晶圓探針測試臺是半導(dǎo)體工藝線上的中間測試設(shè)備，與測試儀連接后，能自動完成對集成電路及各種晶體管芯電參數(shù)和功能的測試。隨著對高性能、多功能、高速度、低功耗、小型化、低價格的電子產(chǎn)品的需求日益增長，這就要求在一個芯片中集成更多的功能并進一步縮小尺寸，從而大片徑和高效率測試將是今后晶圓探針測試臺發(fā)展的主要方向。因此，傳統(tǒng)的手動探針測試臺和半自動探針測試臺已經(jīng)不能滿足要求，取而代之的是高速度，高精度，高自動化，高可靠性的全自動晶圓探針測試臺。在探針臺上裝上打點器，打點器根據(jù)系統(tǒng)的信號來判斷是否給芯片打點標記。云南磁場探針臺報價

探針臺市場逐年增長：半導(dǎo)體測試對于良率和品質(zhì)控制至關(guān)重要，是必不可少的環(huán)節(jié)，主要涉及兩種測試（CP測試、FT測試等）、三種設(shè)備（探針臺、測試機、分選機等）。根據(jù)半導(dǎo)體產(chǎn)線投資配置規(guī)律，測試設(shè)備在半導(dǎo)體設(shè)備投資的占比約為8%，次于晶圓制造裝備，其中測試機、分選機、探針臺的占比分別為63.10%、17.40%、15.20%。中國半導(dǎo)體市場飛速增長。在全球貿(mào)易摩擦背景下，半導(dǎo)體行業(yè)國產(chǎn)化率提高成為必然趨勢，國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的投資規(guī)模持續(xù)擴大。北京探針臺報價縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異。

晶圓探針臺還可以在晶圓劃片線上執(zhí)行任何測試電路。一些公司從這些劃線測試結(jié)構(gòu)中獲得大部分有關(guān)器件性能的信息。當特定芯片的所有測試圖案都通過時，它的位置會被記住，以便以后在IC封裝過程中使用。有時，芯片有內(nèi)部備用資源可用于修復(fù)（即閃存IC）；如果它沒有通過某些測試模式，則可以使用這些備用資源。如果故障管芯的冗余是不可能的，則管芯被認為有故障并被丟棄。未通過電路通常在芯片中間用一個小墨水點標記，或者通過/未通過信息存儲在一個名為wafermap的文件中。該地圖通過使用bins對通過和未通過的die進行分類。然后將bin定義為好或壞的裸片。

通常，參數(shù)測試系統(tǒng)將電流或電壓輸入被測器件（DUT），然后測量該器件對于此輸入信號的響應(yīng)。這些信號的路徑為：從測試儀通過電纜束至測試頭，再通過測試頭至探針卡，然后通過探針至芯片上的焊點，到達被測器件，并后沿原路徑返回測試儀器。如果獲得的結(jié)果不盡如人意，問題可能是由測量儀器或軟件所致，也可能是其它原因造成。通常情況下，測量儀器引進一些噪聲或測量誤差。而更可能導(dǎo)致誤差的原因是系統(tǒng)的其它部件，其中之一可能是接觸電阻，它會受探針參數(shù)的影響，如探針的材料、針尖的直徑與形狀、焊接的材質(zhì)、觸點壓力、以及探針臺的平整度。此外，探針尖磨損和污染也會對測試結(jié)果造成極大的負面影響。某些針尖位置低的扎傷AL層，對后續(xù)封裝壓焊有影響。

在工藝方面，常用的測試探針是由針頭、針管、彈簧這三個組件構(gòu)成的，測試探針中的彈簧是測試探針使用壽命的關(guān)鍵因素，電鍍處理過的彈簧使用壽命高，不會生銹，也能提高測試探針是持久性和導(dǎo)電性。因此，電鍍工藝是生產(chǎn)半導(dǎo)體測試探針的主要技術(shù)，而國內(nèi)的電鍍工藝尚且有待突破。長期以來，國內(nèi)探針廠商均處于中低端領(lǐng)域，主要生產(chǎn)PCB測試探針、ICT測試探針等產(chǎn)品?？傮w來說，只要好的芯片、好的封測廠商才需要用到半導(dǎo)體測試探針，只有國內(nèi)好的芯片和測試遍地開花，整個產(chǎn)業(yè)足夠大，國產(chǎn)配套供應(yīng)商才能迅速成長起來。探針卡焊完后使針尖剛好回到壓點中心,同時針焊好后應(yīng)檢查針尖的位置，檢查針的牢固性。安徽芯片測試探針臺生產(chǎn)

探針卡沒焊到位，是因為焊錫時針受熱要稍微的收縮，使針尖偏離壓點區(qū)。云南磁場探針臺報價

探針（探針卡）：待測芯片需要測試探針的連接，才能與測試儀器建立連接。常見的有普通DC測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個探針臂并安裝在操縱器上。探針尖銳端尺寸和材料取決于被探測特征的尺寸和所需的測量類型。探針尖直接接觸被測件，探針臂應(yīng)與探針尖匹配。探針夾具及電纜組件：探針夾具用于夾持探針、并將探針連接至測量儀器。電纜組件用于轉(zhuǎn)接、延展探針夾具上的電纜組件。操縱器（定位器）：探針臺使用操縱器將探針放置在被測物上，它可以很容易地定位探針并快速固定它們。通常使用磁鐵或真空把它們固定在適當?shù)奈恢?。一旦固定，操縱器可以在X、Y和Z方向上精確定位探針尖銳端，并且在某些情況下提供旋轉(zhuǎn)運動。云南磁場探針臺報價