在實際應(yīng)用中,微型真空泵面臨的排氣狀況是不一樣的:一類是排氣很順暢,直通大氣;另一類是排氣阻力較大,比如在排氣管路上有閥、細小彎管、大阻尼傳感器、非專門用的消音器、在液面以下排氣、氣體排往密閉或半密閉容器等。在現(xiàn)代設(shè)計制造中,把面對不同排氣條件的微型真空泵區(qū)別對待。"排氣口允許較大阻力Por值"這一參數(shù)就是標定泵的排氣能力,讓我們可以用嚴格的技術(shù)手段確定選型是否恰當(dāng)。簡單地說,對于排氣阻力大的系統(tǒng),我們的選型范圍是:FM系列、FAA系列、PCF系列;對于排氣阻力小的系統(tǒng),選型范圍是:VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列。干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能,在歐美目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體等行業(yè)選擇真空獲得設(shè)備。小型真空泵哪家正規(guī)
為了使國產(chǎn)滑閥真空泵能夠進入國際市場,必須進一步降低泵的振動噪聲,杜絕噴油和漏油,提高滑閥泵長期運行的可靠性。隨著真空技術(shù)在各個應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴大,直聯(lián)旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數(shù)量很多,加工裝配工作量很大,價格又很低,所以有的國外真空廠商在中國建立專業(yè)廠。國產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過關(guān),價格又遠比國外的泵便宜,所以國產(chǎn)泵仍然有競爭優(yōu)勢,關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問題,確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定和運行可靠,同時還要進一步提高國產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力。小型真空泵哪家正規(guī)微型真空泵的介質(zhì)溫度問題。根據(jù)通過泵的介質(zhì)氣體的溫度,選擇要普通型的還是要高溫型的。
水環(huán)真空泵用小的結(jié)構(gòu)尺寸,可以獲得大的排氣量,占地面積也小。壓縮氣體基本上是等溫的,即壓縮氣體過程溫度變化很小。由于泵腔內(nèi)沒有金屬磨擦表面,無須對泵內(nèi)進行潤滑,而且磨損很小。轉(zhuǎn)動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。吸氣均勻,工作平穩(wěn)可靠,操作簡單,維修方便。水環(huán)式真空泵的缺點,效率低,一般在30%左右,較好的可達50%。真空度低,這不只是因為受到結(jié)構(gòu)上的限制,更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的,故可以抽除易燃、易爆的氣體。由于沒有排氣閥及摩擦表面,故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體和氣水混合物。有了這些突出的特點,盡管它效率低,仍然得到了普遍的應(yīng)用。
螺桿真空泵是利用一對螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備,它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品,能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合,在國內(nèi)各大制藥和化工企業(yè)得到普遍應(yīng)用。優(yōu)點是壽命長、能耗低、無油污染。兩螺桿經(jīng)精細動平衡校正,由軸承支撐,安裝在泵殼中,螺桿與螺桿之間都有一定的間隙,因此泵工作時,相互之間無磨擦,運轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,工作腔無需潤滑油,因此,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合,極限真空更高,消耗功率更低,具有節(jié)能,免維修等優(yōu)點。它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。在真空泵中,相對壓強即所測內(nèi)部壓強比“大氣壓”低多少壓強,表示出系統(tǒng)壓強實際數(shù)值低于大氣壓強的數(shù)值。
羅茨真空泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì),實際上也是屬于干泵。目前,這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機轉(zhuǎn)子動平衡。分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸汽被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。液環(huán)式真空泵是帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)。真空泵機組
液環(huán)泵屬于粗真空泵,在我國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域有著很大的市場。小型真空泵哪家正規(guī)
當(dāng)真空泵中的葉輪順時針方向旋轉(zhuǎn)時,水被葉輪拋向四周,由于離心力的作用,水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切,水環(huán)的上部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接觸(實際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度)。此時葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個月牙形空間,而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個小腔。如果以葉輪的下部0°為起點,那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時小腔的容積由小變大,且與端面上的吸氣口相通,此時氣體被吸入,當(dāng)吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕;當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時,小腔由大變小,使氣體被壓縮;當(dāng)小腔與排氣口相通時,氣體便被排出泵外。小型真空泵哪家正規(guī)
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