其從第二處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開并且沿著第二處理裝置的裝載端口設(shè)置；區(qū)段間頂棚軌道，其將第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道連結(jié)；第1保管部和第二保管部，它們?cè)诘?區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道各自的下方且側(cè)方沿上下方向設(shè)置有多層，并用于保管物品；第1交接端口和第二交接端口，它們?cè)O(shè)置于第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道各自的下方且側(cè)方；第1起重機(jī)，其具備沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第1行駛部、從第1行駛部垂下的第1桅桿、以及被第1桅桿引導(dǎo)而升降的第1移送部，并且在第1處理裝置的裝載端口、第1保管部、以及第1交接端口之間搬運(yùn)物品；第二起重機(jī)，其具備沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第二行駛部、從第二行駛部垂下的第二桅桿、以及被第二桅桿引導(dǎo)而升降的第二移送部，并且在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部、以及第二交接端口之間搬運(yùn)物品；以及高架搬運(yùn)車，其具備行駛部、用于保持物品的保持部、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅(qū)動(dòng)部、以及使升降驅(qū)動(dòng)部向側(cè)方突出的橫向伸出機(jī)構(gòu)，并且在第1交接端口與第二交接端口之間搬運(yùn)物品，上述行駛部沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、以及區(qū)段間頂棚軌道行駛。另外。棲霞區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！閔行區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)哪家有

    發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服以上不足，提供一種新型真空搬運(yùn)機(jī)械手，利用真空原理，吸附物體，進(jìn)而平衡物體的重力，使操作人員在基本感覺不到物體重力的情況下，輕松完成物體的搬運(yùn)、翻轉(zhuǎn)、裝配等工序，操作簡(jiǎn)單、運(yùn)作省力、高效安全。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是含有萬(wàn)向輪、移動(dòng)小車、拉桿、立柱、主升降氣缸、主旋轉(zhuǎn)座、主旋轉(zhuǎn)軸、主關(guān)節(jié)鎖死裝置、大側(cè)板、擺動(dòng)主臂、擺動(dòng)副臂、副關(guān)節(jié)鎖死裝置、連接板、橫臂旋轉(zhuǎn)座、旋轉(zhuǎn)臂主軸、旋轉(zhuǎn)臂、垂臂旋轉(zhuǎn)座、副旋轉(zhuǎn)軸、下垂臂、扶手、真空吸盤，移動(dòng)小車截面呈長(zhǎng)方形，其底部四角各設(shè)有一萬(wàn)向輪，移動(dòng)小車頂端中部設(shè)有立柱，左側(cè)設(shè)有拉桿，立柱頂端設(shè)有主旋轉(zhuǎn)座，可旋轉(zhuǎn)360°，主旋轉(zhuǎn)座通過(guò)主旋轉(zhuǎn)軸與大側(cè)板相連接，大側(cè)板內(nèi)設(shè)有氣壓控制閥，氣壓控制閥與主升降氣缸相連接，大側(cè)板左側(cè)下端設(shè)有主升降氣缸，大側(cè)板上設(shè)有內(nèi)側(cè)板，主旋轉(zhuǎn)座和大側(cè)板之間設(shè)有主關(guān)節(jié)鎖死裝置，擺動(dòng)主臂和擺動(dòng)副臂一端分別與大側(cè)板相連接，另一端分別與連接板相連接，擺動(dòng)主臂位于擺動(dòng)副臂下側(cè)并與擺動(dòng)副臂相平行，橫臂旋轉(zhuǎn)座通過(guò)旋轉(zhuǎn)臂主軸與旋轉(zhuǎn)臂相連接，旋轉(zhuǎn)臂可旋轉(zhuǎn)300°，旋轉(zhuǎn)臂和橫臂旋轉(zhuǎn)座之間設(shè)有副關(guān)節(jié)鎖死裝置。閔行區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)哪家有高淳區(qū)糖袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    第二行駛部41b同樣具備未圖示的行駛驅(qū)動(dòng)部和多個(gè)車輪71a(參照?qǐng)D6)，并沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12行駛。行駛驅(qū)動(dòng)部例如可以是設(shè)置于第1、第二行駛部41a、41b且驅(qū)動(dòng)車輪71a的電動(dòng)馬達(dá)，也可以是使用頂棚軌道10設(shè)置的線性馬達(dá)。第1行駛部41a也可以能夠從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11駛?cè)氲?區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進(jìn)行行駛。第二行駛部41b也可以能夠從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12駛?cè)氲?區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進(jìn)行行駛。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，第1、第二起重機(jī)40a、40b根據(jù)需要而能夠容易地經(jīng)由第1區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12之間移動(dòng)。第1、第二桅桿42a、42b從第1、第二行駛部41a、41b垂下并沿上下方向延伸，引導(dǎo)第1、第二升降臺(tái)43a、43b。第1、第二桅桿42a、42b形成為中空或者實(shí)心的棒狀，截面形成為圓形狀、橢圓形狀、長(zhǎng)圓形狀、或者四邊形狀等多邊形狀。第1、第二桅桿42a、42b的下端被設(shè)定為從地板面隔開規(guī)定間隔的狀態(tài)。在圖4中，在第1、第二行駛部41a、41b的下方經(jīng)由安裝部46安裝有上部支承體47。第1、第二桅桿42a、42b安裝于上部支承體47的下表面?zhèn)取?/p>

    各子吸盤下端面相平，所述子吸盤包括氣罩，所述氣罩上端與密封腔連通，所述氣罩下端密封設(shè)置有皮套。進(jìn)一步地，所述皮套中間位置連接有向上的拉桿，所述氣罩上端與拉桿對(duì)應(yīng)位置處開有導(dǎo)向孔，所述氣罩上環(huán)繞導(dǎo)向孔還環(huán)繞設(shè)置有2-6個(gè)氣孔，所述氣孔下端外側(cè)還設(shè)置有緩沖環(huán)，所述拉桿上還設(shè)置有擋板，擋板隨拉桿上升時(shí)能夠與緩沖環(huán)密封，所述拉桿上端還設(shè)置有限位環(huán)。進(jìn)一步地，所述皮套中間位置設(shè)置有夾板，所述拉桿與夾板相連。進(jìn)一步地，所述擋板截面為向下的錐形。進(jìn)一步地，所述密封腔的上壁和下壁之間設(shè)置有3-6根支撐桿。進(jìn)一步地，所述氣罩靠近下端的截面面積大于靠近上端的截面面積。本實(shí)用新型的有益效果在于：增加子吸盤，子吸盤包括氣罩，所述氣罩上端與密封腔連通，所述氣罩下端密封設(shè)置有皮套，任一個(gè)子吸盤吸附石板均能夠?yàn)槭逄峁┲危辉O(shè)置皮套能夠保證不與石板密封的子吸盤不漏氣；設(shè)置拉桿、導(dǎo)向孔、擋板、限位環(huán)、氣孔、緩沖環(huán)，能夠有效的限制皮套的變形量，在保證真空吸力的情況下避免拉壞皮套，提高使用壽命；設(shè)置夾板，能夠提高皮套的受力面積，保證皮套使用壽命；設(shè)置支撐桿，能夠防止密封腔變形。附圖說(shuō)明圖1為真空吸吊機(jī)結(jié)構(gòu)圖示意圖。江寧區(qū)室內(nèi)深加工真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    第1、第二起重機(jī)40a、40b在下層的第1、第二保管部20a、20b與上層的第1、第二保管部20a、20b之間搬運(yùn)物品2。高架搬運(yùn)車50沿著頂棚軌道10(第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12、第1區(qū)段間頂棚軌道13、以及第二區(qū)段間頂棚軌道14)移動(dòng)，在第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、第1、第二保管部20a、20b、以及第1、第二交接端口30a、30b之間進(jìn)行物品2的交接。圖5是表示高架搬運(yùn)車50的一個(gè)例子的圖。如圖5所示，高架搬運(yùn)車50具有行駛部51和主體部52。行駛部51與第1、第二行駛部41a、41b相同地，具備未圖示的行駛驅(qū)動(dòng)部和多個(gè)車輪71a(參照?qǐng)D6)，并沿著頂棚軌道10行駛。行駛驅(qū)動(dòng)部例如可以是設(shè)置于行駛部51且驅(qū)動(dòng)車輪71a的電動(dòng)馬達(dá)，也可以是使用頂棚軌道10設(shè)置的線性馬達(dá)。主體部52經(jīng)由安裝部52a安裝于行駛部51的下部。主體部52具有：保持部53，其保持物品2；升降驅(qū)動(dòng)部54，其懸掛保持部53且使其升降；以及橫向伸出機(jī)構(gòu)55，其使升降驅(qū)動(dòng)部54移動(dòng)。保持部53通過(guò)把持物品2的凸緣部2a而懸掛保持物品2。保持部53例如是具有能夠沿水平方向移動(dòng)的爪部53a的卡盤，使爪部53a侵入至物品2的凸緣部的下方，使保持部53上升，由此保持物品2。江寧區(qū)糖袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！睢寧多功能真空搬運(yùn)機(jī)哪里可以買到

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    本發(fā)明涉及搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn)，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號(hào)公報(bào)文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問(wèn)裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對(duì)應(yīng)地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對(duì)軌道的設(shè)置花費(fèi)成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個(gè)軌道對(duì)應(yīng)，因此對(duì)處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問(wèn)題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過(guò)將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用，由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。閔行區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)哪家有

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