晶圓測試是在半導(dǎo)體器件制造過程中執(zhí)行的一個步驟。在此步驟中,在將晶圓送至芯片準(zhǔn)備之前執(zhí)行,晶圓上存在的所有單個集成電路都通過對其應(yīng)用特殊測試模式來測試功能缺陷。晶圓測試由稱為晶圓探針器的測試設(shè)備執(zhí)行。晶圓測試過程可以通過多種方式進(jìn)行引用:晶圓終端測試(WFT)、電子芯片分類(EDS)和電路探針(CP)可能是很常見的。晶圓探針器是用于測試集成電路的機(jī)器(自動測試設(shè)備)。對于電氣測試,一組稱為探針卡的微觀觸點或探針被固定在適當(dāng)?shù)奈恢?,同時真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態(tài)。上海勤確科技有限公司秉承專業(yè)、科技、快捷、準(zhǔn)確、誠信的服務(wù)精神。青海芯片測試探針臺機(jī)構(gòu)
探針(探針卡):待測芯片需要測試探針的連接,才能與測試儀器建立連接。常見的有普通DC測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個探針臂并安裝在操縱器上。探針尖銳端尺寸和材料取決于被探測特征的尺寸和所需的測量類型。探針尖直接接觸被測件,探針臂應(yīng)與探針尖匹配。探針夾具及電纜組件:探針夾具用于夾持探針、并將探針連接至測量儀器。電纜組件用于轉(zhuǎn)接、延展探針夾具上的電纜組件。操縱器(定位器):探針臺使用操縱器將探針放置在被測物上,它可以很容易地定位探針并快速固定它們。通常使用磁鐵或真空把它們固定在適當(dāng)?shù)奈恢?。一旦固定,操縱器可以在X、Y和Z方向上精確定位探針尖銳端,并且在某些情況下提供旋轉(zhuǎn)運動。四川磁場探針臺服務(wù)近年來,半導(dǎo)體作為信息產(chǎn)業(yè)的基石和兵家必爭之地成為本輪貿(mào)易戰(zhàn)的焦點。
探針臺是檢測芯片的重要設(shè)備,在芯片的設(shè)計驗證階段,主要工作是檢測芯片設(shè)計的功能是否能夠達(dá)到芯片的技術(shù)指標(biāo),在檢測過程中會對芯片樣品逐一檢查,只有通過設(shè)計驗證的產(chǎn)品型號才會量產(chǎn)。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或?qū)iT的測試代工廠進(jìn)行,主要用到的設(shè)備為測試機(jī)和探針臺。半導(dǎo)體行業(yè)向來有“一代設(shè)備,一代工藝,一代產(chǎn)品”的說法。半導(dǎo)體設(shè)備價值普遍較高,一條先進(jìn)半導(dǎo)體生產(chǎn)線投資中,設(shè)備價值約占總投資規(guī)模的75%以上。隨著全球半導(dǎo)體行業(yè)市場規(guī)模不斷擴(kuò)大,半導(dǎo)體設(shè)備市場也呈增長趨勢。根據(jù)SEMI統(tǒng)計,全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額從2013年的318億美元增長至2018年的645億美元,年復(fù)合增長率約為15.2%,但受到半導(dǎo)體行業(yè)景氣度下滑及宏觀經(jīng)濟(jì)環(huán)境影響,2019年、2020年一季度增長有所下降,但預(yù)計疫病過后,將恢復(fù)增長。
滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng):由于運動部分全部采用滾動功能部件,所以具有傳動效率高、摩擦力矩小,使用壽命長等特點。這種結(jié)構(gòu)的工作臺應(yīng)放置在溫度23±3℃,濕度≤70%,無有害氣體的環(huán)境中,滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油,但不可過多,值得指出的是,這種結(jié)構(gòu)的工作臺在裝配過程中,從直線導(dǎo)軌的直線性,上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復(fù)性,定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調(diào)整,用戶一般情況不能輕易改變,一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來的狀態(tài),所以對需要調(diào)整的工作臺應(yīng)有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過培訓(xùn)的專業(yè)人員完成。半導(dǎo)體行業(yè)向來有“一代設(shè)備,一代工藝,一代產(chǎn)品”的說法。
手動探針臺規(guī)格描述(以實驗室常見的儀準(zhǔn)ADVANCED八寸,六寸探針臺為例):探針臺載物臺平整度:5μm探針臺右側(cè)標(biāo)配顯微鏡升降機(jī)構(gòu),可抬高顯微鏡,便于更換鏡頭和換待測物探針臺左側(cè)標(biāo)配升降器,可快速升降臺面8mm,并具備鎖定功能探針臺右下方標(biāo)配精調(diào)旋轉(zhuǎn)輪,可微調(diào)控制臺面升降范圍25mm(客戶有特殊需求,可以增大范圍),精度1μm6英寸或者8英寸載物盤可選,卡盤平整度:5μm,采用真空吸附方式,中心孔徑250μm-1mm定制卡盤可0-360度旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào),微調(diào)精度為0.1度,標(biāo)配角度鎖定旋鈕大螺母可控制載物盤X-Y方向的移動,移動范圍為150mm or 200mm,移動精度為1μm載物臺具備快速導(dǎo)入導(dǎo)出功能。探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的測試。天津手動探針臺多少錢
適用于對芯片進(jìn)行科研分析,抽查測試等用途。青海芯片測試探針臺機(jī)構(gòu)
探針臺由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。而定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計要求如分辨力等,用機(jī)加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽,線槽間的距離即稱為平面電機(jī)的齒距,而定子則按不同的細(xì)分控制方式,按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現(xiàn)步進(jìn)運動。對定子的損傷將直接影響工作臺的步進(jìn)精度及設(shè)備使用壽命,損壞嚴(yán)重將造成設(shè)備無法使用而報廢。由于平面電機(jī)的定子及動子是完全暴露在空氣中,所以潮濕的環(huán)境及長時期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象,另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷,而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命。青海芯片測試探針臺機(jī)構(gòu)