微納制造包括微制造和納制造兩個方面。(1)微制造有兩種不同的微制造工藝方式，一種是基于半導體制造工藝的光刻技術、LIGA技術、鍵合技術、封裝技術等，這些工藝技術方法較為成熟，但普遍存在加工材料單一、加工設備昂貴等問題，且只能加工結構簡單的二維或準三維微機械零件，無法進行復雜的三維微機械零件的加工；另一種是機械微加工，是指采用機械加工、特種加工及其他成形技術等傳統(tǒng)加工技術形成的微加工技術，可進行三維復雜曲面零件的加工，加工材料不受限制，包括微細磨削、微細車削、微細銑削、微細鉆削、微沖壓、微成形等。(2)納制造納制造是指具有特定功能的納米尺度的結構、器件和系統(tǒng)的制造技術，包括納米壓印技術、刻劃技術、原子操縱技術等。新一代微納制造系統(tǒng)應滿足的要求：具有微納特性的組件的小型化連續(xù)生產(chǎn)。河北功率器件微納加工公司

仿生學是近年來發(fā)展起來的一門工程技術與生物科學相結合的交叉學科。仿生學研究生物體的結構、功能和工作原理，并將這些原理移植于工程技術之中，試圖在技術上模仿植物和動物在自然中的功能，發(fā)明性能優(yōu)越的儀器、裝置和機器，創(chuàng)造新技術。就聚合物仿生功能材料而言，在聚合物材料表面加工出不同形式的微納結構就會賦予材料不同的性能。超疏水表面是指水滴在表面的接觸角大于150°，同時滾動角小于10°的一種特殊表面。在過去的20年里，超疏水表面誘人的潛在應用價值已經(jīng)引起了科學家們極大的興趣。自然界中，荷葉表面是超疏水的典型象征，其表面的接觸角高達160°。展示了荷葉的超疏水效果及其表面微觀結構。荷葉表面的這種超疏水特性是由微米乳突和低表面能的蠟狀晶體共同引起的。通過在聚合物材料表面構建類荷葉狀的周期性微納米結構可以獲得具有優(yōu)異超疏水性能的聚合物制品，可用于汽車后視鏡等有防水防霧需求的場合。湖南光電器件微納加工平臺在微納加工過程中，蒸發(fā)沉積和濺射沉積是典型的物理方法，主要用于沉積金屬單質薄膜、合金薄膜、化合物等。

微納制造技術的發(fā)展，同樣涉及到科研體系問題。嚴格意義上來說，科研分為三個領域，一個是基礎研究領域，一個是工程化應用領域，一個是市場推廣領域。在發(fā)達國家的科研機制中。幾乎所有的基礎研究領域都是由國家或機構直接或間接支持的。這種基礎研究較看重的是對于國家、民生或**的長遠意義．而不是短期內的投入與產(chǎn)出。因而致力于基礎研究的機構或者人員。根本不用考慮研究的所謂“市場化”問題。而只是進行基礎、理論的研究。另一方面。工程化應用領域由專門的機構或職能部門負責，這些部門從應用領域、生產(chǎn)領域、制造領域抽調**、學者及相關專業(yè)人員，對基礎研究的市場應用前景進行分析，并提出可行性建議，末尾由市場或企業(yè)來進行工程化應用研究。末尾市場化推廣的問題自然是企業(yè)來做了。中國的高校和研究機構，做純理念和純基礎的并不多，中國大多是工程性項目研究。其理想模式為高校、研究所、企業(yè)三結合狀態(tài)，各司其職，各負其責。微納技術是繼JT、生物之后。21世紀較具發(fā)展?jié)摿Φ母咝录夹g，是未來十年高增長的新興產(chǎn)業(yè)。

微流控芯片是在普通毛細管電泳的基本原理和技術的基礎上，利用微加工技術在硅、石英、玻璃或高分子聚合物基質材料上加工出各種微細結構，如管道、反應池、電極之類的功能單元，完成生物和化學等領域中所涉及的樣品制備、生化反應、處理（混合、過濾、稀釋）、分離檢測等一系列任務，具有快速、高效、低耗、分析過程自動化和應用范圍廣等特點的微型分析實驗裝置。目前已成為微全分析系統(tǒng)（micrototalanalysissystems,μ-TAS）和芯片實驗室（labonachip）的發(fā)展重點和前沿領域。為常見的聚合物微流控芯片形式。近年來，由于生化分析的復雜性和多樣性需求，微流控芯片技術的發(fā)展愈發(fā)趨于組合化和集成化，在一塊芯片基片上集成多種功能單元成為一種常見形式，普遍應用于醫(yī)學診斷、醫(yī)學分析、藥物篩選、環(huán)境監(jiān)測和燃料電池技術等諸多領域。基于高通量快速分離的需要，多通道陣列并行操作是微流控芯片的發(fā)展的趨勢，芯片微通道數(shù)量已從較初的12通道、96通道，發(fā)展到現(xiàn)在的384通道。微納加工包括光刻、磁控濺射、電子束蒸鍍、濕法腐蝕、干法腐蝕、表面形貌測量等。

無論是大批量還是小規(guī)模生產(chǎn)定制產(chǎn)品，都需要開發(fā)新一代的模塊化、知識密集的、可升級的和可快速配置的生產(chǎn)系統(tǒng)。而這將用到那些新近涌現(xiàn)出來的微納技術研究成果以及新的工業(yè)生產(chǎn)理論體系。給出了微納制造系統(tǒng)與平臺的發(fā)展前景。未來幾年微納制造系統(tǒng)和平臺的發(fā)展前景包括以下幾個方面：（1）微納制造系統(tǒng)的設計、建模和仿真；（2）智能的、可升級的和適應性強的微納制造系統(tǒng)（工藝、設備和工具集成）；（3）新型靈活的、模塊化的和網(wǎng)絡化的系統(tǒng)結構，以構筑基于制造的知識。提高微納加工技術的加工能力和效率是未來微納結構及器件研究的重點方向。山西MEMS微納加工技術

高精度的微細結構通過控制聚焦電子束（光束）移動書寫圖案進行曝光。河北功率器件微納加工公司

在過去的幾年中，全球各地的研究機構和大學已開始集中研究微觀和納米尺度現(xiàn)象、器件和系統(tǒng)。雖然這一領域的研究產(chǎn)生了微納制造方面的先進知識，但比較顯然，這些知識的產(chǎn)業(yè)應用將是增強這些技術未來增長的關鍵。雖然在這些領域的大規(guī)模生產(chǎn)方面已經(jīng)取得了進步，但微納制造技術的主要生產(chǎn)環(huán)境仍然是停留在實驗室中，在企業(yè)的大規(guī)模生產(chǎn)環(huán)境中難得一見。這就導致企業(yè)在是否采用這些技術方面猶豫不決，擔心它們可能引入未知因素，影響制造鏈的性能與質量。就這一點而言，投資于基礎設施的發(fā)展，如更高的模塊化、靈活性和可擴展性可能會有助于生產(chǎn)成本的減少，對于新生產(chǎn)平臺成功推廣至關重要。這將有助于吸引產(chǎn)業(yè)界的積極參與，與率先的研究實驗室一起推動微納產(chǎn)品的不斷升級換代。河北功率器件微納加工公司