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探針卡沒(méi)焊到位,是因?yàn)楹稿a時(shí)針受熱要稍微的收縮,使針尖偏離壓點(diǎn)區(qū),而針虛焊和布線(xiàn)斷線(xiàn)或短路,測(cè)試時(shí)都要測(cè)不穩(wěn),所以焊針時(shí),應(yīng)憑自己的經(jīng)驗(yàn),把針尖離壓點(diǎn)中心稍微偏一點(diǎn),焊完后使針尖剛好回到壓點(diǎn)中心,同時(shí)針焊好后應(yīng)檢查針尖的位置,檢查針的牢固性。技術(shù)員平時(shí)焊完卡后應(yīng)注意檢查探針卡的質(zhì)量如何,把背面的突起物和焊錫線(xiàn)頭剪平,否則要扎傷AL層,造成短路或斷路,而操作工也應(yīng)在測(cè)試裝卡前檢查一下。針尖有鋁粉:測(cè)大電流時(shí),針尖上要引起多AL粉,使電流測(cè)不穩(wěn),所以需要經(jīng)常用灑精清洗探針并用氮?dú)獯蹈?,同時(shí)測(cè)試時(shí)邊測(cè)邊吹氮?dú)?,以減少針尖上的AL粉。上海勤確科技有限公司追求客戶(hù)的數(shù)量遠(yuǎn)不是我們的目的。浙江磁場(chǎng)探針臺(tái)哪家好
探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座,配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線(xiàn)等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析,抽查測(cè)試等用途。探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu),測(cè)試人員把需要量測(cè)的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動(dòng)器件,找到需要探測(cè)的位置。接下來(lái)測(cè)試人員通過(guò)旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),準(zhǔn)確扎到被測(cè)點(diǎn),從而使其訊號(hào)線(xiàn)與外部測(cè)試機(jī)導(dǎo)通,通過(guò)測(cè)試機(jī)測(cè)試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。黑龍江芯片探針臺(tái)負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試。
通常,參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)將電流或電壓輸入被測(cè)器件(DUT),然后測(cè)量該器件對(duì)于此輸入信號(hào)的響應(yīng)。這些信號(hào)的路徑為:從測(cè)試儀通過(guò)電纜束至測(cè)試頭,再通過(guò)測(cè)試頭至探針卡,然后通過(guò)探針至芯片上的焊點(diǎn),到達(dá)被測(cè)器件,并后沿原路徑返回測(cè)試儀器。如果獲得的結(jié)果不盡如人意,問(wèn)題可能是由測(cè)量?jī)x器或軟件所致,也可能是其它原因造成。通常情況下,測(cè)量?jī)x器引進(jìn)一些噪聲或測(cè)量誤差。而更可能導(dǎo)致誤差的原因是系統(tǒng)的其它部件,其中之一可能是接觸電阻,它會(huì)受探針參數(shù)的影響,如探針的材料、針尖的直徑與形狀、焊接的材質(zhì)、觸點(diǎn)壓力、以及探針臺(tái)的平整度。此外,探針尖磨損和污染也會(huì)對(duì)測(cè)試結(jié)果造成極大的負(fù)面影響。
晶圓探針測(cè)試臺(tái)是半導(dǎo)體工藝線(xiàn)上的中間測(cè)試設(shè)備,與測(cè)試儀連接后,能自動(dòng)完成對(duì)集成電路及各種晶體管芯電參數(shù)和功能的測(cè)試。隨著對(duì)高性能、多功能、高速度、低功耗、小型化、低價(jià)格的電子產(chǎn)品的需求日益增長(zhǎng),這就要求在一個(gè)芯片中集成更多的功能并進(jìn)一步縮小尺寸,從而大片徑和高效率測(cè)試將是今后晶圓探針測(cè)試臺(tái)發(fā)展的主要方向。因此,傳統(tǒng)的手動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)和半自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)已經(jīng)不能滿(mǎn)足要求,取而代之的是高速度,高精度,高自動(dòng)化,高可靠性的全自動(dòng)晶圓探針測(cè)試臺(tái)。隨著探針接觸到焊點(diǎn)金屬的亞表層,這些效應(yīng)將增加。
探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的測(cè)試。探針臺(tái)從操作上來(lái)區(qū)分有:手動(dòng),半自動(dòng),全自動(dòng)。從功能上來(lái)區(qū)分有:高溫探針臺(tái),低溫探針臺(tái),RF探針臺(tái),LCD平板探針臺(tái),霍爾效應(yīng)探針臺(tái),表面電阻率探針臺(tái)??v觀國(guó)內(nèi)外的自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺(tái),可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測(cè)試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類(lèi),即:平面電機(jī)型x-y工作臺(tái)(又叫磁性氣浮工作臺(tái))自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)和以采用精密滾珠絲杠副和直線(xiàn)導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)型自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)。由于x-y工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大,所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論,應(yīng)區(qū)別對(duì)待。盡管隨著探針壓力的增強(qiáng),接觸電阻逐漸降低,終它會(huì)達(dá)到兩金屬的標(biāo)稱(chēng)接觸電阻值。黑龍江芯片探針臺(tái)
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晶圓級(jí)半自動(dòng)面內(nèi)磁場(chǎng)探針臺(tái)詳細(xì)參數(shù):垂直或面內(nèi)磁場(chǎng)探針臺(tái),通用性設(shè)計(jì);容納12寸晶圓,且向下兼容8寸、6寸、碎片;兼容4組探針(RF或DC測(cè)試);提供Z軸探針平臺(tái)快速升降功能,實(shí)現(xiàn)高效測(cè)試;磁場(chǎng)強(qiáng)度≥330mT;直流探針(4組)或微波探針(4組);XY電控行程±150mm,調(diào)節(jié)精度2μm;T軸手動(dòng)調(diào)節(jié)±5°,小至調(diào)節(jié)精度5’。晶圓級(jí)半自動(dòng)二維磁場(chǎng)探針臺(tái):詳細(xì)參數(shù)可對(duì)晶圓施加垂直或面內(nèi)磁場(chǎng),兼容性設(shè)計(jì);容納12寸晶圓,且向下兼容8寸、6寸、碎片;兼容4組探針(RF或DC測(cè)試);提供Z軸探針平臺(tái)快速升降功能,實(shí)現(xiàn)高效測(cè)試;磁場(chǎng)強(qiáng)度≥0.7T;直流探針(4組)或微波探針(4組);XY電控行程±150mm,調(diào)節(jié)精度2μm;T軸手動(dòng)調(diào)節(jié)±5°,小到調(diào)節(jié)精度5’。浙江磁場(chǎng)探針臺(tái)哪家好