從功能上來區(qū)分有：高溫探針臺，低溫探針臺，RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應(yīng)探針臺，表面電阻率探針臺?？v觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡／探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀（TESTER）相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類，即：平面電機型x-y工作臺（又叫磁性氣浮工作臺）自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大，所以其使用維護保養(yǎng)不可一概而論，應(yīng)區(qū)別對待。隨著探針開始接觸并逐漸深入焊點氧化物和污染物的表層，接觸電阻減小而電流流動迅速開始。河北磁場探針臺廠家

探針臺需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強行拉動動子，以免造成定子及動子的損傷。平面電機應(yīng)使用在環(huán)境溫度15～25℃，相對濕度小于50％的環(huán)境中，其所需的壓縮空氣必須經(jīng)過干燥過濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5℃，氣壓為0．4±0．04MPa。相對于平面電機工作臺，絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜，工作臺由上層（x向）及下層（y向）兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅(qū)動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動，導(dǎo)向部分采用精密直線滾動導(dǎo)軌。探針臺機構(gòu)適用于對芯片進行科研分析，抽查測試等用途。

下面我們來簡單講講選擇探針臺設(shè)備時需要注意事項：一、機械加工精度；二、電學(xué)量測精度三、環(huán)境要求，如：真空環(huán)境、高溫、低溫環(huán)境、磁場環(huán)境及其它。四、光學(xué)成像；五、自動化控制精度。總體而言，具有清晰并高景深的微觀成像，再通過準(zhǔn)確的探針裝置對探針進行多方向移動，對準(zhǔn)量測點，進行信號加載，通過高精度線纜將所需測試數(shù)據(jù)傳輸至量測儀表，以達到所需得到的分析數(shù)據(jù)，所以，如果想得到高質(zhì)量的分析數(shù)據(jù)，從成像到點針，再到數(shù)據(jù)傳輸每項步驟都會起到重要的作用，另外振動對精度也有一定的影響。

對于當(dāng)今的多芯片（multi-diepackages）封裝，例如堆疊芯片級封裝(SCSP)或系統(tǒng)級封裝(SiP)–開發(fā)用于識別已知測試芯片(KTD)和已知良好芯片(KGD)的非接觸式(RF)探針對提高整體系統(tǒng)產(chǎn)量至關(guān)重要。晶圓探針臺還可以在晶圓劃片線上執(zhí)行任何測試電路。一些公司從這些劃線測試結(jié)構(gòu)中獲得大部分有關(guān)器件性能的信息。當(dāng)特定芯片的所有測試圖案都通過時，它的位置會被記住，以便以后在IC封裝過程中使用。有時，芯片有內(nèi)部備用資源可用于修復(fù)（即閃存IC）；如果它沒有通過某些測試模式，則可以使用這些備用資源。盡管隨著探針壓力的增強，接觸電阻逐漸降低，終它會達到兩金屬的標(biāo)稱接觸電阻值。

半自動探針臺主要應(yīng)用于需要精確運動、可重復(fù)接觸和采集大量數(shù)據(jù)的場合。一些公司也使用半自動探針系統(tǒng)來滿足其小批量生產(chǎn)要求。半自動探針系統(tǒng)的組成部件大部分與手動探針臺相似，但載物臺和控制裝置除外。晶圓載物臺通常是可編程的，并通過軟件與電子控制器來控制移動與方位。軟件為探針臺系統(tǒng)增加了很多功能，使用者可以通過軟件或機械操縱桿以各種速度向任何方向移動載物臺，程序可以設(shè)置映射以匹配器件，可以選擇要檢測的器件。探針臺從操作上來區(qū)分有：手動，半自動，全自動。探針臺機構(gòu)

平面電機由定子和動子組成，它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開。河北磁場探針臺廠家

探針臺大家不陌生了，是我們半導(dǎo)體實驗室電性能測試的常用設(shè)備，也是各大實驗室的熟客。優(yōu)點太多了，成本低，用途廣，操作方便，對環(huán)境要求也不高，即使沒有超凈間，普通的壞境也可以配置，測試結(jié)果穩(wěn)定，客觀。深受工程師們的青睞。手動探針臺用途：探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。手動探針臺的主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個可調(diào)測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進行科研分析，抽查測試等用途。河北磁場探針臺廠家