晶圓探針測試臺是半導(dǎo)體工藝線上的中間測試設(shè)備,與測試儀連接后,能自動完成對集成電路及各種晶體管芯電參數(shù)和功能的測試。隨著對高性能、多功能、高速度、低功耗、小型化、低價格的電子產(chǎn)品的需求日益增長,這就要求在一個芯片中集成更多的功能并進(jìn)一步縮小尺寸,從而大片徑和高效率測試將是今后晶圓探針測試臺發(fā)展的主要方向。因此,傳統(tǒng)的手動探針測試臺和半自動探針測試臺已經(jīng)不能滿足要求,取而代之的是高速度,高精度,高自動化,高可靠性的全自動晶圓探針測試臺。上海勤確科技有限公司一切從實際出發(fā)、注重實質(zhì)內(nèi)容。重慶磁場探針臺供應(yīng)商
近年來,半導(dǎo)體作為信息產(chǎn)業(yè)的基石和兵家必爭之地成為本輪貿(mào)易戰(zhàn)的焦點。2019年,中美摩擦、日韓半導(dǎo)體材料爭端對全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競爭格局也帶來了較大的影響。在自主可控發(fā)展策略指導(dǎo)下、在資本與相關(guān)配套政策扶植下,中國大陸正在也必將成為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)擴張寶地,未來幾年半導(dǎo)體產(chǎn)能擴充仍將有較大需求。2019年國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備投資約為923.51億元,國內(nèi)半導(dǎo)體檢測設(shè)備市場規(guī)模約為67.43億元。在疫病結(jié)束后國內(nèi)半導(dǎo)體投資將反彈及恢復(fù)增長,檢測設(shè)備市場規(guī)模也將隨之增長,預(yù)計2022年將達(dá)到103.22億元。重慶磁場探針臺供應(yīng)商縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異。
探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。探針臺分類:探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動。從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探針臺(低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應(yīng)探針臺,表面電阻率探針臺。經(jīng)濟手動型根據(jù)客戶需求定制:chuck尺寸:4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選);X-Y移動行程:4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選);chuckZ軸方向升降10mm(選項)方便探針與樣品快速分離;顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選);顯微鏡移動方式:立柱環(huán)繞型、移動平臺型、龍門結(jié)構(gòu)型(可選);探針座:有0.7um、2um、10um精度可選,磁性吸附帶磁力開關(guān);可搭配Probecard測試;適用領(lǐng)域:晶圓廠、研究所、高校等。
x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng):無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,x-y向工作臺都是其很重心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的,所以對工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要?,F(xiàn)在只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)作一介紹。平面電機x-y步進(jìn)工作臺的維護(hù)與保養(yǎng):平面電機由定子和動子組成,它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎(chǔ)平臺,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。探針尖接觸電阻即探針尖與焊點之間接觸時的層間電阻。
探針臺需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強行拉動動子,以免造成定子及動子的損傷。平面電機應(yīng)使用在環(huán)境溫度15~25℃,相對濕度小于50%的環(huán)境中,其所需的壓縮空氣必須經(jīng)過干燥過濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5℃,氣壓為0.4±0.04MPa。相對于平面電機工作臺,絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜,工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個步進(jìn)電機分別驅(qū)動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動,導(dǎo)向部分采用精密直線滾動導(dǎo)軌。探針卡虛焊和布線斷線或短路,測試時都要測不穩(wěn)。陜西直流探針臺配件廠家
平面電機由定子和動子組成,它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機相比其特殊性就是將定子展開。重慶磁場探針臺供應(yīng)商
探針臺概要:晶圓探針臺是在半導(dǎo)體開發(fā)和制造過程中用于晶片電氣檢查的設(shè)備。在電氣檢查中,通過探針或探針卡向晶片上的各個設(shè)備提供來自測量儀器或測試器的測試信號,并返回來自設(shè)備的響應(yīng)信號。在這種情況下,晶片探測器用于輸送晶片并接觸設(shè)備上的預(yù)定位置。探針臺是檢測芯片的重要設(shè)備,在芯片的設(shè)計驗證階段,主要工作是檢測芯片設(shè)計的功能是否能夠達(dá)到芯片的技術(shù)指標(biāo),在檢測過程中會對芯片樣品逐一檢查,只有通過設(shè)計驗證的產(chǎn)品型號才會量產(chǎn)。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或?qū)iT的測試代工廠進(jìn)行,主要用到的設(shè)備為測試機和探針臺。重慶磁場探針臺供應(yīng)商