而相對濕度控制精度高的干蒸汽加濕和電極(電熱)式加濕因投資較高則多用在相對濕度精度要求嚴格的恒溫恒濕潔凈室的空調(diào)系統(tǒng)加濕中。 對于以微生物為控制對象的生物潔凈室(例如:生物制藥、潔凈手術(shù)室、無菌室、生物安全實驗室、實驗無菌動物飼養(yǎng)室等)其重點要控制微生物的產(chǎn)生和傳播,因為潮濕和水分是微生物滋生和繁殖的條件,因此水加濕的淋水、濕膜、高壓噴霧等方法不能用在生物潔凈室中,只能采用干蒸汽加濕和電極(電熱)式加濕。 還有一個值得注意的問題是,近些年來我國南方如佛山、廣州以及華東的上海、蘇州等地冬季室外空氣相對濕度較“規(guī)范”給出的室外空調(diào)計算相對濕度要低,例如:冬季室外計算相對濕度佛山無塵室、廣州均為70%,上海和蘇州為75%,而這些年實測的室外相對濕度有時只有30%左右,凈化工程在醫(yī)藥行業(yè)中發(fā)揮著重要作用,為藥品生產(chǎn)提供無菌環(huán)境。江蘇無菌室凈化工程廠家
可以2-4厘米/秒的速度移動,對高效空氣過濾器整個斷面封頭膠處和安裝框架處進行掃描。當粒子計數(shù)器讀數(shù)為空氣口大于或等于μm的塵粒超過3粒/分·升(或其穿透率大于‰)即認為該處有明顯滲漏,必須進行堵漏。(二)測試內(nèi)容1.總送風量、總回風量、新鮮空氣量、排風量等;2.潔凈室壓力值;3.層流潔凈室斷面風速和氣流流向;4.潔凈工作區(qū)的潔凈度;5.室內(nèi)溫度、濕度及其控制能力的調(diào)整測試;6.潔凈室內(nèi)噪聲。(三)潔凈工作區(qū)空氣潔凈度的測試方法對于粒徑大于或等于μm的塵粒計數(shù),宜采用光散射粒子計數(shù)法,也可采用濾膜顯微鏡計數(shù)法。光散射粒子計數(shù)法:1.、光散射粒子計數(shù)器采樣量100級:每次采樣量大于或等于1升。1,000級-10,000級:每次采樣量大于或等于。100,000級:每次采樣量大于或等于。對于100級潔凈室,宜采用大流量粒子計數(shù)器進行測試;如果條件不具備時,可采用每次采樣量不小于1升的粒子計數(shù)器。2、采樣注意事項:①采樣管必須干凈,連接處嚴禁滲漏。②采樣管的長度,應根據(jù)儀器的允許長度。當無規(guī)定時,不宜大于。③采樣管口的流速,宜與潔凈室斷面平均風速相接近。測試人員應在采樣口的下風側(cè)。④采樣順序應按含塵濃度從低到高進行。江蘇食品凈化工程廠家凈化工程中的潔凈室應建立詳細的維護記錄和檔案,方便追溯和管理。
樓梯間可采用自然通風系統(tǒng);當機械加壓送風口未設置在前室的頂部或正對前室入口的墻面時,樓梯間應采用機械加壓送風系統(tǒng)。3當防煙樓梯間在裙房高度以上部分采用自然通風時,不具備自然通風條件的裙房的前室、共用前室及合用前室應采用機械加壓送風系統(tǒng),且前室、共用前室及合用前室送風口的設置方式應符合本條第2款的規(guī)定。3.1.4建筑地下部分的防煙樓梯間前室及消防電梯前室,當無自然通風條件或自然通風不符合要求時,應采用機械加壓送風系統(tǒng)。
直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵 化學吸附在表面難以。相對濕度越高,粘附的越難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)比較好濕度范圍為35—45%。 潔凈室的送風方式有多種,如層流送風、亂流送風等,應根據(jù)實際情況選擇合適的送風方式。
潔凈工作棚:為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用之HEPA或ULPA及空調(diào)送風機組而成為一較高級之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米左右,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動輪,可為彈性運用。 凈化工程等級標準 編輯 經(jīng)濟和科技發(fā)達的國家和地區(qū)都有自己的空氣潔凈標準和規(guī)范標準,都規(guī)定了有關(guān)的潔凈度等級,例如美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國于1984年頒布《潔凈廠房設計規(guī)范》(GBJ73-84),1996年該規(guī)范進行了較大的修改,1990年頒布《潔凈室施工及驗收規(guī)范》(JGJ71-90)以指導施工和驗收的重要文件。在凈化工程中,潔凈室的空氣質(zhì)量監(jiān)測應實現(xiàn)自動化和智能化,提高管理效率。半導體凈化工程方案
在凈化工程中,空氣過濾是關(guān)鍵,能有效去除空氣中的塵埃和微生物。江蘇無菌室凈化工程廠家
高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾器宜設置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端,高效空氣過濾的安裝方式應簡便可靠,宜檢漏和更換;中效、亞高效、高效空氣過濾器宜按額定風量選用;阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設置在同一凈化車間內(nèi)。 ●確定集中或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時,應綜合考慮生產(chǎn)工藝的特點和凈化車間空氣的潔凈度等級、面積、位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、無塵室或凈化車間面積較大時,位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴格的潔凈室,宜采用集中式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。 ●凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時,應選用管狀電加熱器,位置應布置在高效空氣過濾器的上風側(cè),并應有防火安全措施。 ●送風機可按凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的總送風量和總阻力值進行選擇,中效、高效空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計算。 ●凈化工程中凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設置值班風機的系統(tǒng)外,應采取防止室外污染空氣通過新風口參入凈化車間內(nèi)的防灌倒措施。 ●凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設計應合理利用回風,凡工藝過程產(chǎn)生大量有害物質(zhì)且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求,或?qū)ζ渌ば蛴形:r,則不應用回風。江蘇無菌室凈化工程廠家