HMDS真空烤箱主要技術(shù)指標(biāo)：1.機(jī)外殼采用冷扎鋼板噴塑處理，內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門(mén)觀察工作室內(nèi)物體一目了然。2.箱門(mén)閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門(mén)封圈，確保箱內(nèi)高真空度。3.微電腦智能控溫儀，具有設(shè)定，測(cè)定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能，控溫精確，可靠。4.智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶(hù)根據(jù)不同制程條件改變程序，溫度，真空度及每一程序時(shí)間。5.HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì)，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無(wú)外漏顧慮。整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)良材料制造，無(wú)發(fā)塵材料，適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境。6HMDS管路加熱功能，使HMDS液體進(jìn)入箱體的前端管路加熱，使轉(zhuǎn)為HMDS氣態(tài)時(shí)更易。7.低液報(bào)警裝置，采用紅外液體感測(cè)器，能及時(shí)靈敏給出指令（當(dāng)HMDS液過(guò)低時(shí)發(fā)出報(bào)警及及時(shí)切斷工作起動(dòng)功能）8.溫度與PLC聯(lián)動(dòng)保護(hù)功能（當(dāng)PLC沒(méi)有啟動(dòng)程序時(shí)，加溫功能啟動(dòng)不了，相反加溫功能啟動(dòng)時(shí)，PLC程序不按正常走時(shí)也及時(shí)切斷工作功能，發(fā)出警報(bào)）9.整個(gè)箱體及HMDS氣體管路采用SUS316不銹鋼材料，整體使用無(wú)縫焊接（避免拼接導(dǎo)致HMDS液體腐蝕外泄對(duì)人體的傷害）工業(yè)烤箱使用時(shí)要考慮什么問(wèn)題？福建工業(yè)烤箱的廠(chǎng)家

石墨盤(pán)烤盤(pán)爐

一.產(chǎn)品介紹

真空烤盤(pán)爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體，爐內(nèi)抽真空，被處理工件放置在爐膛內(nèi)，采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗（清洗氣體：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂層石墨盤(pán)或石英盤(pán)）上的氮化鎵和氮化鋁等，可達(dá)到有效清潔處理，提高制品質(zhì)量的目的。

二、設(shè)計(jì)特點(diǎn)

1、后門(mén)設(shè)計(jì)熱風(fēng)電機(jī)

2、降溫時(shí)風(fēng)機(jī)開(kāi)啟，同時(shí)兩端降溫封頭開(kāi)啟，爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向

3、通過(guò)氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進(jìn)行熱交換，達(dá)到快速降溫的目的

三、技術(shù)指標(biāo)

1、使用溫度：1450℃；比較高溫度：1500℃；

2、絕熱材料：石墨纖維毯、石墨紙；

4、加熱元件：石墨加熱棒；

5、冷卻方式：氣冷 + 循環(huán)風(fēng)冷降溫；

6、控溫穩(wěn)定度：±2℃，具有PID參數(shù)自整定功能；

7、爐膛溫度均勻度：±5℃（恒溫1500℃）；

8、氣氛: 可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無(wú)油的高純度氮?dú)?純度≥99.999%；

9、極限真空: 10-3torr級(jí)；

10、抽氣速率：空載下，30min達(dá)到10-2torr

11、升溫功率：170kW；

12、升溫速率：15℃/min（空載）；

13、降溫速率：1450℃至80℃,240分鐘

14、腔體尺寸：1000*1000*1000mm（寬*深*高） 福建工業(yè)烤箱的廠(chǎng)家工業(yè)烤箱如何發(fā)揮重要作用？合肥真萍告訴您。

質(zhì)量連續(xù)爐的適用范圍：連續(xù)爐即是連續(xù)作業(yè)爐，是指連續(xù)地或間歇地裝料，工件在爐內(nèi)不斷移動(dòng)，完成加熱、保溫，有時(shí)包括冷卻在內(nèi)全過(guò)程的熱處理爐。連續(xù)作業(yè)爐可借助某些機(jī)械機(jī)構(gòu)連續(xù)地或間歇地進(jìn)行裝料和出料，連續(xù)順序地通過(guò)按零件處理工藝要求的不同溫度區(qū)完成加熱過(guò)程。使用連續(xù)作業(yè)爐可提高產(chǎn)品質(zhì)量，提高勞動(dòng)生產(chǎn)率和改善勞動(dòng)條件。使用于電子、電機(jī)、通訊、電鍍、塑料、五金化工、食品、印刷、制藥、PC板、粉體、含浸、噴涂、玻璃、陶瓷、木器建材……等等的精密烘烤、烘干、回火、預(yù)熱、定型、加工等。

高溫鐘罩爐設(shè)備規(guī)格及結(jié)構(gòu)爐膛結(jié)構(gòu)：采用多晶莫來(lái)石材料砌筑而成外形尺寸：W1300×H2200×D1510(mm)一、熱工系統(tǒng)1.1額定溫度：1550℃1.2限制溫度：1600℃1.3加熱元件：U型硅鉬棒1.4加熱功率：16kW1.5空爐保溫功率≤8kW1.6溫區(qū)個(gè)數(shù)：1個(gè)1.7控溫點(diǎn)數(shù)：1點(diǎn)1.8熱偶:B分度1.9程序**精度：±2℃（大于600℃,升溫速率≤3℃/min）二、氣氛系統(tǒng)2.1爐膛氣氛：2路空氣，流量計(jì)量程為7～70L/min；每路流量可調(diào)節(jié)2.2排氣系統(tǒng)：在爐膛頂部設(shè)置一個(gè)排氣*囪，用于廢氣排放三、傳動(dòng)系統(tǒng)3.1傳動(dòng)方式：升降式3.2傳動(dòng)類(lèi)型：電動(dòng)推桿傳動(dòng)3.3容積：20L四、冷卻系統(tǒng)4.1冷卻結(jié)構(gòu)：無(wú)4.2產(chǎn)品降溫：隨爐降溫五、安全保護(hù)5.1升、降、停按鈕：載料臺(tái)的升、降、停控制5.2報(bào)警指示：超溫、斷偶、過(guò)載、超程、偏差等聲光報(bào)警5.3設(shè)備安全升溫速率≤5℃/min六、溫度控制系統(tǒng)6.1溫度測(cè)量:采用B分度熱偶測(cè)量6.2控制方式：高性能移相調(diào)壓+SCR晶閘管模塊控制6.3限溫處理：6.3.1當(dāng)測(cè)量溫度超過(guò)設(shè)定的安全值時(shí)，斷加熱，并報(bào)警6.3.2當(dāng)測(cè)量溫度超過(guò)目標(biāo)溫度達(dá)到限制偏差值時(shí)，報(bào)警6.4控制儀表：采用進(jìn)口智能調(diào)節(jié)儀控制。具有PID參數(shù)自整定、高溫上限報(bào)警、熱電偶失效指示等多項(xiàng)報(bào)警保護(hù)功能合肥真萍告訴您工業(yè)烤箱如何去使用呢？

下面為大家介紹一下六腔體無(wú)塵烤箱

箱體結(jié)構(gòu)：

1烘箱總體由箱體部分，電氣控制柜部分，電加熱部分，風(fēng)道部分，塵埃物過(guò)濾部分，N2 進(jìn)氣排氣及風(fēng)冷部分等組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，功能實(shí)用。

2外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵，內(nèi)膽材料：采進(jìn)口SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經(jīng)堿性蘇打水清潔有效的防止了機(jī)臺(tái)本身灰塵的產(chǎn)生。

3保溫材料：采用正廠(chǎng)玻璃纖維公司出品的100K級(jí)高密度保溫板填充，有效的防止了熱能浪費(fèi)。

4電熱部分：采用進(jìn)口覆套式電熱器（SHEATHED HEATER）無(wú)塵無(wú)氧化電熱發(fā)生器

5風(fēng)道部分：整體結(jié)構(gòu)采用了水平送風(fēng)的方式由左向右送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A，(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))過(guò)濾效果可達(dá)99.99%,Class100；

可靠先進(jìn)的測(cè)控系統(tǒng)

1溫度控制裝置：日本進(jìn)口溫控器，內(nèi)置PID自動(dòng)整定，斜率設(shè)定功能

2溫度控制方式為SSR固態(tài)繼電器功率調(diào)整輸出，溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶

3溫度監(jiān)控裝置：采用日本六通道巡回檢測(cè) 有紙記錄儀，可將烤箱內(nèi)實(shí)時(shí)環(huán)境溫度進(jìn)行檢測(cè)打印。

完善的控制系統(tǒng)

1操作控制系統(tǒng)，采用精密電子儀器儀表結(jié)合電力拖動(dòng)系統(tǒng)控制，更快速，更穩(wěn)定。

2防護(hù)措施：緊急停止，超溫保護(hù),斷線(xiàn)報(bào)警，相序保護(hù)，過(guò)載保護(hù)等。 合肥真萍工業(yè)烤箱的運(yùn)用領(lǐng)域。工業(yè)烤箱維修

合肥真萍與您分享工業(yè)烤箱的重要性。福建工業(yè)烤箱的廠(chǎng)家

電腦式潔凈節(jié)能氮?dú)夤裰饕獞?yīng)用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞，解決探針卡潮濕及氧化問(wèn)題解決光罩的受潮問(wèn)題---黃光部封裝的金線(xiàn)，解決液晶的受潮問(wèn)題，解決線(xiàn)路板受潮問(wèn)題。過(guò)濾系統(tǒng)：2.1EBM電子式EC馬達(dá)控制無(wú)塵室FFU。2.2鏡面不銹鋼結(jié)構(gòu)體。2.3特殊導(dǎo)流風(fēng)道設(shè)計(jì)，風(fēng)壓平均，可有效提供風(fēng)量，降低噪音。2.4電路板控制模塊，提供安全保護(hù)裝置，運(yùn)轉(zhuǎn)異常指示燈及控制干接點(diǎn)輸出。2.5無(wú)段式風(fēng)量調(diào)速器可任意調(diào)整風(fēng)量大小。2.6濾網(wǎng)ULPA，0.12μm，99.9995%以上的過(guò)濾效果。2.7電力規(guī)格：?jiǎn)蜗?20V50Hz0.95A，輸出功率150W。福建工業(yè)烤箱的廠(chǎng)家