磁場探針臺主要用于半導體材料、微納米器件、磁性材料、自旋電子器件及相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的電、磁學特性測試,能夠提供磁場或變溫環(huán)境,并進行高精度的直流/射頻測量。我們生產(chǎn)各類磁場探針臺,穩(wěn)定性強、功能多樣、可升級擴展,適用于各大高校、研究所及半導體行業(yè)的實驗研究和生產(chǎn)。詳細參數(shù):二維磁場探針臺,包含兩組磁鐵,可同時提供垂直與面內(nèi)磁場;面內(nèi)磁鐵極頭間距可根據(jù)樣品尺寸調(diào)整以獲得大的磁場,兼容性強;大兼容7組探針(4組RF,3組DC同時測試使用);Y軸提供大行程位移裝置,在不移動探針情況下快速抽拉更換樣品;配備樣品臺傾斜微調(diào)旋鈕,確保樣品平面平行于面內(nèi)磁場方向;至多支持7組探針同時放置:直流探針(3組)+微波探針(4組);XY軸位移行程±12.5 mm,T軸旋轉(zhuǎn)±5°;面內(nèi)磁場單獨施加時,磁場垂直分量優(yōu)于0.025%。探針臺廣泛應(yīng)用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)。江西控溫探針臺機構(gòu)
據(jù)SEMI數(shù)據(jù)統(tǒng)計,2020年及2021年,全球半導體測試設(shè)備市場規(guī)?;?qū)⒎謩e達到52.2億美元及56.1億美元。隨著國內(nèi)半導體技術(shù)的發(fā)展,多個晶圓廠及實驗室的建立,國內(nèi)探針臺市場規(guī)模2019年約為10.25億元,2022年將增長到15.69億元。隨著半導體行業(yè)的迅速發(fā)展,半導體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,復雜程度與日俱增,生產(chǎn)半導體產(chǎn)品所需的制造設(shè)備需要綜合運用機械、光學、物理、化學等學科技術(shù),具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點。探針臺屬于重要的半導體測試裝備,在整個半導體產(chǎn)業(yè)的多個環(huán)節(jié)起著重要作用,是晶圓廠和元器件封測企業(yè)的重要設(shè)備之一。隨著自動化技術(shù)的飛速發(fā)展,市場對自動化探針臺需求旺盛。北京磁場探針臺哪家好上海勤確科技有限公司擁有一批年輕、專業(yè)的員工。
平面電機x-y步進工作臺:平面電機由定子和動子組成,它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎(chǔ)平臺,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。而定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計要求如分辨力等,用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽,線槽間的距離即稱為平面電機的齒距,而定子則按不同的細分控制方式,按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現(xiàn)步進運動。
探針臺的作用是什么?探針臺可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測試儀器/半導體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導體器件。這些測試可以很簡單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復雜,包括微電路的完整功能測試。可以在將晶圓鋸成單個管芯之前或之后進行測試。在晶圓級別的測試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測試芯片器件,這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入終端產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯,這在封裝成本相對于器件成本高的應(yīng)用中很重要。探針臺還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析應(yīng)用。手動或者自動移動晶圓片,并通過探針卡實現(xiàn)這一部分的電子線路連接。
半自動探針臺主要應(yīng)用于需要精確運動、可重復接觸和采集大量數(shù)據(jù)的場合。一些公司也使用半自動探針系統(tǒng)來滿足其小批量生產(chǎn)要求。半自動探針系統(tǒng)的組成部件大部分與手動探針臺相似,但載物臺和控制裝置除外。晶圓載物臺通常是可編程的,并通過軟件與電子控制器來控制移動與方位。軟件為探針臺系統(tǒng)增加了很多功能,使用者可以通過軟件或機械操縱桿以各種速度向任何方向移動載物臺,程序可以設(shè)置映射以匹配器件,可以選擇要檢測的器件。典型的探針卡是一個帶有很多細針的印刷電路板。江西控溫探針臺機構(gòu)
盡管隨著探針壓力的增強,接觸電阻逐漸降低,終它會達到兩金屬的標稱接觸電阻值。江西控溫探針臺機構(gòu)
半自動型:chuck尺寸800mm/600mm;X,Y電動移動行程200mm/150mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm;可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡;針座擺放個數(shù)6~8顆;顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2";可搭配Probe card測試;適用領(lǐng)域:8寸/6寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品。電動型:chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不銹鋼或鍍金);X,Y電動移動行程300mm x 300mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm,微調(diào)精度土1u;可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡;針座擺放個數(shù)8~12顆;顯微鏡X-Y-Z移動范圍2“x2”x2“;材質(zhì):花崗巖臺面+不銹鋼;可搭配Probe card測試;適用領(lǐng)域:12寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品。江西控溫探針臺機構(gòu)