晶圓級(jí)半自動(dòng)面內(nèi)磁場(chǎng)探針臺(tái)詳細(xì)參數(shù)：垂直或面內(nèi)磁場(chǎng)探針臺(tái)，通用性設(shè)計(jì)；容納12寸晶圓，且向下兼容8寸、6寸、碎片；兼容4組探針（RF或DC測(cè)試）；提供Z軸探針平臺(tái)快速升降功能，實(shí)現(xiàn)高效測(cè)試；磁場(chǎng)強(qiáng)度≥330mT;直流探針（4組）或微波探針（4組）；XY電控行程±150mm，調(diào)節(jié)精度2μm；T軸手動(dòng)調(diào)節(jié)±5°，小至調(diào)節(jié)精度5’。晶圓級(jí)半自動(dòng)二維磁場(chǎng)探針臺(tái)：詳細(xì)參數(shù)可對(duì)晶圓施加垂直或面內(nèi)磁場(chǎng)，兼容性設(shè)計(jì)；容納12寸晶圓，且向下兼容8寸、6寸、碎片；兼容4組探針（RF或DC測(cè)試）；提供Z軸探針平臺(tái)快速升降功能，實(shí)現(xiàn)高效測(cè)試；磁場(chǎng)強(qiáng)度≥0.7T；直流探針（4組）或微波探針（4組）；XY電控行程±150mm，調(diào)節(jié)精度2μm；T軸手動(dòng)調(diào)節(jié)±5°，小到調(diào)節(jié)精度5’。探針臺(tái)可編程承片臺(tái)則安裝在動(dòng)子之上。河南手動(dòng)探針臺(tái)公司

為什么要射頻探測(cè)？由于器件小形化及高頻譜的應(yīng)用，電路尺寸不斷縮小，類(lèi)似微帶線(xiàn)及PCB版本Pad的測(cè)試沒(méi)有物理接口，使得儀表本身無(wú)法與待測(cè)物進(jìn)行直接連接，如果人為的焊接射頻接口難免會(huì)引入不確定的誤差，所以射頻探針的使用完美的解決了這個(gè)問(wèn)題。射頻探頭和校準(zhǔn)基板允許工程師進(jìn)行精確、重復(fù)的測(cè)量與校準(zhǔn)。且任何受過(guò)一定訓(xùn)練的工程師都可以進(jìn)行探針臺(tái)的架設(shè)與儀表的校準(zhǔn)，以分鐘為單位進(jìn)行測(cè)量。同樣一個(gè)Pad測(cè)試點(diǎn)，如果通過(guò)探針測(cè)量與通過(guò)焊接SMA接口引出測(cè)量線(xiàn)的方法進(jìn)行測(cè)試對(duì)比會(huì)發(fā)現(xiàn)，探針的精度是高于焊接Cable的精度。河南手動(dòng)探針臺(tái)公司探針卡沒(méi)焊到位，是因?yàn)楹稿a時(shí)針受熱要稍微的收縮，使針尖偏離壓點(diǎn)區(qū)。

探針臺(tái)是用于檢測(cè)每片晶圓上各個(gè)芯片電信號(hào)，保證半導(dǎo)體產(chǎn)品品質(zhì)的重要檢測(cè)設(shè)備。因?yàn)槲覀冃枰榔骷嬲男阅?，而不是封裝以后的，雖然可以去嵌，但還是會(huì)引入一些誤差和不確定性。因?yàn)槲覀冃枰_定哪些芯片是好的芯片來(lái)降低封裝的成本并提高產(chǎn)量。因?yàn)橛袝r(shí)我們需要進(jìn)行自動(dòng)化測(cè)試，在片進(jìn)行自動(dòng)化測(cè)試成本效益高而且更快。一個(gè)典型的在片測(cè)試系統(tǒng)，主要包括：矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀，線(xiàn)纜，探針，探針定位器，探針臺(tái)，校準(zhǔn)設(shè)備及軟件，電源偏置等。

探針臺(tái)大家不陌生了，是我們半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室電性能測(cè)試的常用設(shè)備，也是各大實(shí)驗(yàn)室的熟客。優(yōu)點(diǎn)太多了，成本低，用途廣，操作方便，對(duì)環(huán)境要求也不高，即使沒(méi)有超凈間，普通的壞境也可以配置，測(cè)試結(jié)果穩(wěn)定，客觀。深受工程師們的青睞。手動(dòng)探針臺(tái)用途：探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。手動(dòng)探針臺(tái)的主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)，探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線(xiàn)等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析，抽查測(cè)試等用途。探針臺(tái)由于動(dòng)子和定子間無(wú)相對(duì)摩擦故無(wú)磨損，使用壽命長(zhǎng)。

全自動(dòng)探針臺(tái)相比手動(dòng)探針臺(tái)和自動(dòng)探針臺(tái)兩種添加了晶圓材料處理搬運(yùn)單元（MHU）和模式識(shí)別（自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)）。負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試?？梢?4小時(shí)連續(xù)工作，通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。全自動(dòng)探針臺(tái)價(jià)格也是遠(yuǎn)比手動(dòng)/半自動(dòng)探針臺(tái)要昂貴。軟件為探針臺(tái)系統(tǒng)增加了很多功能，使用者可以通過(guò)軟件或機(jī)械操縱桿以各種速度向任何方向移動(dòng)載物臺(tái)，程序可以設(shè)置映射以匹配器件，可以選擇要檢測(cè)的器件。半導(dǎo)體行業(yè)向來(lái)有“一代設(shè)備，一代工藝，一代產(chǎn)品”的說(shuō)法。河南手動(dòng)探針臺(tái)公司

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在設(shè)備方面，生產(chǎn)半導(dǎo)體測(cè)試探針的相關(guān)設(shè)備價(jià)格較高，國(guó)內(nèi)廠商沒(méi)有足夠的資金實(shí)力，采購(gòu)日本廠商的設(shè)備。另一方面，對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備而言，產(chǎn)業(yè)鏈各個(gè)環(huán)節(jié)均會(huì)采購(gòu)定制化的設(shè)備，客戶(hù)提出自身需求和配置，上游設(shè)備廠商通過(guò)與大型客戶(hù)合作開(kāi)發(fā)，生產(chǎn)出經(jīng)過(guò)優(yōu)化的適合該客戶(hù)的設(shè)備。因此，即使國(guó)產(chǎn)探針廠商想采購(gòu)日本設(shè)備廠商的專(zhuān)業(yè)設(shè)備，也只能得到標(biāo)準(zhǔn)化的產(chǎn)品。在原材料方面，國(guó)產(chǎn)材質(zhì)、加工的刀具等也不能達(dá)到生產(chǎn)半導(dǎo)體測(cè)試探針的要求，同時(shí)日本廠商在半導(dǎo)體上游原材料方面占據(jù)的優(yōu)勢(shì)，其提供給客戶(hù)的原材料也是分等級(jí)的，包括A級(jí)、B級(jí)、S級(jí)，需要依客戶(hù)的規(guī)模和情況而定。河南手動(dòng)探針臺(tái)公司