下面為大家介紹一下石墨盤(pán)烤盤(pán)爐一.產(chǎn)品介紹真空烤盤(pán)爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體，爐內(nèi)抽真空，被處理工件放置在爐膛內(nèi)，采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗（清洗氣體：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂層石墨盤(pán)或石英盤(pán)）上的氮化鎵和氮化鋁等，可達(dá)到有效清潔處理，提高制品質(zhì)量的目的。二、設(shè)計(jì)特點(diǎn)1、后門(mén)設(shè)計(jì)熱風(fēng)電機(jī)2、降溫時(shí)風(fēng)機(jī)開(kāi)啟，同時(shí)兩端降溫封頭開(kāi)啟，爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3、通過(guò)氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進(jìn)行熱交換，達(dá)到快速降溫的目的三、技術(shù)指標(biāo)1、使用溫度：1450℃；比較高溫度：1500℃；2、絕熱材料：石墨纖維毯、石墨紙；4、加熱元件：石墨加熱棒；5、冷卻方式：氣冷+循環(huán)風(fēng)冷降溫；6、控溫穩(wěn)定度：±2℃，具有PID參數(shù)自整定功能；7、爐膛溫度均勻度：±5℃（恒溫1500℃）；8、氣氛:可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無(wú)油的高純度氮?dú)?純度≥99.999%；9、極限真空:10-3torr級(jí)；10、抽氣速率：空載下，30min達(dá)到10-2torr11、升溫功率：170kW；12、升溫速率：15℃/min（空載）；13、降溫速率：1450℃至80℃,240分鐘14、腔體尺寸：1000*1000*1000mm（寬*深*高）合肥真萍與您分享工業(yè)烤箱對(duì)如今市場(chǎng)的影響。浙江工業(yè)烤箱銷(xiāo)售價(jià)格

HMDS真空烤箱整機(jī)尺寸、真空腔體尺寸：1.內(nèi)膽尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架：2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍：溫度分辨率：0.1℃溫度波動(dòng)度：±0.5℃4.真空泵：油泵或無(wú)油真空泵。真空度：133pa，5.加熱方式：腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板（防止一側(cè)加熱使的HMDS液進(jìn)入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài)）6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片；6寸晶圓片；8寸晶圓片等。7.開(kāi)箱溫度可以由user自行設(shè)定來(lái)降低process時(shí)間（正常工藝在50分鐘-120分鐘（按產(chǎn)品所需而定烘烤時(shí)間），為正常工作周期不含降溫時(shí)間（因降溫時(shí)間為常規(guī)降溫）。嘉興無(wú)塵工業(yè)烤箱合肥真萍與您分享工業(yè)烤箱發(fā)揮的重要作用。

中溫氣氛箱式爐主要用于磷酸鐵鋰正極材料等類(lèi)似產(chǎn)品的高溫?zé)Y(jié)、熱處理。一、熱工系統(tǒng)1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區(qū)個(gè)數(shù)1個(gè)7.控溫點(diǎn)數(shù)2點(diǎn)8.熱偶K分度9.控溫穩(wěn)定度±1℃(恒溫平臺(tái))10.爐膛溫度均勻度±6℃（恒溫800℃,1h）二、氣氛系統(tǒng)1.爐膛氣氛2路氮?dú)?，流量?jì)量程為2～20L/min；每路流量可調(diào)節(jié)2.排氣系統(tǒng)在爐膛頂部設(shè)置一個(gè)排氣*囪，用于廢氣排放，廢氣3.經(jīng)過(guò)水封清洗后進(jìn)入大氣中，減少對(duì)環(huán)境污染4.氧含量配氧含量分析儀分析氧含量：5.高溫狀態(tài)氧含量≤10ppm+氣源氧含量6.低溫狀態(tài)氧含量≤50ppm+氣源氧含量三、冷卻系統(tǒng)1.冷卻結(jié)構(gòu)無(wú)2.產(chǎn)品降溫隨爐降溫3.安全保護(hù)4.報(bào)警指示超溫、斷偶、停水、停氣等聲光報(bào)警保護(hù)5.設(shè)備安全升溫速率≤5℃/min四、溫度控制系統(tǒng)1.溫度測(cè)量采用K分度熱偶測(cè)量2.控制儀表采用進(jìn)口智能調(diào)節(jié)儀控制。具有PID參數(shù)自整定、高溫3.上限報(bào)警、熱電偶失效指示等多項(xiàng)報(bào)警保護(hù)功能4.控制方式固態(tài)繼電器過(guò)零控制5.超溫處理⑴.當(dāng)測(cè)量溫度超過(guò)設(shè)定的安全值時(shí)，斷加熱，并報(bào)警。⑵.當(dāng)測(cè)量溫度超過(guò)目標(biāo)溫度達(dá)到安全偏差值時(shí)，報(bào)警。

工業(yè)烤箱的工作原理：工業(yè)烤箱在工作時(shí)，操作人員通過(guò)儀表和感溫器來(lái)獲得工業(yè)烤箱內(nèi)部的溫度值，在通過(guò)控制系統(tǒng)進(jìn)行操作。工業(yè)烤箱的熱風(fēng)循環(huán)加熱方式，與普通的散熱加熱方式相比，有著更好的氣體流動(dòng)性，能加快工業(yè)烤箱內(nèi)物料的干燥速度。通過(guò)數(shù)顯儀表與溫感器的連接來(lái)控制溫度,采用熱風(fēng)循環(huán)送風(fēng)方式，熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)分為水平式和垂直式。均經(jīng)精確計(jì)算，風(fēng)源是由送風(fēng)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)由電熱器，將熱風(fēng)送至風(fēng)道后進(jìn)入烘箱工作室，且將使用后的空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱運(yùn)用，如此可有效提高溫度均勻性。如箱門(mén)使用中被開(kāi)關(guān)，可借此送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)迅速恢復(fù)操作狀態(tài)溫度值。使用工業(yè)烤箱前的檢查步驟。

本產(chǎn)品是參照GB/T11158-1989，GB2423，2-1989干燥箱技術(shù)條件及中國(guó)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)研究制造，普遍應(yīng)用于電子液晶顯示，LCD,CMOS,IC，醫(yī)藥實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。技術(shù)指標(biāo)：可靠的測(cè)控系統(tǒng)1溫度控制裝置：進(jìn)口溫控器，內(nèi)置PID自動(dòng)整定，斜率設(shè)定功能2溫度控制方式為SSR固態(tài)繼電器功率調(diào)整輸出，溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶3溫度監(jiān)控裝置：采用六通道巡回檢測(cè)有紙記錄儀，可將烤箱內(nèi)實(shí)時(shí)環(huán)境溫度進(jìn)行檢測(cè)打印。完善的控制系統(tǒng)，及安全防護(hù)措施1操作控制系統(tǒng)，采用精密電子儀器儀表結(jié)合電力拖動(dòng)系統(tǒng)控制，更快速，更穩(wěn)定。2防護(hù)措施：緊急停止，超溫保護(hù),斷線(xiàn)報(bào)警，相序保護(hù)，過(guò)載保護(hù)，短路保護(hù)，漏電保護(hù)，及電磁門(mén)禁保護(hù)等。合肥真萍告訴您什么是工業(yè)烤箱？福州工業(yè)烤箱門(mén)把手

工業(yè)烤箱如何發(fā)揮重要作用呢？浙江工業(yè)烤箱銷(xiāo)售價(jià)格

下面為大家介紹一下高溫?zé)o氧固化烘箱。無(wú)氧干燥箱應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、***、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位，主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化，模壓固烤、IC（晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識(shí)別）、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干，電工產(chǎn)品、材料、零備件等的高溫潔凈和無(wú)氧環(huán)境中干燥和老化試驗(yàn)。1、技術(shù)指標(biāo)與基本配置：1.1使用溫度：RT～260℃，極限溫度：300℃；1.2爐膛腔數(shù):2個(gè),上下布置；1.3爐膛材料：SUS304鏡面不銹鋼；加熱元件：不銹鋼加熱器；熱偶：K分度1.4溫度和氧含量記錄:無(wú)紙記錄儀；2、氧含量（配氧分析儀）：2.1高溫狀態(tài)氧含量：≤10ppm+氣源氧含量;低溫狀態(tài)氧含量：≤20ppm+氣源氧含量2.2控溫穩(wěn)定度：±1℃；2.3溫度均勻度：±2%℃（260℃平臺(tái)）；浙江工業(yè)烤箱銷(xiāo)售價(jià)格