流通過(guò)某一高度的水平斷面的質(zhì)量，單位為kg／s。2．1．安裝在機(jī)械排煙系統(tǒng)的管道上，平時(shí)呈開(kāi)啟狀態(tài)，火災(zāi)時(shí)當(dāng)排煙管道內(nèi)煙氣溫度達(dá)到280℃時(shí)關(guān)閉，并在一定時(shí)間內(nèi)能滿足漏煙量和耐火完整性要求，起隔煙阻火作用的閥門。一般由閥體、葉片、執(zhí)行機(jī)構(gòu)和溫感器等部件組成。2．1．b閥smokedamper安裝在機(jī)械排煙系統(tǒng)各支管端部（煙氣吸入口）處。平時(shí)呈關(guān)閉狀態(tài)并滿足漏風(fēng)量要求，火災(zāi)時(shí)可手動(dòng)和電動(dòng)啟閉。揚(yáng)州凈化工程潔凈度在凈化工程中，潔凈室的空氣質(zhì)量監(jiān)測(cè)應(yīng)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化和智能化，提高管理效率。

    相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露。如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)濕度范圍為35—45%。氣壓規(guī)定對(duì)于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。潔凈室中的氣流速度規(guī)定這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度，在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時(shí)再說(shuō)明。對(duì)于亂流潔凈室由于主主要靠空氣的稀釋作用來(lái)減輕室內(nèi)污染的程度，所以主要用換氣次數(shù)這一概念，而不直接用速度的概念，不過(guò)對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求；。

    往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。層流式。Laminar)等級(jí)名稱等級(jí)限值μmμmμmμm5μm容積單位容積單位容積單位容積單位容積單位國(guó)際單位英制單位mFtmFtmFtmFtmFt35010////00//10////100//0////283//1000//////77//////1810000//////247070//////000////////////0層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線型，空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級(jí)為Class1~100。其型式可分為二種：(1)水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在側(cè)污染較嚴(yán)重。優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會(huì)影響其它工作區(qū)域。優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。亂流式缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。復(fù)合式。高效顆?？諝膺^(guò)濾器（HEPA）在凈化工程中扮演著重要角色，能有效捕獲微小顆粒物。

    凈化工程209E與209D等之不同在于209E表示單位增加了公制單位，凈化工程等級(jí)以｀M′字頭表示，如M1、、、M3…..依此類推，配合國(guó)際公制單位之標(biāo)準(zhǔn)化，M字母后之阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺中>=μm之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示，取指數(shù)為之，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間，則以、、….表示。美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209D都以英制每立方英尺為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以μm微粒子為計(jì)數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)之表示法以Class1，Class2，Class3……Class8表示，凈化工程的等級(jí)為Class1，凈化工程差則為Class8，凈化工程以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方，取其指數(shù)而得。結(jié)構(gòu)材料1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)、保溫性能好、易施工。圓弧墻角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材制造2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵。潔凈室的墻面和地面材料應(yīng)具有抗靜電、易清潔和耐磨損等特性。光學(xué)凈化工程廠家

在凈化工程中，應(yīng)重視潔凈室的防火和防爆措施，確保生產(chǎn)安全。杭州制藥凈化工程

    百級(jí)潔凈室(100級(jí)凈化工程設(shè)計(jì)方案)百級(jí)潔凈室空氣潔凈度等級(jí)（aircleanlinessclass）：潔凈空間單位體積空氣中，以大于或等于被考慮粒徑的粒子更大濃度限值進(jìn)行劃分的等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次；10000級(jí)≥20次；1000≥30次；100≥500次.壓差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa測(cè)試一、潔凈室的空氣潔凈度，應(yīng)進(jìn)行下列測(cè)試（一）空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試空態(tài)測(cè)試：潔凈室已竣工，凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài)，室內(nèi)沒(méi)有工藝設(shè)備和生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測(cè)試。靜態(tài)測(cè)試：潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài)，工藝設(shè)備已安裝，室內(nèi)沒(méi)有生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測(cè)試。（二）動(dòng)態(tài)測(cè)試潔凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進(jìn)行測(cè)試。潔凈室的風(fēng)量、風(fēng)速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測(cè)，可按一般通用、空氣調(diào)節(jié)的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。二、空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試（一）測(cè)試前的準(zhǔn)備1.應(yīng)對(duì)潔凈室及其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)進(jìn)行徹底清潔。2.采用光散射粒子計(jì)數(shù)器對(duì)高效空氣過(guò)濾器進(jìn)行檢漏測(cè)試。首先測(cè)定高效空氣過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè)靜壓箱內(nèi)（或風(fēng)管內(nèi)）粒徑大于或等于μm的塵粒數(shù)應(yīng)為大于或等于30,000粒/升。如若不夠，可引入煙霧，然后開(kāi)始檢漏。將粒子計(jì)數(shù)器（或檢漏裝置）的采樣口距離高效空氣過(guò)濾器2-3厘米處。杭州制藥凈化工程