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探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個(gè)可調(diào)測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進(jìn)行科研分析,抽查測試等用途。探針臺是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu),測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動(dòng)器件,找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),精確扎到被測點(diǎn),從而使其訊號線與外部測試機(jī)導(dǎo)通,通過測試機(jī)測試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。隨著全球半導(dǎo)體行業(yè)市場規(guī)模不斷擴(kuò)大,半導(dǎo)體設(shè)備市場也呈增長趨勢。山西半自動(dòng)探針臺公司
相對于平面電機(jī)工作臺,絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜,工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)x、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺運(yùn)動(dòng),導(dǎo)向部分采用精密直線滾動(dòng)導(dǎo)軌。由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件,所以具有傳動(dòng)效率高、摩擦力矩小,使用壽命長等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺應(yīng)放置在溫度23±3℃,濕度≤70%,無有害氣體的環(huán)境中,滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油,但不可過多,值得指出的是,這種結(jié)構(gòu)的工作臺在裝配過程中,從直線導(dǎo)軌的直線性,上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復(fù)性。北京磁場探針臺服務(wù)探針尖磨損和污染也會對測試結(jié)果造成極大的負(fù)面影響。
全自動(dòng)探針臺相比手動(dòng)探針臺和自動(dòng)探針臺兩種添加了晶圓材料處理搬運(yùn)單元(MHU)和模式識別(自動(dòng)對準(zhǔn))。負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測試。可以24小時(shí)連續(xù)工作,通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。全自動(dòng)探針臺價(jià)格也是遠(yuǎn)比手動(dòng)/半自動(dòng)探針臺要昂貴。軟件為探針臺系統(tǒng)增加了很多功能,使用者可以通過軟件或機(jī)械操縱桿以各種速度向任何方向移動(dòng)載物臺,程序可以設(shè)置映射以匹配器件,可以選擇要檢測的器件。
x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng):無論是全自動(dòng)探針測試臺還是自動(dòng)探針測試臺,x-y向工作臺都是其很中心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的,所以對工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要?,F(xiàn)在小編只對自動(dòng)探針測試臺x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)作一一介紹。平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成,它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎(chǔ)平臺,動(dòng)子和定子間有一層氣墊,動(dòng)子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動(dòng)子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺,由于動(dòng)子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。平面電機(jī)應(yīng)使用在環(huán)境溫度15~25℃,相對濕度小于50%的環(huán)境中。
手動(dòng)探針臺應(yīng)用領(lǐng)域:Failure analysis集成電路失效分析;Wafer level reliability晶元可靠性認(rèn)證;Device characterization元器件特性量測;Process modeling塑性過程測試(材料特性分析);IC Process monitoring制成監(jiān)控;Package part probing IC封裝階段打線品質(zhì)測試;Flat panel probing液晶面板的特性測試;PC board probing PC主板的電性測試;ESD&TDR testing ESD和TDR測試;Microwave probing微波量測(高頻);Solar太陽能領(lǐng)域檢測分析;LED、OLED、LCD領(lǐng)域檢測分析。上海勤確科技有限公司一切從實(shí)際出發(fā)、注重實(shí)質(zhì)內(nèi)容。江蘇溫控探針臺供應(yīng)
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手動(dòng)探針臺的使用方式:待測點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢,以防動(dòng)作過大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測點(diǎn)上空時(shí),可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針,然后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng),觀察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸。確保針尖和被測點(diǎn)接觸良好后,則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試。常見故障的排除當(dāng)您使用本儀器時(shí),可能會碰到一些問題,下表列舉了常見的故障及解決方法。手動(dòng)探針臺技術(shù)參數(shù)。山西半自動(dòng)探針臺公司