而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極(電熱)加濕是向空調送風中噴蒸汽,其加濕方法屬等溫加濕過程。 從確保潔凈室內(nèi)相對濕度的精度而言,上述的淋水、高壓噴霧、濕膜等水加濕方法其控制的精度不高,故當潔凈室內(nèi)相對濕度精度要求≤±10%時比較好不采用。而采用噴干蒸汽和電熱(電極)式加濕的方法。噴干蒸汽的加濕方法要注意干蒸汽加濕器有一個噴蒸汽效率的問題,并非噴入空調箱內(nèi)的蒸汽全部加入到空調送風中,而其中有一部分變成凝結水排放出來。因此,選擇干蒸汽加濕的加濕量時應考慮其噴蒸的效率。有的廠家給出的噴蒸效率為70%。 各種不同的加濕器的應用范圍不同:如:淋水、濕膜、高壓噴霧等水加濕器,其特點是加濕量大、投資費用低,而相對濕度控制精度較差,因此多用于相對濕度要求不嚴格(> ±10%),加濕量很大的工業(yè)廠房和一般舒適用空調房間的空調系統(tǒng)加濕。凈化工程需定期進行空氣質量檢測以確保標準。上海GMP凈化工程等級
凈化工程解決方案 編輯 大部分凈化廠房尤其電子工業(yè)用的潔凈廠房都有嚴格的恒溫、恒濕的要求,不僅對廠房內(nèi)的溫、濕度有嚴格的要求,而且對溫度和相對濕度的波動范圍也有嚴格的要求。因此,在凈化空調系統(tǒng)的空氣處理上要采取相應的措施,例如:夏季要降溫、去濕(因為夏季室外空氣是高溫、高濕的),冬季要加熱加濕(因為冬季室外空氣是寒冷干燥的,室內(nèi)濕度過低會產(chǎn)生靜電,靜電對電子產(chǎn)品的生產(chǎn)是致命的)。 對于凈化空調系統(tǒng)的加濕問題而言,常用的加濕方法有很多種,有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕,這些加濕方法屬等焓加濕過程?;窗舶雽w凈化工程潔凈車間的布局直接影響凈化工程的效果。
ULSI制程大都采用此種型式。 潔凈隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。 (2)潔凈管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和 作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。 (3)并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。
光學微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析 對于常規(guī)電子廠房潔凈室空調的設計,應根據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟條件來選用哪種空調設計方案,以滿足生產(chǎn)工藝的要求作為前提。根據(jù)以往經(jīng)驗,對于要求高的可以選用組合式空氣處理機組集中處理的空調方案;對于要求不高的,又要初投資低的,可以選用柜機+FFU。總之,具體的方案選擇根據(jù)具體情況而定。 凈化工程中空氣凈化處理方案 ●凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理,均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理,可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。 ●空氣過濾器的選用布置和安裝方式,應符合:初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器;中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的正壓段;潔凈室的潔凈度水平直接影響到產(chǎn)品的質量和可靠性,因此應給予足夠的重視。
若加濕器設在空調器的風機段內(nèi),還應采取措施避免凝結水滴到電機上,造成電機短路斷電。 光學微電子凈化工程-潔凈車間技術解決方案 光學微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給于特別設計之密閉空間。 光學微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室,已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設施。凈化工程的設計應考慮到車間的能源效率和可持續(xù)***廠凈化工程哪家好
凈化工程的維護是確保長期穩(wěn)定運行的關鍵。上海GMP凈化工程等級
在潔凈室內(nèi)靜電導致的事故有以下幾方面; 1.靜電電引起的靜電電擊,引起人的不安全和恐懼感,并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒,由摔倒又致傷); 2.靜電放電引起的放電電流,可導致諸如半導體元件等破壞和誤動作,例如將50塊P- MOS電路放在塑料袋內(nèi),搖晃數(shù)次后,與非門柵極嚴重擊穿者計39塊,失效率競達78%,這是因為半導體器件對靜電放電十分靈敏; 3.靜電放電產(chǎn)生的電磁波可導致電子儀器和裝置的雜音和誤動作; 4.靜電放電的發(fā)光可導致照相肢片等感光破壞; 上海GMP凈化工程等級