本發(fā)明涉及搬運系統(tǒng)以及搬運方法。背景技術(shù)：在半導體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運車和起重機對應地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設(shè)置花費成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個軌道對應，因此對處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運車和起重機行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔高架搬運車與起重機的作用，由此高效地搬運物品的搬運系統(tǒng)以及搬運方法。本發(fā)明所涉及的搬運系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。溧水區(qū)粉塵真空搬運機推薦廠家！天寧區(qū)糖袋真空搬運機哪家的好

    其具備沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第二行駛部、從第二行駛部垂下的第二桅桿、以及被第二桅桿引導而升降的第二移送部；以及高架搬運車，其具備行駛部、用于保持物品的保持部、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅(qū)動部、以及使升降驅(qū)動部向側(cè)方突出的橫向伸出機構(gòu)，上述行駛部沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、以及區(qū)段間頂棚軌道行駛，其中，第1起重機在第1處理裝置的裝載端口、第1保管部、以及第1交接端口之間搬運物品，第二起重機在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部、以及第二交接端口之間搬運物品，高架搬運車在第1交接端口與第二交接端口之間搬運物品。根據(jù)本發(fā)明所涉及的搬運系統(tǒng)以及搬運方法，通過第1、第二起重機進行區(qū)段內(nèi)的物品的搬運，從而能夠增加物品的保管數(shù)量，通過高架搬運車進行區(qū)段間的物品的搬運，從而能夠抑制與頂棚軌道下方的設(shè)備的干擾。另外，由于能夠防止沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第1、第二起重機的第1、第二桅桿與裝載端口、第1、第二保管部、以及第1、第二交接端口的干擾，并且將區(qū)段內(nèi)頂棚軌道由第1、第二起重機和高架搬運車共享，因此無需分別對應地另外設(shè)置頂棚軌道，能夠減少頂棚軌道的鋪設(shè)所需要的成本。另外。新沂粉塵真空搬運機原理雨花臺區(qū)包裝袋真空搬運機推薦廠家！

    吸盤20在沒有了真空作用力下，失去吸附力，被搬運物體脫離吸盤20，到此完成整個的搬運過程。本實用新型安裝時，只需將立柱I底端固定在地面上即可。上述實施例只用于解釋說明本實用新型的發(fā)明構(gòu)思，而非對本實用新型權(quán)利保護的限定，凡利用此構(gòu)思對本實用新型進行非實質(zhì)性的改動，均應落入本實用新型的保護范圍。權(quán)利要求1.一種輕型真空搬運機，其特征在于包括立柱、支柱、旋臂、斜拉桿、真空泵、連接管、搬運管、真空吸盤裝置；支柱包括套置在固定柱外壁上的旋轉(zhuǎn)軸套，固定柱固定在立柱的上端，旋臂一端直接與旋轉(zhuǎn)軸套固定連接，另一端則通過斜拉桿與旋轉(zhuǎn)軸套固定連接；連接管一端與真空泵連通，另一端與搬運管連通，真空吸盤裝置安裝在搬運管的底端，搬運管滑動連接安裝在旋臂上。2.如權(quán)利要求I所述的輕型真空搬運機，其特征在于所述固定柱通過上蓋和下蓋固定在立柱上。3.如權(quán)利要求I所述的輕型真空搬運機，其特征在于所述固定柱與旋轉(zhuǎn)軸套之間且由上而下依次安裝有并帽、墊圈、上軸承、下軸承。4.如權(quán)利要求I所述的輕型真空搬運機，其特征在于所述旋臂一端直接與旋轉(zhuǎn)軸套的下端固定連接，另一端則通過斜拉桿與旋轉(zhuǎn)軸套的上端固定連接。

    圖2為吸盤主視剖面示意圖；圖3為吸盤仰視圖示意圖；圖4為子吸盤剖面圖示意圖；其中：1-吊架，2-吸盤，3-舵把，4-吊環(huán)，5-控制按鈕，6-密封腔，7-子吸盤，8-夾板，9-氣管，10-氣罩，11-皮套，12-拉桿，13-擋板，14-限位環(huán)，15-氣孔，16-緩沖環(huán)，17-支撐桿。具體實施方式以下結(jié)合具體實施例對本實用新型的技術(shù)方案進行說明。實施例1如圖1-4所示，一種真空吸吊機，包括吊架1，吊架1正面安裝有6個吸盤2，吸盤2截面為圓形，吸盤2包括密封腔6，密封腔6由厚度為3-5mm的不銹鋼材料圍制焊接而成，密封腔6上端連接有氣管9，密封腔6下端呈梅花狀安裝有5個子吸盤7，各子吸盤7下端面相平，子吸盤7包括氣罩10，氣罩10截面為圓形，氣罩10靠近下端的截面面積大于靠近上端的截面面積，氣罩10上端與密封腔6連通，氣罩10下端密封固定有皮套11，皮套11由乳膠制成，皮套11中間位置夾有夾板8，夾板8為圓形，夾板8夾緊在皮套11兩面，夾板8上端中間圍制固定有向上的拉桿12，氣罩10上端與拉桿12對應位置處開有導向孔，氣罩10上環(huán)繞導向孔還環(huán)繞開有4個氣孔15，氣孔15下端外側(cè)還固定有緩沖環(huán)16，緩沖環(huán)16由乳膠制成，拉桿12上還固定有擋板13，擋板13截面為向下的錐形。高淳區(qū)室內(nèi)深加工真空搬運機推薦廠家！

    控制裝置60針對高架搬運車50進行指示以將第1保管區(qū)域sa1的第1交接端口30a的物品2搬運至第二保管區(qū)域sa2的第二交接端口30b。高架搬運車50沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11移動至第1交接端口30a，使橫向伸出機構(gòu)55向-x方向或者+x方向突出，驅(qū)動升降驅(qū)動部54并通過保持部53保持第1交接端口30a的物品2。此外，高架搬運車50根據(jù)來自控制裝置60等的信息，獲取接收到的物品2的搬運目的地亦即第二保管區(qū)域sa2的第二交接端口30b的位置信息(地址)。接下來，高架搬運車50維持將物品2保持的狀態(tài)地在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11上沿順時針的方向行駛，從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a經(jīng)由第二連接軌道16的出口部16b(參照圖1)向第二區(qū)段間頂棚軌道14移動。此外，第二連接軌道16的截面形狀與第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11和第二區(qū)段間頂棚軌道14相同或者大致相同(參照圖6)，因此高架搬運車50能夠從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11無障礙地移動至第二區(qū)段間頂棚軌道14。接下來，高架搬運車50在第二區(qū)段間頂棚軌道14上朝向+x方向行駛，從第二區(qū)段間頂棚軌道14經(jīng)由第二連接軌道16的入口部16a向第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12移動。其后，高架搬運車50在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12上環(huán)繞行駛。浦口區(qū)室內(nèi)深加工真空搬運機推薦廠家！天寧區(qū)糖袋真空搬運機哪家的好

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    在上述的實施方式中，例舉將第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的架部配置于第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2內(nèi)的結(jié)構(gòu)進行了說明，但并不限定于該結(jié)構(gòu)，保管部和交接端口也可以配置于第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2的外側(cè)。圖10是表示保管部和交接端口的其他例子的圖。在以下的說明中，對與上述的實施方式相同或者等同的構(gòu)成部分標注同一附圖標記并省略或者簡化說明。如圖10所示，保管部220(或者交接端口330)在第1、第二裝置區(qū)域ta1、ta2中也可以配置于第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp的上方。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒀b載端口lp的上方的空間作為保管區(qū)域有效地活用。此外，針對該保管部220(或者交接端口230)，第1、第二起重機40a、40b和高架搬運車50雙方能夠進行物品2的交接。但是，在該結(jié)構(gòu)中，高架搬運車50無法針對裝載端口lp直接進行物品2的交接。另一方面，第1、第二起重機40a、40b能夠針對裝載端口lp進行物品2的交接。另外，如圖10所示，也可以在第1、第二處理裝置tl1、tl2與第1、第二處理裝置tl1、tl2之間設(shè)置保管架80。保管架80在內(nèi)部的上下方向和左右方向(y方向)設(shè)置多個保管部320，并在上表面80a設(shè)置有交接端口330。根據(jù)該結(jié)構(gòu)。天寧區(qū)糖袋真空搬運機哪家的好

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