FFU風(fēng)機(jī)過濾單元在電子無塵凈化車間潔凈室的應(yīng)用

隨著科學(xué)技術(shù)的日新月異，促使?jié)崈艏夹g(shù)的發(fā)展也隨之突飛猛進(jìn)?，F(xiàn)代化工業(yè)生產(chǎn)和現(xiàn)代化科學(xué)實(shí)驗(yàn)活動要求微型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性。電子計(jì)算機(jī)就是微型化產(chǎn)品中代表性的產(chǎn)品之一，電子管到半導(dǎo)體分離器件到集成電路再到超大規(guī)模集成電路。特別是20世紀(jì)80年代大規(guī)模集成電路和超大集成電路的迅速發(fā)展，更是促進(jìn)潔凈技術(shù)的發(fā)展。

一、概念及原理FanFilterUnit風(fēng)機(jī)過濾單元機(jī)組簡稱FFU，是由高效過濾器（HEPA）、風(fēng)機(jī)、殼體組合而成的凈化空調(diào)末端，其用于亂流及層流潔凈室內(nèi)。FFU通常都是與吊頂骨架配合使用，根據(jù)吊頂骨架的不同選擇與之對應(yīng)的FFU。FFU可以實(shí)現(xiàn)潔凈度要求在ISO3∽ISO9（即1級∽100萬級）之間的潔凈室。

常見的潔凈室空氣處理方式有兩種，分別是MAU+AHU+HEPA（以下簡稱AHU系統(tǒng)）和MAU+FFU+DC干盤管（以下簡稱FFU系統(tǒng)）。通過對兩種方式的比較得出：FFU在凈化空調(diào)系統(tǒng)中充當(dāng)了凈化循環(huán)機(jī)組，潔凈室的循環(huán)風(fēng)量等于潔凈室內(nèi)FFU的風(fēng)量總和。潔凈室的空氣是由FFU從潔凈天花夾層中送進(jìn)潔凈室內(nèi)，并通過回風(fēng)夾道將循環(huán)空氣再送回到天花夾層；循環(huán)空氣在通過回風(fēng)夾道時與安裝在夾道中的DC干盤管進(jìn)行熱量交換。 FFU風(fēng)機(jī)凈化單元品牌-咨詢統(tǒng)鉅凈化設(shè)備成立近十五年，技術(shù)18年經(jīng)驗(yàn)，信用AAA級企業(yè)，通過ISO9001認(rèn)證。半導(dǎo)體設(shè)備FFU哪家質(zhì)量好

FFU系統(tǒng)控制在無塵室、潔凈室、凈化工程中的設(shè)計(jì)方式

無塵室、潔凈室、凈化工程由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成，由提供循環(huán)空氣的動力，將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層為負(fù)壓。FFU集成電路設(shè)計(jì)優(yōu)點(diǎn)：潔凈室面積可擴(kuò)大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等多數(shù)潔凈室要求環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等。FFU集成電路系統(tǒng)可以很好滿足這些要求。潔凈室按照回風(fēng)特點(diǎn)分為三個系統(tǒng)：

1.FFU循環(huán)系統(tǒng);

2.循環(huán)空調(diào)機(jī)配合高效送風(fēng)口系統(tǒng);

3.循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和。

FFU集成電路系統(tǒng)的三種類型

1.適合半導(dǎo)體制造業(yè)。FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進(jìn)行系統(tǒng)升級和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求。

2.適合小規(guī)模潔凈室的FFU循環(huán)系統(tǒng)在小規(guī)模低等級要求的潔凈室設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用，對于大面積高等級的潔凈室則存在運(yùn)行成本過高、占用空間過大等缺點(diǎn)。

3.全能型FFU循環(huán)系統(tǒng)這種形式的設(shè)計(jì)可以滿足集成電路制造潔凈室大面積高等級的要求，但運(yùn)行成本較高，并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級改造困難，因此操作靈活性很低。 304不銹鋼FFUFFU哪家好-咨詢上海統(tǒng)鉅凈化設(shè)備成立近十五年，技術(shù)18年經(jīng)驗(yàn)，信用AAA級企業(yè)，通過ISO9001認(rèn)證。

FFU空氣凈化器濾網(wǎng)多久更換一次

FFU空氣凈化器濾網(wǎng)包括初效濾網(wǎng)-防塵罩，高效濾網(wǎng)-HEPA濾網(wǎng)，活性炭濾網(wǎng)，防塵罩不用更換，活性炭一般也不要更換，主要是高效濾網(wǎng)-HEPA濾網(wǎng)，高效濾網(wǎng)-HEPA濾網(wǎng)是FFU空氣凈化器里****的，簡單的說,HEPA就是一種高密度濾網(wǎng)。它屬于被動式空氣凈化器的一種,主要是通過風(fēng)機(jī)、濾網(wǎng),將空氣中大于2.5微米的顆粒物質(zhì)、粉塵、細(xì)菌、病毒進(jìn)行有效的攔截,HEPA濾網(wǎng)的優(yōu)點(diǎn)在于過濾效果比較明顯,但是使用材質(zhì)的損耗很大,需要及時的進(jìn)行更換,如果沒有及時的更換,反倒會讓攔截在濾網(wǎng)上的細(xì)菌和病毒滋生,形成二次的污染。那么HEPA使用多久更換合適呢,有沒有大概的估計(jì)值呢?

關(guān)鍵根據(jù)使用頻率來的，F(xiàn)FU空氣凈化器家用，***正常開機(jī)按10小時計(jì)算，建議高效網(wǎng)可以2-3年更換一次，顆?；钚蕴烤W(wǎng)一年更換一次，初效網(wǎng)清理清潔后重復(fù)使用，**是每1個月更換一次初效，這樣可以更好的保護(hù)后端的活性炭和高效過濾器，延長他們的使用壽命（重復(fù)使用但不建議重復(fù)使用超過2-3次后就要更換新的，因?yàn)槊壳鍧嵰淮危淅w維就會受損一次，密度梯度會改變，過濾會受影響）。像活性炭網(wǎng)可以一個月左右的時間放在太陽下面暴曬3-5小時，吸附甲醛、TVOC等效果會更好。

負(fù)壓稱量罩結(jié)構(gòu)說明:負(fù)壓稱量室由機(jī)箱、送風(fēng)高效過濾器、排氣高效過濾器、可變風(fēng)量風(fēng)機(jī)組、PLC控制系統(tǒng)和傳感系統(tǒng)等幾大部件組成。機(jī)箱采用拉絲無指紋不銹鋼SUS304制作，鈑金一體折彎制作而成，美觀潔凈，易于清潔消毒。負(fù)壓稱量罩采用了可調(diào)風(fēng)量的風(fēng)機(jī)系統(tǒng)和不銹鋼風(fēng)速傳感器，通過調(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)的工作工況，可使?jié)崈艄ぷ鲄^(qū)中的平均風(fēng)速保持在設(shè)定0.45m/s的范圍內(nèi)。負(fù)壓稱量罩氣流流形為垂直上送側(cè)回?？諝庾陨隙碌牧鲃咏?jīng)工作區(qū)，將工作中產(chǎn)生的飛揚(yáng)粉塵壓迫至側(cè)下方的初效、中效和袋進(jìn)袋出裝置中，空氣由風(fēng)機(jī)抽至高效過濾器靜壓箱內(nèi)，一部分通過高效過濾器送回室內(nèi)工作區(qū)，另一部分通過排氣過濾器排至工作區(qū)外，內(nèi)形成負(fù)壓。負(fù)壓稱量罩配有四個壓差傳感器：室內(nèi)外負(fù)壓、袋進(jìn)袋出阻力、送風(fēng)高效阻力、排氣高效阻力，配有風(fēng)速傳感器，采用西門子PLC控制器在線動態(tài)控制稱量室工作狀態(tài)，偏離設(shè)定工作狀態(tài)自動校正，校正仍然有偏離報(bào)警功能。DOP層流罩廠家-咨詢統(tǒng)鉅凈化設(shè)備成立近十五年，技術(shù)18年經(jīng)驗(yàn)，信用AAA級企業(yè)，通過ISO9001認(rèn)證。

負(fù)壓稱量罩性能確認(rèn)之風(fēng)速及均勻度：

負(fù)壓稱量罩的保護(hù)作用是靠一定風(fēng)速的良好氣流形成的，只有均勻的送、回風(fēng)采能形成良好的氣流，且只有一定的風(fēng)速才能達(dá)到遏制塵埃擴(kuò)散的效果。A,送風(fēng)使用經(jīng)校準(zhǔn)的風(fēng)速儀在出風(fēng)面正下方5-15cm處測量分別在每個均流膜面板取點(diǎn)測試。每個膜面取5點(diǎn)，并計(jì)算平均值及風(fēng)量。判斷標(biāo)準(zhǔn)：送風(fēng)風(fēng)速0.36-0.54m/s,每個膜面的平均速度同樣在總平均速度10%誤差以內(nèi)。另，任一點(diǎn)都沒有偏離其所屬膜面均值的12%。B，回風(fēng)使用經(jīng)過校準(zhǔn)的風(fēng)速儀在離回風(fēng)格柵3-5cm處測量回風(fēng)速度。每個回風(fēng)格柵取5點(diǎn)，并計(jì)算平均值。判斷標(biāo)準(zhǔn)：每部分的平均速度在總平均值10%誤差范圍以內(nèi)，并且任一個數(shù)據(jù)都沒有超過其所在格柵風(fēng)速均值的12%。 風(fēng)機(jī)過濾單元廠家-咨詢統(tǒng)鉅凈化設(shè)備成立近十五年，技術(shù)18年經(jīng)驗(yàn)，信用AAA級企業(yè)，通過ISO9001認(rèn)證。304不銹鋼FFU

吊頂式層流罩哪家好-咨詢統(tǒng)鉅凈化設(shè)備成立近十五年，技術(shù)18年經(jīng)驗(yàn)，信用AAA級企業(yè)，通過ISO9001認(rèn)證。半導(dǎo)體設(shè)備FFU哪家質(zhì)量好

潔凈棚里的FFU多久更換一次高效過濾器?

潔凈棚里面配置FFU使用的高效過濾器其實(shí)就裝在頂部的出風(fēng)位置，也就是FFU自帶的高效過濾器，那么多久就要更換一次呢?對于潔凈棚里的FFU多久更換一次高效過濾器這個問題，大部分人也沒有一個統(tǒng)一的答案，大部分業(yè)內(nèi)人士都是認(rèn)為，潔凈棚里的FFU高效過濾器使用壽命和一般的潔凈室高效過濾器一樣，都是根據(jù)其自身的使用情況?，F(xiàn)潔凈房根據(jù)業(yè)內(nèi)數(shù)據(jù)分享一下統(tǒng)計(jì)結(jié)果：潔凈棚FFU高效過濾器一般在1-2年左右就要考慮更換；當(dāng)然對于高等級的潔凈棚可能就要適當(dāng)提前，一般在不超過一年就要考慮更換了。 半導(dǎo)體設(shè)備FFU哪家質(zhì)量好