對于亂流潔凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度，所以主要用換氣次數(shù)這一概念，而不直接用速度的概念，不過對室內(nèi)氣流速度也有如下要求； (1)送風口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間相比，要求速度衰減更快，擴散角度更大。 (2)吹過水平面的氣流速度（例如側送時回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0.2m/s。 對于平行流潔凈室《習慣上稱層流潔凈室，由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染，所以截面上的速度就是非常重要的指標。過去都參考美國20gB標準，采用0.45m/s．但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風量是極大的，為了節(jié)能，也都在探求降低風速的可行性。 潔凈室的空氣質量不僅影響產(chǎn)品質量，還直接關系到員工的健康和生產(chǎn)效率。蕪湖凈化工程標準

近幾年來，由于技術之創(chuàng)新發(fā)展，對于產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目，而我公司的設計理念及施工技術在行業(yè)中則處于地位。 光學微電子凈化工程一般包括： 1、 潔凈生產(chǎn)區(qū) 2、 潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等） 3、 管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息） 4、 設備區(qū)（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房） 材料 1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。江蘇手術室凈化工程報價凈化工程中的潔凈室應定期進行消毒和清潔處理，以確保環(huán)境的衛(wèi)生和安全。

    無菌操作室注意事項：1.安全注意事項嚴格無菌操作，防止微生物污染；操作人員進入無菌室應先關掉紫外燈。2.無菌室應設有無菌操作間和緩沖間，無菌操作間潔凈度應達到10000級，室內(nèi)溫度保持在20-24℃，濕度保持在45-60%。超凈臺潔凈度應達到100級。3.無菌室應保持清潔，嚴禁堆放雜物，以防污染。嚴防一切滅菌器材和培養(yǎng)基污染，已污染者應停止使用。4.無菌室應定期用適宜的消毒液滅菌清潔，以保證無菌室的潔凈度符合要求。5.需要帶入無菌室使用的儀器，器械，平皿等一切物品，均應包扎嚴密，萬級凈化工程標準，并應經(jīng)過適宜的方法滅菌。6.工作人員進入無菌室前，必須用肥皂或消毒液洗手消毒，然后在緩沖間更換工作服，鞋，帽子，口罩和手套(或用70%的---再次擦拭雙手)，方可進入無菌室進行操作。7.無菌室使用前必須打開無菌室的紫外燈輻照滅菌30分鐘以上，并且同時打開超凈臺進行吹風。操作完畢，應及時清理無菌室，再用紫外燈輻照滅菌20分鐘。8.供試品在檢查前，應保持外包裝完整，不得開啟，以防污染。檢查前，用70％的酒精棉球消毒外表面。9.凡帶有活菌的物品，必須經(jīng)消毒后，萬級凈化工程造價，才能在水龍頭下沖洗，嚴禁污染下水道。

氣壓規(guī)定 對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應符合以下原則： 1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。 2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。 壓力差的維持依靠新風量，這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。 潔凈室中的氣流速度規(guī)定 這里要討論的氣流速度是指 潔凈室內(nèi)的氣流速度，在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設備時再說明。 在潔凈室內(nèi)進行生產(chǎn)時，應盡量避免使用易產(chǎn)生塵埃的設備和材料。

隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了，所以必須有±，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產(chǎn)生的問題更多。潔凈室的潔凈度水平直接影響到產(chǎn)品的質量和可靠性，因此應給予足夠的重視。南京凈化工程設備

在凈化工程中，應建立嚴格的潔凈室管理制度和操作規(guī)范，確保潔凈室的長期穩(wěn)定運行。蕪湖凈化工程標準

3、光學微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析之分體空調(diào)柜機++FFU送風口 這是簡易的一個空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機布置于車間內(nèi)，并用彩鋼圍護起來，在柜機回風口處再在彩鋼板上開回風口(帶初效過濾網(wǎng));KLC風機過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案適用于對室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間。 優(yōu)點： A.不需要占用機房面積，布置很靈活的; B.可以滿足空氣的潔凈度; C.造價比較低。如此類無塵車間初投資約需要40萬; D.送風均勻度好。 缺點： A.溫濕度控制較差; B.可以滿足空氣的潔凈度; C.FFU的維修頻率高。 4、光學微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析之無塵車間的特點 A、無塵車間 潔凈度: LCD制屏的簡略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。 蕪湖凈化工程標準