所述的手指固定座33上設(shè)置有插槽41，所述的插槽41內(nèi)可拆卸安裝晶圓固定裝置4。所述的晶圓固定裝置4包括真空吸盤、氣缸機(jī)械手等。所述的手指固定座33上還設(shè)置有掃描傳感器42，掃描傳感器42包括光纖放大器以及濾光片等光信號(hào)探測(cè)設(shè)備。使用時(shí)，升降軸1進(jìn)行機(jī)械手的豎直上升下降工作，旋轉(zhuǎn)軸2進(jìn)行機(jī)械手的水平旋轉(zhuǎn)工作，伸展軸3進(jìn)行機(jī)械手的伸展拿取工作。相比現(xiàn)有的晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本申請(qǐng)中伸展軸3中的一級(jí)伸展臂31、二級(jí)伸展臂32和手指固定座33聯(lián)動(dòng)，一級(jí)伸展臂31、二級(jí)伸展臂32和手指固定座33之間分別具有傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過一級(jí)關(guān)節(jié)5、二級(jí)關(guān)節(jié)6和三級(jí)關(guān)節(jié)7之間的一級(jí)同步帶52和二級(jí)同步帶64在一級(jí)伸展臂31轉(zhuǎn)動(dòng)的同時(shí)，帶動(dòng)二級(jí)伸展臂32和手指固定座33不同速率的轉(zhuǎn)動(dòng)，在升降軸1、旋轉(zhuǎn)軸2和伸展軸3三軸聯(lián)動(dòng)的同時(shí)讓手指固定座33始終保證直線運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。這種方式不僅簡(jiǎn)化了整個(gè)伸展軸3傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，共用一個(gè)傳動(dòng)系后不僅提高了運(yùn)行精度、重復(fù)定位精度，又提高了機(jī)械手整體剛度和承重能力。本發(fā)明的機(jī)械手可以通過設(shè)定在機(jī)械手后方的掃描傳感器42，自動(dòng)掃描片盒中晶片的狀態(tài)（包括：有，無，重片，斜片），通過數(shù)據(jù)分析后把結(jié)果傳送給上位設(shè)備控制系統(tǒng)。雨花臺(tái)區(qū)米袋氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家！黃浦區(qū)多功能氣動(dòng)懸臂吊供應(yīng)

    本發(fā)明涉及具有對(duì)電動(dòng)馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行控制的電子控制裝置的電動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置和電動(dòng)助力轉(zhuǎn)向裝置。背景技術(shù)：利用電動(dòng)馬達(dá)產(chǎn)生輔助轉(zhuǎn)向扭矩的電動(dòng)助力轉(zhuǎn)向裝置具備作為對(duì)電動(dòng)馬達(dá)進(jìn)行控制的裝置的電子控制裝置。例如，在專利文獻(xiàn)1中，記載有能夠?qū)㈦娮釉骷呙芏鹊匕惭b于基板的驅(qū)動(dòng)裝置?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1：日本特開2016－34204號(hào)公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：發(fā)明要解決的問題在專利文獻(xiàn)1的驅(qū)動(dòng)裝置中，構(gòu)成第1逆變器部的開關(guān)元件和構(gòu)成第2逆變器部的開關(guān)元件相對(duì)于馬達(dá)的軸中心對(duì)稱地配置。構(gòu)成第1逆變器部的開關(guān)元件和構(gòu)成第2逆變器部的開關(guān)元件是驅(qū)動(dòng)裝置所具有的電子元器件中發(fā)熱量較大的發(fā)熱元件。另外，在馬達(dá)的軸中心配置有旋轉(zhuǎn)角傳感器。在旋轉(zhuǎn)角傳感器的兩側(cè)具有發(fā)熱元件，因此存在旋轉(zhuǎn)角傳感器被自兩側(cè)加熱的可能性。本發(fā)明是鑒于上述課題而做出的，其目的在于，提供能夠抑制磁傳感器的溫度上升的電動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置和電動(dòng)助力轉(zhuǎn)向裝置。用于解決問題的方案為了實(shí)現(xiàn)上述目的，一技術(shù)方案的電動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置具備：電動(dòng)馬達(dá)。黃浦區(qū)多功能氣動(dòng)懸臂吊供應(yīng)六合區(qū)米袋氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家！

    本發(fā)明能夠有效解決現(xiàn)有技術(shù)中機(jī)械手運(yùn)行速度低，定位精度差的問題。本機(jī)械手包含3個(gè)軸，分別為升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其中伸展軸又包含3個(gè)關(guān)節(jié)，三個(gè)關(guān)節(jié)分別為一級(jí)關(guān)節(jié)、二級(jí)關(guān)節(jié)和三級(jí)關(guān)節(jié)，三個(gè)關(guān)節(jié)之間的傳動(dòng)比為1:2:1，伸展電機(jī)通過諧波減速機(jī)驅(qū)動(dòng)一級(jí)伸展臂轉(zhuǎn)動(dòng)，通過一級(jí)關(guān)節(jié)、二級(jí)關(guān)節(jié)和三級(jí)關(guān)節(jié)之間設(shè)置有傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，同時(shí)帶動(dòng)二級(jí)伸展臂和手指固定座的移動(dòng)，間接將第1級(jí)關(guān)節(jié)遠(yuǎn)端的一級(jí)同步帶輪變?yōu)橹鲃?dòng)輪，通過這種結(jié)構(gòu)，可以在一級(jí)伸展臂和二級(jí)伸展臂移動(dòng)時(shí)，保持手指固定座的始終直線運(yùn)動(dòng)，既晶圓中心始終保持直線運(yùn)動(dòng)，晶圓的角度也保持不變。這種結(jié)構(gòu)還提高了機(jī)械手整體強(qiáng)度，達(dá)到高速度運(yùn)行和重復(fù)定位精度高的雙重目的。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。附圖說明圖1是本發(fā)明示意圖。圖2是本發(fā)明伸展軸示意圖。圖3是本發(fā)明伸展軸內(nèi)部俯視示意圖。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖與具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述。實(shí)施例1。

    而后依靠絞索固定滑道位置。從而讓輸送滑道不同產(chǎn)品時(shí)，通過改變傾角來適應(yīng)摩擦系數(shù)的變化。符合同一生產(chǎn)線生產(chǎn)多規(guī)格產(chǎn)品的需要。附圖說明圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例的鉸接組件結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例的絞索固定件的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例只只用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。如圖1至圖2所示，本實(shí)用新型提供了一種輸送滑道，包括塔架100、第1滑道200和第二滑道300。因?yàn)樗?00要對(duì)鉸接組件130提供穩(wěn)定的支撐力，又要承受絞索600的拉力，因此為了提高輸送滑道的穩(wěn)定性，因此對(duì)塔架100采用如下設(shè)計(jì)塔架四根豎直放置的立柱，立柱間有多根水平拉桿，水平拉桿和立柱間有多根對(duì)角拉桿。同時(shí)為了固定絞索600，塔架100上帶有連接板120，連接板一端焊接在塔架100上，另一端開孔。并且第1滑道200和第二滑道300兩側(cè)外壁均延伸出有連接耳210，連接耳上210帶有通孔。上述通孔中裝配有螺栓，絞索600端頭分別環(huán)繞過螺栓后通過旋緊螺栓固定絞索600。江寧區(qū)粉塵氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家！

    助力機(jī)械手主機(jī)a）可實(shí)現(xiàn)不同重量物料的重力平衡狀態(tài)，適用于物料的精確移載操作。b）空載、滿載及處理不同工件時(shí)，系統(tǒng)可感知其重量變化，并實(shí)現(xiàn)載荷在三維空間中的浮動(dòng)狀態(tài)，便于精確定位。c）全程平衡、運(yùn)動(dòng)順滑等特點(diǎn)，使得操作者可以很便捷地實(shí)現(xiàn)工件的搬運(yùn)、定位、裝配等操作。d）剛性手臂可使機(jī)械手帶工件越過障礙；水平臂可滿足物料在相關(guān)場(chǎng)所進(jìn)行橫向放入、橫向取出等動(dòng)作要求。e）系統(tǒng)可始終保持機(jī)械手頭部的水平，發(fā)揮高作業(yè)性。f）關(guān)節(jié)剎車裝置，具有多個(gè)回轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)，以實(shí)現(xiàn)廣域范圍內(nèi)的物料取置；配備有剎車裝置，操作者可在操作過程中隨時(shí)中斷機(jī)械手的運(yùn)動(dòng)。助力機(jī)械手氣動(dòng)夾具主機(jī)控制與夾具（機(jī)械手）集成為一體，方便操作者雙手控制工件。主機(jī)操作按鈕都集成于夾具控制面板上，控制部分及指示燈、指示器等按人體工學(xué)原理布置，便于操作及緊急情況的處理。助力機(jī)械手執(zhí)行執(zhí)行部分是機(jī)械手上承擔(dān)抓（或吸）取物件的機(jī)構(gòu)，由手指、傳力（或增力）機(jī)構(gòu)和動(dòng)力裝置等組成。手指是手部中直接承擔(dān)抓（或吸）取物件的元件。1、手指的抓取機(jī)能助力機(jī)械手的手指的抓取機(jī)能是由被抓取物件和手指決定的。被抓取物件的大小、形狀、重量、材質(zhì)和受外力的約束程度及運(yùn)動(dòng)。溧水區(qū)包裝袋氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家！新北區(qū)常見氣動(dòng)懸臂吊有幾種

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    作為理想的技術(shù)方案，還具備設(shè)于所述第1隆起部的第1散熱材料。由此，能夠使由第1電力電路和第2電力電路產(chǎn)生的熱更有效地散熱。作為理想的技術(shù)方案，所述散熱器還具有第2隆起部，該第2隆起部與所述控制電路相對(duì)且向所述電路基板側(cè)隆起。由此，能夠使由控制電路產(chǎn)生的熱有效地散熱。作為理想的技術(shù)方案，還具備設(shè)于所述第2隆起部的第2散熱材料。由此，能夠使由控制電路產(chǎn)生的熱更有效地散熱。作為理想的技術(shù)方案，所述散熱器還具有凹部，該凹部與所述電路基板相對(duì)且向所述電路基板的相反側(cè)凹陷，在所述凹部收納被配置于所述電路基板的電容器。由此，與沒有凹部的情況相比，能夠減小包含配置有電容器的電路基板和散熱器在內(nèi)的構(gòu)造體的厚度。作為理想的技術(shù)方案，還具備配置在所述電動(dòng)馬達(dá)與所述散熱器之間的適配器，所述第1線圈布線和所述第2線圈布線各自還具有在所述第1部位與所述第2部位之間彎曲的彎曲部，所述彎曲部配置在所述適配器的內(nèi)側(cè)。由此，能夠使第1線圈布線和第2線圈布線在軸的軸向上進(jìn)一步遠(yuǎn)離磁傳感器。作為理想的技術(shù)方案，所述適配器具有突出部，從所述軸的軸向觀察時(shí)該突出部向所述電動(dòng)馬達(dá)的外側(cè)突出，所述彎曲部配置在所述突出部的內(nèi)側(cè)。黃浦區(qū)多功能氣動(dòng)懸臂吊供應(yīng)

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