另外,在前述段落記載的方法中,在難以進行切取多塊用玻璃構(gòu)件的分割的情況下,在上述激光掃描步驟中,沿形狀切斷預(yù)定線,去除透明薄膜且將改性線*形成于陣列基板或者彩色濾光片基板的任一者,其后通過從相反側(cè)掃描激光來將改性線還形成于陣列基板或者彩色濾光片基板的另一者即可。在上述帶透明薄膜的玻璃面板的制造方法以及帶透明薄膜的液晶面板的制造方法的任一者中,在蝕刻處理后,成為在形狀切斷預(yù)定線上實質(zhì)上幾乎被切斷的狀態(tài),因此通過施加些許機械壓力、熱應(yīng)力,就能實現(xiàn)完全的切斷。通過施加微小的按壓力、或給予微小的超聲波振動、或進行加熱,就能不對切取多塊用玻璃母材造成污損而實現(xiàn)完全的切斷。在上述玻璃面板制造方法以及液晶面板制造方法中,改性線推薦呈通過脈沖激光的光束而形成的具有多個貫通孔或者多個改性孔的穿孔狀。通過脈沖激光對玻璃面板、液晶面板的形狀切斷預(yù)定線進行加工,因此即使在玻璃面板、液晶面板的輪廓中包含復(fù)雜的曲線或微小的曲線部分或者在玻璃面板、液晶面板形成有開口部的情況下,也能實現(xiàn)適當(dāng)?shù)募庸ぁ1景l(fā)明所涉及的玻璃面板制造方法用于從切取多塊用玻璃母材得到多個期望形狀的玻璃面板。檢測高鐵玻璃、強度玻璃的瑕疵、劃痕等缺陷的玻璃面型檢測設(shè)備。寧波大面幅玻璃面型檢測費用
圖16是表示從切取多塊用玻璃母材得到多個玻璃面板的狀態(tài)的圖。圖17是表示本發(fā)明的一實施方式所涉及的液晶面板的概略構(gòu)成的圖。圖18是表示包含多個液晶面板的切取多塊用玻璃母材的概略構(gòu)成的圖。圖19是表示粘貼有耐蝕刻性薄膜的狀態(tài)的切取多塊用玻璃母材的概略構(gòu)成的圖。圖20是表示針對切取多塊用玻璃母材的激光加工的概略的圖。圖21是表示本發(fā)明所應(yīng)用的蝕刻裝置的一例的圖。圖22是表示本發(fā)明所應(yīng)用的蝕刻處理的變形例的圖。圖23是表示針對切取多塊用玻璃母材的劃線折斷加工的概略的圖。圖24是表示分割后的狀態(tài)的切取多塊用玻璃母材的概略的圖。圖25是表示液晶面板的構(gòu)成的特征的圖。具體實施方式首先,使用圖1~圖3來說明本發(fā)明所涉及的帶透明薄膜的玻璃面板的制造方法的一實施方式。圖1的(a)示出了用于將帶透明薄膜的玻璃面板切取出多塊的切取多塊用玻璃母材4的概略。切取多塊用玻璃母材4在其表面形成有透明薄膜(ito膜、有機導(dǎo)電膜等透明導(dǎo)電膜或者透明保護膜等)7。為了從切取多塊用玻璃母材4得到多個期望形狀的帶透明薄膜的玻璃面板2,首先,如圖1的(b)所示,沿與要取出的帶透明薄膜的玻璃面板2的形狀對應(yīng)的形狀切斷預(yù)定線來進行激光束的掃描(激光掃描步驟)。寧波汽車玻璃面型檢測聯(lián)系人玻璃面型檢測的效率和精度,決定了汽車生產(chǎn)的部分成本高低,技術(shù)的提升,有助于降本。
如同圖所示,液晶面板10的端面相對于主面大致呈直角。例如,能將在分別為~(圖13的(c)中的l1~l4)抑制為50μm以下(大多為20~35μm)。如此,在制造液晶面板10時,側(cè)面蝕刻的影響幾乎不發(fā)生,因此能設(shè)計將液晶面板10彼此相近配置的切取多塊用玻璃母材50。例如,若以激光寬度2μm+α而存在合計10μm左右的間隙,則能將切取多塊用玻璃母材50適當(dāng)?shù)胤蛛x成單個液晶面板10。首先,使用圖14~圖16來說明本發(fā)明所涉及的玻璃面板制造方法的一實施方式。圖14的(a)示出了用于將玻璃面板2切取多塊的切取多塊用玻璃母材4的概略。為了從切取多塊用玻璃母材4得到多個期望形狀的玻璃面板2,首先,如圖14的(b)所示,透明的耐蝕刻膜6粘貼于切取多塊用玻璃母材4的至少兩主面。在本實施方式中,作為耐蝕刻膜6,采用了透明的聚乙烯樹脂材料。但作為耐蝕刻膜6,還能采用透明的聚丙烯、透明聚氯乙烯、烯烴系樹脂等。在本實施方式中,耐蝕刻膜6與本發(fā)明所涉及的耐蝕刻層對應(yīng)。耐蝕刻膜6采用厚度為100μm以下的薄型的材料。通過薄型化,容易進行剝離,且若還考慮減小激光束經(jīng)過時的光學(xué)的影響,耐蝕刻膜6的厚度推薦設(shè)為為了滿足耐蝕刻性能所需的**小限度的厚度。由此。
所要求的耐蝕刻性能被抑制得較低。故而,即使與通常的蝕刻處理相比,耐蝕刻膜、耐蝕刻層更薄,也不成問題。通過在耐蝕刻膜或者耐蝕刻層中的形狀切斷預(yù)定線所對應(yīng)之處形成開口部,能在保護透明薄膜的同時對帶透明薄膜的切取多塊用玻璃母材中的改性線進行蝕刻。沿改性線,蝕刻液變得易于浸透,蝕刻處理的進行容易且短時間化,因此能使側(cè)面蝕刻的影響**小化。在上述帶透明薄膜的玻璃面板的制造方法中的激光掃描步驟中,推薦地,通過將激光的焦點深度設(shè)定得比玻璃面板的厚度長,從而在沿形狀切斷預(yù)定線而在切取多塊用玻璃母材形成具有易被蝕刻的性質(zhì)的改性線的同時去除透明薄膜。通過采用這樣的構(gòu)成,從而沿形狀切斷預(yù)定線去除透明薄膜,且沿形狀切斷預(yù)定線形成透明薄膜的開口部,其結(jié)果是,切取多塊用玻璃母材的改性線形成位置將露出。尤其通過相同的激光束進行了透明薄膜的去除以及改性線的形成,因此能防止透明薄膜的開口位置與改性線的形成位置發(fā)生錯位。作為形成改性線的手法的**例,可列舉基于皮秒激光或者飛秒激光的纖線加工。改性線的寬度推薦設(shè)定為大致10μm以下。另一方面。高鐵玻璃要求檢測點數(shù)多、檢測度高、面型要求高,光學(xué)檢測玻璃面型檢測可達納米級精度。
對陣列基板以及彩色濾光片基板粘貼具有耐蝕刻性的透明的蝕刻層。與上述同樣,作為耐蝕刻層的**例,可列舉由具有對包含用于蝕刻玻璃的氫氟酸的蝕刻液的耐性的透明的樹脂材料構(gòu)成的耐蝕刻膜。耐蝕刻膜既可以經(jīng)由透明的具有耐蝕刻性的粘接劑進行粘貼,也可以使用具有自粘合性的耐蝕刻膜。除了耐蝕刻膜以外,還能使用具有耐蝕刻性的透明的抗蝕劑材料或其他透明的掩蔽構(gòu)件來形成耐蝕刻層。在激光掃描步驟中,沿與液晶面板的形狀對應(yīng)的形狀切斷預(yù)定線來掃描激光,從而沿形狀切斷預(yù)定線去除耐蝕刻層且在切取多塊用玻璃母材形成具有易被蝕刻的性質(zhì)的改性線。進而,在蝕刻步驟中,在激光掃描步驟后,通過使切取多塊用玻璃母材與蝕刻液接觸,從而蝕刻改性線。在該液晶面板制造方法中,在陣列基板以及彩色濾光片基板分別形成改性線,因此能在使各個基板的側(cè)面蝕刻的影響**小化的同時,通過蝕刻處理來對切取多塊用玻璃母材進行分割。在上述激光掃描步驟中,在陣列基板以及彩色濾光片基板所夾持的液晶層發(fā)生氣泡的產(chǎn)生等不良狀況的情況下,沿形狀切斷預(yù)定線來去除耐蝕刻膜且使改性線*形成于陣列基板或者彩色濾光片基板的任一者即可。通過采用該方法。檢測汽車玻璃彩虹、凹坑、麻點的玻璃面型檢測設(shè)備。無錫汽車玻璃面型檢測咨詢
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