探針臺的分類：探針臺可以按照使用類型與功能來劃分，也可以按照操作方式來劃分成：手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。手動探針臺：手動探針臺系統(tǒng)顧名思義是手動控制的，這意味著晶圓載物臺和卡盤、壓盤、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒有很多待測器件需要測量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動探針臺。該類探針臺的優(yōu)點(diǎn)之一是只需要很少的培訓(xùn)，易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測試環(huán)境，并且不需要涉及額外培訓(xùn)和設(shè)置時間的電子設(shè)備、PC或軟件。探針尖接觸電阻即探針尖與焊點(diǎn)之間接觸時的層間電阻。云南芯片探針臺

探針臺可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個可調(diào)測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進(jìn)行科研分析，抽查測試等用途。探針臺是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu)，測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上，在顯微鏡配合下，X-Y移動器件，找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針(射頻或直流探針)，精確扎到被測點(diǎn)，從而使其訊號線與外部測試機(jī)導(dǎo)通，通過測試機(jī)測試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。云南芯片探針臺探針卡使用一段時間后，由于探針加工及使用過程中的微小差異導(dǎo)致所有探針不能在同一平面上會造成。

手動探針臺的使用方式：1.將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點(diǎn)移動至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測點(diǎn)在顯微鏡視場中心。5.確保針尖和被測點(diǎn)接觸良好后，則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試。常見故障的排除當(dāng)您使用本儀器時，可能會碰到一些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。手動探針臺技術(shù)參數(shù)。

探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。探針臺分類：探針臺從操作上來區(qū)分有：手動，半自動，全自動。從功能上來區(qū)分有：溫控探針臺，真空探針臺（低溫探針臺），RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應(yīng)探針臺，表面電阻率探針臺。經(jīng)濟(jì)手動型根據(jù)客戶需求定制：chuck尺寸：4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選）；X-Y移動行程：4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選）；chuck Z軸方向升降10mm（選項(xiàng)）方便探針與樣品快速分離；顯微鏡：金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡（可選）；顯微鏡移動方式：立柱環(huán)繞型、移動平臺型、龍門結(jié)構(gòu)型（可選）；探針座：有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開關(guān)；可搭配Probe card測試；適用領(lǐng)域：晶圓廠、研究所、高校等。盡管隨著探針壓力的增強(qiáng)，接觸電阻逐漸降低，終它會達(dá)到兩金屬的標(biāo)稱接觸電阻值。

自動化探針臺搭配測試機(jī)能夠?qū)Τ鰪S晶圓片的電氣參數(shù)、光學(xué)參數(shù)進(jìn)行測試，根據(jù)測試結(jié)果評定上一道工序的工藝質(zhì)量，并指導(dǎo)下一道工序。從全球市場看，半導(dǎo)體探針臺設(shè)備行業(yè)集中度較高，目前主要由國外廠商主導(dǎo)，行業(yè)呈現(xiàn)較高壟斷的競爭格局。鑒于自動化探針臺是光、機(jī)、電高度一體化的產(chǎn)品，國內(nèi)在這一方向研究幾乎為零，市場主要被一些國外的大公司壟斷。2017年投產(chǎn)X系列半自動探針臺并成功推向市場，成功填補(bǔ)國內(nèi)該研發(fā)生產(chǎn)領(lǐng)域的空白。上海勤確科技有限公司管理嚴(yán)格，服務(wù)超值。云南芯片探針臺

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滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)：由于運(yùn)動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高、摩擦力矩小，使用壽命長等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺應(yīng)放置在溫度23±3℃，濕度≤70％，無有害氣體的環(huán)境中，滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油，但不可過多，值得指出的是，這種結(jié)構(gòu)的工作臺在裝配過程中，從直線導(dǎo)軌的直線性，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復(fù)性，定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調(diào)整，用戶一般情況不能輕易改變，一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來的狀態(tài)，所以對需要調(diào)整的工作臺應(yīng)有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過培訓(xùn)的專業(yè)人員完成。云南芯片探針臺