而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極(電熱)加濕是向空調(diào)送風中噴蒸汽,其加濕方法屬等溫加濕過程。 從確保潔凈室內(nèi)相對濕度的精度而言,上述的淋水、高壓噴霧、濕膜等水加濕方法其控制的精度不高,故當潔凈室內(nèi)相對濕度精度要求≤±10%時比較好不采用。而采用噴干蒸汽和電熱(電極)式加濕的方法。噴干蒸汽的加濕方法要注意干蒸汽加濕器有一個噴蒸汽效率的問題,并非噴入空調(diào)箱內(nèi)的蒸汽全部加入到空調(diào)送風中,而其中有一部分變成凝結(jié)水排放出來。因此,選擇干蒸汽加濕的加濕量時應考慮其噴蒸的效率。有的廠家給出的噴蒸效率為70%。 各種不同的加濕器的應用范圍不同:如:淋水、濕膜、高壓噴霧等水加濕器,其特點是加濕量大、投資費用低,而相對濕度控制精度較差,因此多用于相對濕度要求不嚴格(> ±10%),加濕量很大的工業(yè)廠房和一般舒適用空調(diào)房間的空調(diào)系統(tǒng)加濕。凈化工程中的潔凈室應定期進行消毒和清潔處理,以確保環(huán)境的衛(wèi)生和安全。半導體凈化工程公司
在50年代曾提出用一條頻譜曲線作為評價標準即各頻帶中心頻率的聲壓級不得超過該曲線。后來了解到刷A等級來計量噪聲與噪聲的語音干擾和煩惱程度更為臺適,可以代替倍頻帶聲壓級作為評價標準的指標。 向有很高的要求。這里有必要先說明一下無窗潔凈室的照明方式: (1)一般照明 它指不考慮特殊的局部需要,為照亮整個被照面積而設(shè)置的照明。 (2)局部照明 這是指為增加某一指定地點(如工作點)的照度而設(shè)置的照明。但在室內(nèi)照明由一般不單獨使用局部照明。 (3)混合照明 這是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明,其中一般照明的照度按《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》應占總照度的10%—15%,但不低干150LX。 單位被照面積上接受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。 滁州電子凈化工程等級在凈化工程中,潔凈室的空氣質(zhì)量監(jiān)測應實現(xiàn)自動化和智能化,提高管理效率。
對要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場合,就使用單向氣流。以前稱這類潔凈室為“層流”潔凈室。單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況:氣流以一個方向流動(或是垂直的或是水平的),并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的均速流過整個空間。由滿布潔凈室吊頂?shù)母咝н^濾器向室內(nèi)送風。氣流有如一個空氣活塞,向***經(jīng)室內(nèi),帶走污染物,然后從地面排出。又在與外部的一些新鮮空氣混合后,再循環(huán)至高效過濾器。
往往須耗時相當長一段時間。層流式(Laminar)等級名稱等級限值μmμmμmμm5μm容積單位容積單位容積單位容積單位容積單位國際單位英制單位mFtmFtmFtmFtmFt35010////00//10////100//0////283//1000//////77//////1810000//////247070//////000////////////0層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種:(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風,塵埃隨風向排出室外,一般在側(cè)污染較嚴重。優(yōu)點:構(gòu)造簡單,運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。缺點:建造費用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴充。(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域。優(yōu)點:管理容易,運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。亂流式缺點:構(gòu)造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。復合式。潔凈室的通風系統(tǒng)應設(shè)計合理,確保空氣流通順暢且不會產(chǎn)生渦流和死角。
高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端,高效空氣過濾的安裝方式應簡便可靠,宜檢漏和更換;中效、亞高效、高效空氣過濾器宜按額定風量選用;阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設(shè)置在同一凈化車間內(nèi)。 ●確定集中或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時,應綜合考慮生產(chǎn)工藝的特點和凈化車間空氣的潔凈度等級、面積、位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、無塵室或凈化車間面積較大時,位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴格的潔凈室,宜采用集中式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。 ●凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時,應選用管狀電加熱器,位置應布置在高效空氣過濾器的上風側(cè),并應有防火安全措施。 ●送風機可按凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的總送風量和總阻力值進行選擇,中效、高效空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計算。 ●凈化工程中凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設(shè)置值班風機的系統(tǒng)外,應采取防止室外污染空氣通過新風口參入凈化車間內(nèi)的防灌倒措施。 ●凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計應合理利用回風,凡工藝過程產(chǎn)生大量有害物質(zhì)且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求,或?qū)ζ渌ば蛴形:r,則不應用回風。凈化工程中的空氣過濾系統(tǒng)應定期檢測和評估,以確保其過濾效果始終符合要求。南通無菌室凈化工程
潔凈室內(nèi)的照明設(shè)備應選用無汞、無紫外線的LED燈具,以減少對產(chǎn)品和環(huán)境的污染。半導體凈化工程公司
直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵 化學吸附在表面難以。相對濕度越高,粘附的越難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)比較好濕度范圍為35—45%。 半導體凈化工程公司