優(yōu)點: A.空氣處理效果較好的,處理過后的空氣在送風過程中被污染程度低。送風的溫度、濕度控制效果可以達到較好的控制。主要在空氣處理機組(增壓風柜)里進行控制; B.布置靈活。自帶冷源; C.大小廠房、新舊廠房都適用; D.維修頻率較低; E.車間噪音低。 缺點: A.需要小面積的機房。需要有冷卻塔 [1] 、冷卻水泵的擺放位置; B.空調機組與空調處理機組要集中布置; C.造價較低。特點:這種方案可以是一次回風也可以是二次回風,具體根據(jù)車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬級、十萬級等的凈化無塵廠房。 凈化工程的維護包括定期更換過濾器和清潔設備。徐州光學凈化工程
優(yōu)點:管理容易,運轉開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。 亂流式 缺點:構造費用較高,彈性運用 空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。 復合式(Mixed Type) 復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。 (1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA 過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響工作及品質。醫(yī)療凈化工程安裝凈化工程的實施需嚴格遵守相關行業(yè)標準。
3、光學微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析之分體空調柜機++FFU送風口 這是簡易的一個空調方案。是直接將分體空調柜機布置于車間內(nèi),并用彩鋼圍護起來,在柜機回風口處再在彩鋼板上開回風口(帶初效過濾網(wǎng));KLC風機過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案適用于對室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間。 優(yōu)點: A.不需要占用機房面積,布置很靈活的; B.可以滿足空氣的潔凈度; C.造價比較低。如此類無塵車間初投資約需要40萬; D.送風均勻度好。 缺點: A.溫濕度控制較差; B.可以滿足空氣的潔凈度; C.FFU的維修頻率高。 4、光學微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析之無塵車間的特點 A、無塵車間 潔凈度: LCD制屏的簡略流程為:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
ULSI制程大都采用此種型式。 潔凈隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。 (2)潔凈管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和 作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。 (3)并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。 凈化工程的監(jiān)控系統(tǒng)應具備實時監(jiān)測功能。
只有空氣過濾系統(tǒng)解決方案和配套的空氣過濾器才會給您帶來安全可靠的保障。作為空氣潔凈市場的供應商,提供給客戶的是一種長期的安全保障及技術支持,為客戶提供專業(yè)化的建議、詳盡的產(chǎn)品說明、運行周期成本費用評估和各種完善的服務,從而給予客戶的利益保障。三:我公司各類證書齊全,技術力量雄厚,檢測設備精良,萬級凈化工程,為確保凈化工程,各類凈化設備,凈化產(chǎn)品的質量奠定了堅實的基礎,我司生產(chǎn)的產(chǎn)品嚴格按符合美國聯(lián)邦標準FS-209E要求,萊蕪凈化工程,執(zhí)行GMP規(guī)格要求凈化工程需要綜合考慮空間規(guī)劃和設備配置。醫(yī)療凈化工程安裝
凈化工程能有效提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質量。徐州光學凈化工程
直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵 化學吸附在表面難以。相對濕度越高,粘附的越難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)比較好濕度范圍為35—45%。 徐州光學凈化工程