晶圓探針器是用于測試集成電路的機器(自動測試設(shè)備)。對于電氣測試,一組稱為探針卡的微觀觸點或探針被固定在適當?shù)奈恢?,同時真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態(tài)。當一個管芯(或管芯陣列)經(jīng)過電氣測試后,探針臺將晶片移動到下一個管芯(或管芯),下一個測試就可以開始了。晶圓探針臺通常負責從載具(或盒子)裝載和卸載晶圓,并配備自動模式識別光學器件,能夠以足夠的精度對準晶圓,以確保晶圓上的接觸墊和探針針尖之間的準確對準。一般,信號路徑電阻被用來替代接觸電阻,而且它在眾多情況下更加相關(guān)。福建自動探針臺要多少錢
在設(shè)備方面,生產(chǎn)半導體測試探針的相關(guān)設(shè)備價格較高,國內(nèi)廠商沒有足夠的資金實力,采購日本廠商的設(shè)備。另一方面,對于半導體設(shè)備而言,產(chǎn)業(yè)鏈各個環(huán)節(jié)均會采購定制化的設(shè)備,客戶提出自身需求和配置,上游設(shè)備廠商通過與大型客戶合作開發(fā),生產(chǎn)出經(jīng)過優(yōu)化的適合該客戶的設(shè)備。因此,即使國產(chǎn)探針廠商想采購日本設(shè)備廠商的專業(yè)設(shè)備,也只能得到標準化的產(chǎn)品。在原材料方面,國產(chǎn)材質(zhì)、加工的刀具等也不能達到生產(chǎn)半導體測試探針的要求,同時日本廠商在半導體上游原材料方面占據(jù)的優(yōu)勢,其提供給客戶的原材料也是分等級的,包括A級、B級、S級,需要依客戶的規(guī)模和情況而定。河北自動探針臺探針尖如果氧化,接觸電阻變大。
隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號引導出來,便于其電性測試設(shè)備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執(zhí)行機構(gòu)由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調(diào)節(jié)旋鈕,控制固定在針座上的探針桿做三向移動,移動范圍12mm,移動精度可以達到0.7微米。這樣可以把探針很好的點到待測點上(說明探針是耗材,一般客戶自己準備),探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測試機上,從而得到電性能的參數(shù)。對于重復測試同種器件,多個點位的推薦使用探針臺安裝探卡進行測試。
探針卡沒焊到位,是因為焊錫時針受熱要稍微的收縮,使針尖偏離壓點區(qū),而針虛焊和布線斷線或短路,測試時都要測不穩(wěn),所以焊針時,應憑自己的經(jīng)驗,把針尖離壓點中心稍微偏一點,焊完后使針尖剛好回到壓點中心,同時針焊好后應檢查針尖的位置,檢查針的牢固性。技術(shù)員平時焊完卡后應注意檢查探針卡的質(zhì)量如何,把背面的突起物和焊錫線頭剪平,否則要扎傷AL層,造成短路或斷路,而操作工也應在測試裝卡前檢查一下。針尖有鋁粉:測大電流時,針尖上要引起多AL粉,使電流測不穩(wěn),所以需要經(jīng)常用灑精清洗探針并用氮氣吹干,同時測試時邊測邊吹氮氣,以減少針尖上的AL粉。定子是基礎(chǔ)平臺,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上。
盡管半導體測試探針國產(chǎn)化迫在眉睫,但從技術(shù)的角度來看,要想替代進口產(chǎn)品卻并不容易。業(yè)內(nèi)人士指出,國內(nèi)半導體測試探針還只能用于要求不高的測試需求,比如可靠性測試國產(chǎn)探針可以替代很多,但功能性測試和性能測試還有待突破。彈簧測試探針主要的技術(shù)是精微加工和組裝能力,涉及精微加工設(shè)備、經(jīng)驗、工藝能力缺一不可。值得注意的是,由于半導體測試探針市場一直被國外廠商占據(jù),同時也實施了技術(shù)封鎖,國內(nèi)并沒有相應的技術(shù)人才,包括生產(chǎn)人員和設(shè)計人員都缺乏。國內(nèi)大部分測試探針廠商基本不具備全自動化生產(chǎn)制造能力。探針卡焊完后使針尖剛好回到壓點中心,同時針焊好后應檢查針尖的位置,檢查針的牢固性。青海直流探針臺廠家
平面電機由定子和動子組成,它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開。福建自動探針臺要多少錢
電纜安裝探針既可以手動使用,也可以與多軸探針定位器一起使用。與典型的探針臺不同,這些探針足夠大,操作員可以手動使用,非常可靠。探針定位器的位置精度和可重復性更高,而且本身可以放置,便于進行測試。與探針臺不同,同軸電纜安裝探針和定位器可以在工程師或技術(shù)人員的典型測試臺上用作網(wǎng)絡(luò)分析儀、信號發(fā)生器、頻譜分析儀、示波器和其他用于射頻/微波、毫米波和高速數(shù)字應用的配件。電纜安裝射頻探針的占位面積小、無損壞,并且具有非侵入式設(shè)計,可在高密度應用中進行測試,例如天線陣列、超材料、分形天線、微帶傳輸線、緊湊組件以及具有微小表面安裝包裝組件的印刷電路板。福建自動探針臺要多少錢