可以起重機是懸掛式起重機。另外，可以第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道是環(huán)繞軌道，第1起重機和高架搬運車在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道朝向同一方向環(huán)繞行駛，第二起重機和高架搬運車在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道朝向同一方向環(huán)繞行駛。另外，可以第1交接端口和第二交接端口配置于第1保管部和第二保管部各自的較上層。另外，本發(fā)明所涉及的搬運方法是如下搬運系統(tǒng)的搬運方法，上述搬運系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第二處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第二處理裝置的裝載端口設(shè)置；區(qū)段間頂棚軌道，其將第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道連結(jié)；第1保管部和第二保管部，它們在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道各自的下方且側(cè)方沿上下方向設(shè)置有多層，并用于保管物品；第1交接端口和第二交接端口，它們設(shè)置于第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道各自的下方且側(cè)方；第1起重機，其具備沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第1行駛部、從第1行駛部垂下的第1桅桿、以及被第1桅桿引導(dǎo)而升降的第1移送部；第二起重機。高淳區(qū)包裝袋真空搬運機推薦廠家！賈汪區(qū)糖袋真空搬運機推薦廠家

本發(fā)明涉及搬運系統(tǒng)以及搬運方法。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運車和起重機對應(yīng)地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設(shè)置花費成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個軌道對應(yīng)，因此對處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運車和起重機行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔高架搬運車與起重機的作用，由此高效地搬運物品的搬運系統(tǒng)以及搬運方法。本發(fā)明所涉及的搬運系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。賈汪區(qū)糖袋真空搬運機推薦廠家江寧區(qū)粉塵真空搬運機推薦廠家！

    其從第二處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第二處理裝置的裝載端口設(shè)置；區(qū)段間頂棚軌道，其將第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道連結(jié)；第1保管部和第二保管部，它們在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道各自的下方且側(cè)方沿上下方向設(shè)置有多層，并用于保管物品；第1交接端口和第二交接端口，它們設(shè)置于第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道各自的下方且側(cè)方；第1起重機，其具備沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第1行駛部、從第1行駛部垂下的第1桅桿、以及被第1桅桿引導(dǎo)而升降的第1移送部，并且在第1處理裝置的裝載端口、第1保管部、以及第1交接端口之間搬運物品；第二起重機，其具備沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第二行駛部、從第二行駛部垂下的第二桅桿、以及被第二桅桿引導(dǎo)而升降的第二移送部，并且在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部、以及第二交接端口之間搬運物品；以及高架搬運車，其具備行駛部、用于保持物品的保持部、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅(qū)動部、以及使升降驅(qū)動部向側(cè)方突出的橫向伸出機構(gòu)，并且在第1交接端口與第二交接端口之間搬運物品，上述行駛部沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、以及區(qū)段間頂棚軌道行駛。另外。

    并使轉(zhuǎn)動部件圍繞上下方向的軸進行轉(zhuǎn)動。轉(zhuǎn)動部通過來自轉(zhuǎn)動驅(qū)動部的驅(qū)動力而轉(zhuǎn)動，能夠使升降驅(qū)動部54或者保持部53圍繞上下方向的軸進行轉(zhuǎn)動。通過該轉(zhuǎn)動部能夠?qū)⒈槐３植?3保持的物品2的朝向改變。此外，高架搬運車50也可以不具備轉(zhuǎn)動部。圖6是表示第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51的一個例子的圖。第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51例如采用共用的結(jié)構(gòu)(同一結(jié)構(gòu)或者大致同一結(jié)構(gòu))。另外，對于頂棚軌道10中的第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12、第1區(qū)段間頂棚軌道13、以及第二區(qū)段間頂棚軌道14而言，與行駛方向正交的平面的截面相同或者大致相同，第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51中的任一者均能夠行駛。這樣，由于第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51共用，因此無需按照其他結(jié)構(gòu)制造第1、第二行駛部41a、41b與行駛部51，能夠減少第1、第二起重機40a、40b和高架搬運車50的制造成本。第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51具有：多個車輪71a，它們與頂棚軌道10的下方的內(nèi)表面抵接；和行駛部主體71b，其安裝有上述多個車輪71a。行駛部主體71b具備用于驅(qū)動車輪71a的行駛驅(qū)動部、和各種傳感器。頂棚軌道10具備供電部70。浦口區(qū)米袋真空搬運機推薦廠家！

    本實用新型涉及自動化設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種新式真空搬運式機械手。背景技術(shù)：在自動化設(shè)備實現(xiàn)自動化生產(chǎn)加工的過程中，很多時候需要借助相應(yīng)的機械手來實現(xiàn)工件抓取移送；其中，通過真空吸盤吸附抓取產(chǎn)品的機械手應(yīng)用于非常。其中，對于現(xiàn)有的機械手而言，一般通過X軸驅(qū)動線性模組、Y軸驅(qū)動線性模組相配合來實現(xiàn)產(chǎn)品水平、豎向移動，或者通過水平氣缸、豎向氣缸相配合來實現(xiàn)產(chǎn)品水平、豎向移動；對于上述機械手而言，結(jié)構(gòu)復(fù)雜、穩(wěn)定可靠性較差。技術(shù)實現(xiàn)要素：本實用新型的目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)的不足而提供一種新式真空搬運式機械手，該新式真空搬運式機械手設(shè)計新穎、結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定可靠性好。為達到上述目的，本實用新型通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)。一種新式真空搬運式機械手，包括有機械手安裝架，機械手安裝架包括有呈豎向布置的固定安裝豎板，固定安裝豎板的下端側(cè)裝設(shè)有豎板固定座，豎板固定座的上端部與固定安裝豎板螺接；固定安裝豎板的前端側(cè)可相對活動地裝設(shè)有分別呈豎向布置的中間活動板、前端活動架，前端活動架位于中間活動板的前端側(cè)，中間活動板與固定安裝豎板之間裝設(shè)有呈水平橫向布置的水平導(dǎo)軌副。棲霞區(qū)常見真空搬運機推薦廠家！金壇區(qū)象鼻子真空搬運機供應(yīng)

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    以下結(jié)合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步說明。圖I為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型中支柱的放大剖視結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實用新型中控制頭的結(jié)構(gòu)示意圖?！ぞ唧w實施方式如圖I、圖2、圖3所示，本實用新型輕型真空搬運機，包括立柱I、支柱2、旋臂3、斜拉桿4、真空泵13、連接管14、搬運管15、真空吸盤裝置。支柱2包括套置在固定柱5外壁上的旋轉(zhuǎn)軸套6，固定柱5固定在立柱I的上端，旋臂3—端直接與旋轉(zhuǎn)軸套6的下端固定連接，另一端則通過斜拉桿4與旋轉(zhuǎn)軸套6的上端固定連接。連接管14一端與真空泵13連通，另一端與搬運管15連通，真空吸盤裝置安裝在搬運管15的底端，搬運管15滑動連接安裝在旋臂3上。其中，固定柱5通過上蓋7和下蓋8固定在立柱I上。固定柱5與旋轉(zhuǎn)軸套6之間且由上而下依次安裝有并帽9、墊圈10、上軸承11、下軸承12。旋臂3的下端面上開設(shè)有導(dǎo)軌17，搬運管15的頂端與導(dǎo)軌17滑動連接。導(dǎo)軌17上還滑動連接有數(shù)個掛鉤18，靠近搬運管15端的連接管14通過掛鉤18安裝在旋臂3上。真空泵13安裝在箱體16內(nèi)，箱體16置于地面上；搬運管15為可伸縮式搬運管。真空吸盤裝置包括控制頭19、數(shù)個吸盤20、操作手柄21。賈汪區(qū)糖袋真空搬運機推薦廠家

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