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閔行區(qū)常見(jiàn)真空搬運(yùn)機(jī)生產(chǎn)廠家

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-05-02

    搬運(yùn)系統(tǒng)100也能夠應(yīng)用于除半導(dǎo)體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備,物品2可以是由用于設(shè)置搬運(yùn)系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品。在本實(shí)施方式中,搬運(yùn)系統(tǒng)100在配置于第1、第二裝置區(qū)域ta1、ta2的第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、以及后述的第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之間搬運(yùn)物品2。第1、第二處理裝置tl1、tl2例如是曝光裝置、涂布顯影裝置、制膜裝置、或者蝕刻裝置等,對(duì)收容于搬運(yùn)系統(tǒng)100所搬運(yùn)的物品2的半導(dǎo)體晶圓實(shí)施各種處理。各第1、第二處理裝置tl1、tl2分別具備兩處裝載端口lp。圖2是表示第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的一個(gè)例子的圖。在圖2中表示從+x側(cè)觀察第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的情況的一個(gè)例子。如圖1和圖2所示,第1處理裝置tl1在設(shè)定于制造工廠等的地板部的第1裝置區(qū)域ta1內(nèi)沿一個(gè)方向(y方向)排列配置。第二處理裝置tl2在第二裝置區(qū)域ta2內(nèi)沿一個(gè)方向(y方向)排列配置。第1、第二裝置區(qū)域ta1、tl2分別沿x方向配置多個(gè)。沿y方向排列的多個(gè)第1、第二處理裝置tl1、tl2沿x方向設(shè)置多列。此外,多個(gè)第1、第二處理裝置tl1、tl2的配置是一個(gè)例子,也可以是其他配置。另外。江寧區(qū)象鼻子真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家!閔行區(qū)常見(jiàn)真空搬運(yùn)機(jī)生產(chǎn)廠家

    并在第二處理裝置tl2的裝載端口lp、第二保管部20b、以及第二交接端口30b之間搬運(yùn)物品2。例如,在通過(guò)高架搬運(yùn)車(chē)50將物品2載置于第1交接端口30a或者第二交接端口30b的情況下,第1起重機(jī)40a能夠移動(dòng)至第1交接端口30a而通過(guò)第1移送部44a(參照?qǐng)D4)接收物品2,第二起重機(jī)40b能夠移動(dòng)至第二交接端口30b而通過(guò)第二移送部44b(參照?qǐng)D4)接收物品2。其后,第1起重機(jī)40a能夠行駛至第1處理裝置tl1的裝載端口lp或者第1保管部20a,將物品2載置于第1處理裝置tl1的裝載端口lp或者第1保管部20a。另外,第1起重機(jī)40a能夠通過(guò)第1移送部44a接收被第1保管部20a保管的物品2,行駛至第1處理裝置tl1的裝載端口lp或者第1交接端口30a,通過(guò)第1移送部44a將物品2載置于第1處理裝置tl1的裝載端口lp或者第1交接端口30a。第二起重機(jī)40b能夠行駛至第二處理裝置tl2的裝載端口lp或者第二保管部20b,將物品2載置于第二處理裝置tl2的裝載端口lp或者第二保管部20b。另外,第二起重機(jī)40b能夠通過(guò)第二移送部44b接收被第二保管部20b保管的物品2,行駛至第二處理裝置tl2的裝載端口lp或者第二交接端口30b,通過(guò)第二移送部44b將物品2載置于第二處理裝置tl2的裝載端口lp或者第二交接端口30b。另外。秦淮區(qū)粉塵真空搬運(yùn)機(jī)原理六合區(qū)包裝袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家!

    前端活動(dòng)架位于中間活動(dòng)板的前端側(cè),中間活動(dòng)板與固定安裝豎板之間裝設(shè)有呈水平橫向布置的水平導(dǎo)軌副,前端活動(dòng)架與中間活動(dòng)板之間裝設(shè)有呈豎向布置的豎向?qū)к壐?,前端活?dòng)架的下端部裝設(shè)有吸盤(pán)安裝架,吸盤(pán)安裝架裝設(shè)有真空吸盤(pán);固定安裝豎板的前表面開(kāi)設(shè)有呈“n”形狀的活動(dòng)槽,前端活動(dòng)架螺裝有活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)塊,活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)塊裝設(shè)有活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸,活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸伸入至固定安裝豎板的活動(dòng)槽內(nèi)且活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸裝設(shè)有嵌插于活動(dòng)槽內(nèi)的軸承;固定安裝豎板的后表面裝設(shè)有機(jī)械手驅(qū)動(dòng)電機(jī),機(jī)械手驅(qū)動(dòng)電機(jī)的動(dòng)力輸出軸裝設(shè)有位于活動(dòng)槽旁側(cè)且用于撥動(dòng)活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸動(dòng)作的驅(qū)動(dòng)軸撥動(dòng)塊。通過(guò)上述結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),本實(shí)用新型具有設(shè)計(jì)新穎、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、穩(wěn)定可靠性好的優(yōu)點(diǎn)。附圖說(shuō)明下面利用附圖來(lái)對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步的說(shuō)明,但是附圖中的實(shí)施例不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的任何限制。圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型另一視角的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本實(shí)用新型的分解示意圖。

    高架搬運(yùn)車(chē)50能夠從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12針對(duì)交接端口130進(jìn)行物品2的交接,并且,也能夠從第1區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14針對(duì)交接端口130進(jìn)行物品2的交接。其結(jié)果是,第1區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14的高架搬運(yùn)車(chē)50能夠以不進(jìn)入第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的方式通過(guò)交接端口130在與第1、第二起重機(jī)40a、40b之間進(jìn)行物品2的交接。第1起重機(jī)40a在第1保管區(qū)域sa1搬運(yùn)物品2。第二起重機(jī)40b在第二保管區(qū)域sa2搬運(yùn)物品2。圖4是表示第1、第二起重機(jī)40a、40b的一個(gè)例子的圖。如圖4所示,第1、第二起重機(jī)40a、40b使用懸掛式起重機(jī)。由于第1、第二起重機(jī)40a、40b是懸掛式起重機(jī),因此無(wú)需在與第1、第二起重機(jī)40a、40b對(duì)應(yīng)的地上側(cè)(地板面?zhèn)?設(shè)置軌道,從而能夠以低成本設(shè)置起重機(jī)用的軌道。如圖4所示,第1、第二起重機(jī)40a、40b分別具備第1、第二行駛部41a、41b、第1、第二桅桿42a、42b、以及第1、第二移送部44a、44b。第1、第二移送部44a、44b分別具備第1、第二升降臺(tái)43a、43b、第1、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b。第1行駛部41a具備未圖示的行駛驅(qū)動(dòng)部和多個(gè)車(chē)輪71a(參照?qǐng)D6),并沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11行駛。雨花臺(tái)區(qū)糖袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家!

    供電部70具有供電導(dǎo)軌75、和設(shè)置于供電導(dǎo)軌75的非接觸供電線76。供電部70配置于頂棚軌道10的下方,并沿著頂棚軌道10連續(xù)設(shè)置或者間斷設(shè)置。另外,在第1、第二起重機(jī)40a、40b的安裝部46和高架搬運(yùn)車(chē)50的安裝部52a設(shè)置有電力接收部73。電力接收部73經(jīng)由非接觸供電線76接收電力,并向行駛部主體71b等供給電力。如圖1所示,控制裝置60統(tǒng)一控制搬運(yùn)系統(tǒng)100??刂蒲b置60通過(guò)無(wú)線或者有線的通信來(lái)控制第1、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車(chē)50的動(dòng)作。此外,控制裝置60也可以分割為控制第1、第二起重機(jī)40a、40b的控制裝置、和控制高架搬運(yùn)車(chē)50的控制裝置。另外,也可以通過(guò)不同的控制裝置來(lái)控制第1起重機(jī)40a與第二起重機(jī)40b。在上述的搬運(yùn)系統(tǒng)100中,第1起重機(jī)40a在第1保管區(qū)域sa1內(nèi)搬運(yùn)物品2。例如,第1起重機(jī)40a沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11朝向一個(gè)方向,例如圖1中的逆時(shí)針的方向行駛,并在第1處理裝置tl1的裝載端口lp、第1保管部20a、以及第1交接端口30a之間搬運(yùn)物品2。第二起重機(jī)40b在第二保管區(qū)域sa2內(nèi)搬運(yùn)物品2。例如,第二起重機(jī)40b沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12朝向一個(gè)方向,例如圖1中的逆時(shí)針的方向行駛。溧水區(qū)室內(nèi)深加工真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家!黃浦區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)

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    控制裝置60針對(duì)高架搬運(yùn)車(chē)50進(jìn)行指示以將第1保管區(qū)域sa1的第1交接端口30a的物品2搬運(yùn)至第二保管區(qū)域sa2的第二交接端口30b。高架搬運(yùn)車(chē)50沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11移動(dòng)至第1交接端口30a,使橫向伸出機(jī)構(gòu)55向-x方向或者+x方向突出,驅(qū)動(dòng)升降驅(qū)動(dòng)部54并通過(guò)保持部53保持第1交接端口30a的物品2。此外,高架搬運(yùn)車(chē)50根據(jù)來(lái)自控制裝置60等的信息,獲取接收到的物品2的搬運(yùn)目的地亦即第二保管區(qū)域sa2的第二交接端口30b的位置信息(地址)。接下來(lái),高架搬運(yùn)車(chē)50維持將物品2保持的狀態(tài)地在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11上沿順時(shí)針的方向行駛,從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a經(jīng)由第二連接軌道16的出口部16b(參照?qǐng)D1)向第二區(qū)段間頂棚軌道14移動(dòng)。此外,第二連接軌道16的截面形狀與第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11和第二區(qū)段間頂棚軌道14相同或者大致相同(參照?qǐng)D6),因此高架搬運(yùn)車(chē)50能夠從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11無(wú)障礙地移動(dòng)至第二區(qū)段間頂棚軌道14。接下來(lái),高架搬運(yùn)車(chē)50在第二區(qū)段間頂棚軌道14上朝向+x方向行駛,從第二區(qū)段間頂棚軌道14經(jīng)由第二連接軌道16的入口部16a向第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12移動(dòng)。其后,高架搬運(yùn)車(chē)50在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12上環(huán)繞行駛。閔行區(qū)常見(jiàn)真空搬運(yùn)機(jī)生產(chǎn)廠家

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