探針臺是用于檢測每片晶圓上各個芯片電信號，保證半導體產(chǎn)品品質的重要檢測設備。下面我們來了解下利用探針臺進行在片測試的一些相關問題，首先為什么需要進行在片測試？因為我們需要知道器件真正的性能，而不是封裝以后的，雖然可以去嵌，但還是會引入一些誤差和不確定性。因為我們需要確定哪些芯片是好的芯片來降低封裝的成本并提高產(chǎn)量。因為有時我們需要進行自動化測試，在片進行自動化測試成本效益高而且更快。一個典型的在片測試系統(tǒng)，主要包括：矢量網(wǎng)絡分析儀，線纜，探針，探針定位器，探針臺，校準設備及軟件，電源偏置等。半導體設備價值普遍較高，一條先進半導體生產(chǎn)線投資中，設備價值約占總投資規(guī)模的75%以上。廣東溫控探針臺報價

探針臺為研究和工程實驗室在測試運行期間移動通過多個溫度點時，提供前所未有的自動化水平。這種新技術使探針系統(tǒng)能夠感知，學習和反應以多溫度和特征的極其復雜的環(huán)境。隨著集成電路產(chǎn)品不斷進入汽車應用等更高發(fā)熱量的環(huán)境，在越來越寬的溫度范圍內表征器件性能和耐用性變得越來越重要。以前，大多數(shù)芯片在兩個溫度點進行晶圓級測試，通常為20?C（室溫）和90?C。現(xiàn)在，該范圍已經(jīng)擴大到-40?C至125?C，并且可能需要在此范圍內的四個溫度步驟中進行一整套測試。某些情況下需要更普遍的范圍，如-55?C至200?C，晶圓可靠性測試可能要求高達300?C的溫度。廣東溫控探針臺報價平面電機應使用在環(huán)境溫度15～25℃，相對濕度小于50％的環(huán)境中。

通常，參數(shù)測試系統(tǒng)將電流或電壓輸入被測器件（DUT），然后測量該器件對于此輸入信號的響應。這些信號的路徑為：從測試儀通過電纜束至測試頭，再通過測試頭至探針卡，然后通過探針至芯片上的焊點，到達被測器件，并后沿原路徑返回測試儀器。如果獲得的結果不盡如人意，問題可能是由測量儀器或軟件所致，也可能是其它原因造成。通常情況下，測量儀器引進一些噪聲或測量誤差。而更可能導致誤差的原因是系統(tǒng)的其它部件，其中之一可能是接觸電阻，它會受探針參數(shù)的影響，如探針的材料、針尖的直徑與形狀、焊接的材質、觸點壓力、以及探針臺的平整度。此外，探針尖磨損和污染也會對測試結果造成極大的負面影響。

半導體生產(chǎn)過程中的探測，可略分為三大類：1.參數(shù)探測：提供制造期間的裝置特性測量；2.晶圓探測：當制造完成要進行封裝前，在一系列的晶圓上(wafersort)測試裝置功能；3.以探針臺為基礎的晶圓處理探測(FinalTest)：在出貨給顧客前，對封裝完成的裝置做后的測試。晶圓在通過基本的特性測試后，即進入晶圓探測階段，此時需要用復雜的機器、視覺及軟件來偵測晶圓上的每顆裸晶，精確度約在±2.0μm之間。將晶圓探針臺的輸入輸出探針墊片(I/Opads)放在接腳和探針卡正確對應的晶圓后，探針臺會將晶圓向上挪動，使其電氣和連接于測試儀上的探針卡接觸，以進行探測。當測試完成，則會自動將下一個待測晶圓替換到探針卡下面，如此周而復始地循環(huán)著。上海勤確科技有限公司一切從實際出發(fā)、注重實質內容。

高精度探針臺：目前世界出貨量的型號吸收了很新的工藝科技例如OTS，QPU和TTG相關技術，這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設計及多種測試條件提供保證。特性1：OTS-近的位置對正系統(tǒng)（光學目標對準）OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其位置的精度。這是非常引人注目的技術，來源于精密的度量技術。OTS實現(xiàn)了以自己為參照的光學對準系統(tǒng)。特性2：QPU-高剛性的硅片承載臺（四方型系統(tǒng)）為了有效的達到接觸位置的精度，硅片承載臺各部分的剛性一致是非常重要的，UF3000使用新的4軸機械轉換裝置（QPU），達到高剛性，高穩(wěn)定度的接觸。上海勤確科技有限公司以完善的服務和改變?yōu)橹辽献非?。黑龍江手動高低溫探針臺供應商

主要工作是檢測芯片設計的功能是否能夠達到芯片的技術指標。廣東溫控探針臺報價

12英寸晶圓在結構上具有更高的效率，以200mm工藝為例，在良率100%的情況下，可出88個完整的晶粒，理論上因方塊切割所造成的邊緣浪費率為23%(約有20個晶粒因缺角破損而無法使用)；而若以300mm工藝進行切割，則產(chǎn)出效率將更驚人，可產(chǎn)出193個完整的晶粒，會浪費19%的晶圓面積(36個不完整晶粒)。此外，12英寸廠的規(guī)模經(jīng)濟優(yōu)勢也不容小視；300mm的建廠成本與200mm的建廠成本比值約為1.5，而晶圓廠建廠成本與晶圓面積的比值卻少于2.25，這意味著只要多投入1.5倍的建廠成本，即可多生產(chǎn)2.25倍的晶粒！少少的邊際投入即可獲取的收益，約可節(jié)省33%的成本；如此高報酬的投資效益隨著技術的發(fā)展而讓人們受益。廣東溫控探針臺報價