高精度探針臺:目前世界出貨量的型號吸收了很新的工藝科技例如OTS,QPU和TTG相關(guān)技術(shù),這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計及多種測試條件提供保證。特性1:OTS-近的位置對正系統(tǒng)(光學(xué)目標(biāo)對準(zhǔn))OTS通過對照相機(jī)相對位置的測量來保證其位置的精度。這是非常引人注目的技術(shù),來源于精密的度量技術(shù)。OTS實(shí)現(xiàn)了以自己為參照的光學(xué)對準(zhǔn)系統(tǒng)。特性2:QPU-高剛性的硅片承載臺(四方型系統(tǒng))為了有效的達(dá)到接觸位置的精度,硅片承載臺各部分的剛性一致是非常重要的,UF3000使用新的4軸機(jī)械轉(zhuǎn)換裝置(QPU),達(dá)到高剛性,高穩(wěn)定度的接觸。探針尖如果氧化,接觸電阻變大。北京磁場探針臺服務(wù)
探針臺市場占有率及行業(yè)分析:針對于電學(xué)量測分析設(shè)備,探針臺則是眾多量測設(shè)備之一,探針臺也是不可或缺的一部分,就目前國內(nèi)探針臺設(shè)備的占有率來講,好的型產(chǎn)品主要集中在歐美以及日本品牌,中端設(shè)備主要集中在品牌,而對于量測精度而言,產(chǎn)設(shè)備具有一定的優(yōu)勢,我公司探針臺系列產(chǎn)品量測組件均采用歐美品牌設(shè)備,所以在量測精度上來講,可以與歐美及日本品牌相媲美,價格適中,應(yīng)用普遍,并與國內(nèi)多家高校及研究所合作。這是由于射頻傳輸線和電壓探針之間缺乏阻抗匹配,插入常用電壓探針會使得結(jié)果出現(xiàn)很大偏差。遼寧自動探針臺機(jī)構(gòu)半導(dǎo)體設(shè)備價值普遍較高,一條先進(jìn)半導(dǎo)體生產(chǎn)線投資中,設(shè)備價值約占總投資規(guī)模的75%以上。
射頻測試探針必須具有與測試點(diǎn)相匹配的阻抗。通常要做的是在設(shè)計中各個預(yù)先計劃好的測試點(diǎn)焊接射頻同軸電纜(尾纖)。這有助于確保足夠的阻抗匹配,并且測試點(diǎn)可以選在對整體設(shè)計性能產(chǎn)生較小影響的區(qū)域。其他方法包括將用的射頻探針焊接到自定義焊盤或者引線設(shè)計上,從而減少侵入性探測。高性能測試設(shè)備供應(yīng)商可以提供高達(dá)毫米波頻率的用探針。但這些探針的末端通常都很昂貴,且無法持續(xù)訪問組成元件的電路。因此,它們在大容量的測試應(yīng)用或者故障排除應(yīng)用中受到限制,更適合于原型設(shè)計和研發(fā)。
下面我們來簡單講講選擇探針臺設(shè)備時需要注意事項:一、機(jī)械加工精度;二、電學(xué)量測精度三、環(huán)境要求,如:真空環(huán)境、高溫、低溫環(huán)境、磁場環(huán)境及其它。四、光學(xué)成像;五、自動化控制精度。總體而言,具有清晰并高景深的微觀成像,再通過準(zhǔn)確的探針裝置對探針進(jìn)行多方向移動,對準(zhǔn)量測點(diǎn),進(jìn)行信號加載,通過高精度線纜將所需測試數(shù)據(jù)傳輸至量測儀表,以達(dá)到所需得到的分析數(shù)據(jù),所以,如果想得到高質(zhì)量的分析數(shù)據(jù),從成像到點(diǎn)針,再到數(shù)據(jù)傳輸每項步驟都會起到重要的作用,另外振動對精度也有一定的影響。探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動。
探針臺是半導(dǎo)體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測裝備之一,其普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。通過與測試儀器的配合,探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進(jìn)入后序工序前予以剔除,極大降低器件的制造成本。探針臺主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。半導(dǎo)體測試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類:驗(yàn)證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。晶圓檢測環(huán)節(jié)需要使用測試儀和探針臺,測試儀/機(jī)用于檢測芯片功能和性能,探針臺實(shí)現(xiàn)被測芯片與測試機(jī)的連接,通過探針臺和測試機(jī)的配合使用對晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測試或射頻測試,可以對芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的測試。遼寧自動探針臺機(jī)構(gòu)
在檢測虛焊和斷路的時候,探針卡用戶經(jīng)常需要為路徑電阻指定一個標(biāo)稱值。北京磁場探針臺服務(wù)
為什么要射頻探測?由于器件小形化及高頻譜的應(yīng)用,電路尺寸不斷縮小,類似微帶線及PCB版本Pad的測試沒有物理接口,使得儀表本身無法與待測物進(jìn)行直接連接,如果人為的焊接射頻接口難免會引入不確定的誤差,所以射頻探針的使用完美的解決了這個問題。射頻探頭和校準(zhǔn)基板允許工程師進(jìn)行精確、重復(fù)的測量與校準(zhǔn)。且任何受過一定訓(xùn)練的工程師都可以進(jìn)行探針臺的架設(shè)與儀表的校準(zhǔn),以分鐘為單位進(jìn)行測量。同樣一個Pad測試點(diǎn),如果通過探針測量與通過焊接SMA接口引出測量線的方法進(jìn)行測試對比會發(fā)現(xiàn),探針的精度是高于焊接Cable的精度。北京磁場探針臺服務(wù)