光學(xué)微電子凈化工程-潔凈車間技術(shù)解決方案光學(xué)微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。光學(xué)微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室,已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來,由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展,對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目,而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于前面的地位!因此在每個(gè)步驟中都嚴(yán)格把控,確保凈化效果達(dá)到更佳。安徽不銹鋼凈化工程現(xiàn)貨
噪聲控制:潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn),目的在于保障操作正常進(jìn)行,滿足必要的談話聯(lián)系及安全舒適的工作環(huán)境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標(biāo)是:1.煩惱的效應(yīng)由于噪聲,使人感到不安寧而產(chǎn)生煩惱情緒,一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧,比較吵鬧和極吵鬧7個(gè)煩惱等級(jí)。凡反應(yīng)水平屬于很吵鬧和極吵鬧者,即為高煩惱,高煩惱人數(shù)在總?cè)藬?shù)中的百分比即為高煩惱率。2.對(duì)工作效率的影響這主要看三方面的反應(yīng)水平,這三個(gè)方面是:集中精神,動(dòng)作準(zhǔn)確性,工作速度;3.對(duì)綜合通訊的干擾這主要分為:清楚或滿意,稍困難,困難,不可能對(duì)以上三方面指標(biāo)都用A聲級(jí)來評(píng)價(jià)。在50年代曾提出用一條頻譜曲線作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)即各頻帶中心頻率的聲壓級(jí)不得超過該曲線。后來了解到刷A等級(jí)來計(jì)量噪聲與噪聲的語音干擾和煩惱程度更為臺(tái)適,可以代替倍頻帶聲壓級(jí)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)的指標(biāo)。中國香港不銹鋼凈化工程安裝凈化工程通常包含多個(gè)步驟,從污染源識(shí)別、污染物質(zhì)分析。
凈化工程分類:亂流式(TurbulentFlow)空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低,潔凈室的擴(kuò)充比較容易,在某些特殊用途場(chǎng)所,可并用無塵工作臺(tái),提高潔凈室等級(jí)。缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再啟動(dòng),欲達(dá)需求之潔凈度,往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間
例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹提升空氣、水質(zhì)等環(huán)境因素的純凈度。
醫(yī)院應(yīng)用潔凈環(huán)境的潔凈手術(shù)室,是用空氣潔凈技術(shù)取代傳統(tǒng)的紫外線等手段對(duì)全過程實(shí)行污染控制的現(xiàn)代手術(shù)室。在潔凈手術(shù)室內(nèi),患者率可降低10倍以上,從而可以少用或不用會(huì)傷害患者免疫系統(tǒng)的。既要無塵又要無菌是潔凈手術(shù)室的特點(diǎn)。醫(yī)院潔凈室包括手術(shù)室、產(chǎn)科、嬰幼兒病房、ICU(重癥監(jiān)護(hù)室)、燒傷病房及解剖室、凈化實(shí)驗(yàn)室、人工透析室、標(biāo)本室等,其工程質(zhì)量與醫(yī)療質(zhì)量有著直接而重要的關(guān)系。如對(duì)某醫(yī)院潔凈室做含塵濃度檢測(cè)時(shí),突然發(fā)現(xiàn)塵濃普遍急劇上升,超標(biāo)嚴(yán)重。工程人員首先想到的是過濾器風(fēng)口漏,經(jīng)檢查,雖然發(fā)現(xiàn)確實(shí)有漏,但和檢測(cè)出的塵濃數(shù)量不相當(dāng)。根據(jù)經(jīng)驗(yàn)判斷,這是新風(fēng)口設(shè)計(jì)不當(dāng),由于設(shè)在5層樓頂上向下的新風(fēng)口,其下方正好有一垃圾站,而該垃圾站有定期燒垃圾的習(xí)慣,大量濃塵正是來自新風(fēng)口下方冒出的濃煙。不斷提升技術(shù)水平和服務(wù)質(zhì)量。安徽不銹鋼凈化工程怎么收費(fèi)
盡管凈化工程具有諸多優(yōu)勢(shì),但也存在一些缺點(diǎn)和挑戰(zhàn)。安徽不銹鋼凈化工程現(xiàn)貨
障礙物可以使單向流變成紊流,從而在障礙物周圍形成氣流團(tuán)。人員的活動(dòng)也可以使單向流變成紊流。在這些紊流中,由于風(fēng)速較低,空氣稀釋程度較小,從而使得污染濃度較高。因此,必須將風(fēng)速保持在0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的范圍里,以便使中斷的單向流能快速恢復(fù),充分稀釋障礙物周圍紊流區(qū)的污染。用風(fēng)速可以正確地表示出單向流,因?yàn)轱L(fēng)速越高室內(nèi)就越潔凈。而每小時(shí)換氣次數(shù)與房間的體積有關(guān),如吊頂?shù)母叩?,因此不適合用來表示單向流。單向流室內(nèi)的送風(fēng)量是紊流室的很多倍(10到100倍)安徽不銹鋼凈化工程現(xiàn)貨