微納加工中，材料濕法腐蝕是一個常用的工藝方法。材料的濕法化學(xué)刻蝕，包括刻蝕劑到達(dá)材料表面和反應(yīng)產(chǎn)物離開表面的傳輸過程，也包括表面本身的反應(yīng)。半導(dǎo)體技術(shù)中的許多刻蝕工藝是在相當(dāng)緩慢并受速率控制的情況下進(jìn)行的，這是因?yàn)楦采w在表面上有一污染層。污染層厚度常有幾微米，如果化學(xué)反應(yīng)有氣體逸出，則此層就可能破裂。濕法刻蝕工藝常常有反應(yīng)物產(chǎn)生，這種產(chǎn)物受溶液的溶解速率的限制。為了使刻蝕速率提高，常常使溶液攪動，因?yàn)閿噭釉鰪?qiáng)了外擴(kuò)散效應(yīng)。多晶和非晶材料的刻蝕是各向異性的。然而，結(jié)晶材料的刻蝕可能是各向同性，也可能是各向異性的，它取決于反應(yīng)動力學(xué)的性質(zhì)。晶體材料的各向同性刻蝕常被稱作拋光刻蝕，因?yàn)樗鼈儺a(chǎn)生平滑的表面。各向異性刻蝕通常能顯示晶面，或使晶體產(chǎn)生缺陷。因此，可用于化學(xué)加工，也可作為結(jié)晶刻蝕劑。新一代微納制造系統(tǒng)應(yīng)滿足的要求：具有微納特性的組件的小型化連續(xù)生產(chǎn)。浙江鍍膜微納加工工廠

“納米制造”路線圖強(qiáng)調(diào)了未來納米表面制造的發(fā)展。問卷調(diào)查探尋了納米表面制備所面臨的機(jī)遇。調(diào)查中提出的問題旨在獲取納米表面特征的相關(guān)信息：這種納米表面結(jié)構(gòu)可以是形貌化、薄膜化的改良表面區(qū)域，也可以是具有相位調(diào)制或一定晶粒尺寸的涂層。這類結(jié)構(gòu)構(gòu)建于眾多固體材料表面，如金屬、陶瓷、玻璃、半導(dǎo)體和聚合物等。總結(jié)了調(diào)查結(jié)果與發(fā)現(xiàn)，并闡明了未來納米表面制造的前景。納米表面可產(chǎn)生自材料的消解、沉積、改性或形成過程。這導(dǎo)致制備出的納米表面帶有納米尺度所特有的新的化學(xué)、物理和生物特性（比如催化作用、磁性質(zhì)、電性質(zhì)、光學(xué)性質(zhì)或抗細(xì)菌性）。在納米科學(xué)許多已有的和新興的子領(lǐng)域中，表面工程已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了從基礎(chǔ)科學(xué)向現(xiàn)實(shí)應(yīng)用的轉(zhuǎn)變，比如材料科學(xué)、光學(xué)、微電子學(xué)、動力工程學(xué)、傳感系統(tǒng)和生物工程學(xué)等。在改進(jìn)和簡化生產(chǎn)過程方面，還需要做許多工作才能降低***納米表面的生產(chǎn)成本。可重復(fù)性、尺寸形狀的控制、均勻性以及結(jié)構(gòu)的魯棒性等，都是工業(yè)生產(chǎn)過程中必須要考慮的關(guān)鍵參數(shù)。浙江鍍膜微納加工工廠微納加工平臺支持基礎(chǔ)信息器件與系統(tǒng)等多領(lǐng)域、交叉學(xué)科，開展前沿信息科學(xué)研究和技術(shù)開發(fā)。

平臺目前已配備各類微納加工和表征測試設(shè)備50余臺套，擁有一條相對完整的微納加工工藝線，可制成2-6英寸樣品，涵蓋了圖形發(fā)生、薄膜制備、材料刻蝕、表征測試等常見的工藝段，可以進(jìn)行常見微納米結(jié)構(gòu)和器件的加工，極限線寬達(dá)到600納米，材料種類包括硅基、化合物半導(dǎo)體等多種類型材料，可以有力支撐多學(xué)科領(lǐng)域的半導(dǎo)體器件加工以及微納米結(jié)構(gòu)的表征測試需求。微納加工平臺支持基礎(chǔ)信息器件與系統(tǒng)等多領(lǐng)域、交叉學(xué)科，開展前沿信息科學(xué)研究和技術(shù)開發(fā)。作為開放共享服務(wù)平臺，支撐的研究領(lǐng)域包括新型器件、柔性電子器件、微流體、發(fā)光芯片、化合物半導(dǎo)體、微機(jī)電器件與系統(tǒng)（MEMS）等。以高效、創(chuàng)新、穩(wěn)定、合作共贏的合作理念，歡迎社會各界前來合作。

獲得或保持率先競爭對手的優(yōu)勢將維持強(qiáng)勁的經(jīng)濟(jì)、提供動力以滿足社會需求，而微納制造技術(shù)能力正在成為這其中的關(guān)鍵使能因素。微納制造技術(shù)可以幫助企業(yè)、產(chǎn)業(yè)形成競爭優(yōu)勢。得益于私營部門和公共部門之間的合作，它們的快速發(fā)展提升了許多不同應(yīng)用領(lǐng)域的歐洲公司的市場份額，促進(jìn)了協(xié)作研究。需要強(qiáng)調(diào)的，產(chǎn)業(yè)界和學(xué)術(shù)界的合作在增加公司的市場實(shí)力上發(fā)揮了重要作用；這種合作使得那些阻礙創(chuàng)新、新技術(shù)與高水平的教育需求等進(jìn)展的問題的解決變得更為容易。微納加工技術(shù)能突顯一個國家工業(yè)發(fā)展水平。

研究應(yīng)著眼于開發(fā)一種新型的可配置、可升級的微納制造平臺和系統(tǒng)，以降低大批量或是小規(guī)模定制產(chǎn)品的生產(chǎn)成本。新一代微納制造系統(tǒng)應(yīng)滿足下述要求：（1）能生產(chǎn)多種多樣高度復(fù)雜的微納產(chǎn)品；（2）具有微納特性的組件的小型化連續(xù)生產(chǎn)；（3）為了掌握基于整個生產(chǎn)加工鏈制造的知識，新設(shè)計(jì)和仿真系統(tǒng)的產(chǎn)品開發(fā)過程的全部跨學(xué)科知識進(jìn)行條理化和儲存；（4）為了保證生產(chǎn)的靈活性和適應(yīng)性，應(yīng)確保在分布式制造中各企業(yè)的有效合作，以支撐通過新型商業(yè)生產(chǎn)、管理和物流方法來實(shí)現(xiàn)的中小型企業(yè)在綜合制造網(wǎng)絡(luò)中的有效整合；（5）是一個擁有更高級的智能和可靠性、可根據(jù)相應(yīng)環(huán)境自行調(diào)整設(shè)置及生產(chǎn)加工參數(shù)的、可嵌入整個生產(chǎn)制造行業(yè)的制造系統(tǒng)；（6）新型可快速配置和價(jià)格適中的微納制造系統(tǒng)，融入了面向任務(wù)和可重復(fù)配置的理念，能夠?qū)崿F(xiàn)連續(xù)的系統(tǒng)升級和無縫重復(fù)配置。微納制造技術(shù)是由零件構(gòu)成的部件或系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、加工、組裝、集成與應(yīng)用技術(shù)。浙江鍍膜微納加工工廠

微納加工設(shè)備主要有：光刻、刻蝕、成膜、離子注入、晶圓鍵合等。浙江鍍膜微納加工工廠

眾所周知，微納米技術(shù)是我國貫徹落實(shí)“中國制造2025”和“中國創(chuàng)新2030”的重要舉措與中心技術(shù)需求，是促進(jìn)制造業(yè)高級化、綠色化、智能化的重要基礎(chǔ)?；谖矬w微米、納米尺度獨(dú)特的物理和化學(xué)特性，研制新材料、新工藝、新器件的微納制造技術(shù)，已經(jīng)成為戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)中心技術(shù)，必將對21世紀(jì)的航空、航天、信息科學(xué)、生命科學(xué)和健康保健、汽車工業(yè)、仿生機(jī)器人、交通、家具生活等領(lǐng)域產(chǎn)生深遠(yuǎn)的影響。推進(jìn)微納制造技術(shù)產(chǎn)業(yè)化落地，探討產(chǎn)業(yè)化路徑，遴選優(yōu)良產(chǎn)業(yè)化示范項(xiàng)目。浙江鍍膜微納加工工廠