在使用氦檢儀時(shí)要如何保養(yǎng)？①如果儀器不是每天都使用，建議每周啟動(dòng)并檢查一次，以保持儀器的高真空系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，在后期使用過程中可以縮短儀器的啟動(dòng)時(shí)間。②儀器部件（如離子源）拆卸后，安裝過程中應(yīng)避免在安裝現(xiàn)場(chǎng)發(fā)生泄漏，儀器可用于泄漏檢測(cè)。③及時(shí)對(duì)泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自檢。）可能出現(xiàn)在儀器上，并在發(fā)現(xiàn)泄漏點(diǎn)后及時(shí)移除、清潔或緊固，以免在泄漏檢測(cè)過程中干擾泄漏檢測(cè)。④氦檢儀維護(hù)定期維護(hù)油泵。（散熱口粉塵處理及泵油的檢查和更換）⑤嚴(yán)禁在氦檢儀上，尤其是進(jìn)氣口處掉落或噴灑任何異物。由于氦檢儀是一種高精度儀器，其儲(chǔ)存和使用環(huán)境應(yīng)保持清潔衛(wèi)生。只有經(jīng)過培訓(xùn)或合格的設(shè)備維護(hù)工程師才能使用該儀器。⑥使用時(shí)，請(qǐng)注意儀器的操作。一旦出現(xiàn)大振動(dòng)、高噪音等狀況時(shí)，儀器在操作過程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵正在高速運(yùn)轉(zhuǎn)。如果泄漏檢測(cè)器移動(dòng)，渦輪分子泵中的葉片將很容易與轉(zhuǎn)子的圓筒碰撞。立即切斷電源并排除故障，否則會(huì)對(duì)氦檢儀造成不良影響。掌握和了解氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障的維修技術(shù)，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng)。無損氦檢儀價(jià)錢

氦質(zhì)譜檢漏儀的日常維護(hù)：1.定期檢查機(jī)械泵的油位，如不足足應(yīng)及時(shí)添加；如果機(jī)械泵的油是棕色、褐色或聞起來有糊狀的味道，這意味著油已經(jīng)惡化了。此時(shí)，應(yīng)釋放泵中的油，必要時(shí)，先用新油沖洗，然后注入新油。2.定期清洗或更換機(jī)械泵的排氣管。如果排氣管中有大量油滴，可以從氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器中取出，然后清洗，然后用熱風(fēng)吹干或自然晾干。使用氦質(zhì)譜檢漏儀常用的方法大體可分為三種，即噴氦法（負(fù)壓法），正壓法，氦罩法。就幾種方法的靈敏度比較而言，噴氦法的靈敏度高些。但是當(dāng)檢漏儀安裝在大型的、比較復(fù)雜的壓力容器裝置上時(shí)，也不敢確切地說噴氦法的靈敏度就是高。分體式氦氣檢測(cè)設(shè)備費(fèi)用氦檢儀適用于工業(yè)、分析研究、鍍膜市場(chǎng)等。

氦檢儀怎么選，這取決于客戶的需求：應(yīng)用類型：(例如：生產(chǎn)，維護(hù)等)-干式/傳統(tǒng)的油泵?性能：(進(jìn)入檢漏模式所需要的時(shí)間，靈敏度，響應(yīng)時(shí)間，恢復(fù)時(shí)間，初抽的能力)。重量以及大小。氦氦檢儀的性能衡量，主要是通過以下參數(shù)：初抽的能力：(m3/h)，檢測(cè)允許的較大進(jìn)氣口壓力：(mbar)，進(jìn)入檢測(cè)模式所需要的時(shí)間：(s)，氦抽速：(l/s))靈敏度，較低可測(cè)的氦信號(hào)：(mbar.l/s)，響應(yīng)時(shí)間：(s)，恢復(fù)時(shí)間：(s)，初抽能力：將決定進(jìn)入檢測(cè)模式的時(shí)間)將決定是否只使用氦檢儀進(jìn)行檢測(cè)就可以(是否需要輔助泵)。檢測(cè)允許的較大進(jìn)氣口壓力：〉將決定進(jìn)入檢測(cè)模式所需要的時(shí)間。進(jìn)入檢測(cè)模式所需要的時(shí)間：是由初抽能力和檢測(cè)允許的較大壓力共同決定的。其他可能會(huì)影響檢測(cè)時(shí)間的參數(shù)：腔體的脫氣以及非常大的泄漏。

氦檢儀漏率的校準(zhǔn)方法：一、環(huán)境條件，校準(zhǔn)環(huán)境溫度為(23±5)℃，校準(zhǔn)過程中室溫變化不超過±1℃，環(huán)境相對(duì)濕度不大于80%。校準(zhǔn)設(shè)備周圍應(yīng)無明顯的溫差、氣流和強(qiáng)電磁場(chǎng)等外部干擾。環(huán)境溫度較好控制在23℃附近，因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)漏孔的出廠標(biāo)稱漏率對(duì)應(yīng)的環(huán)境溫度一般為23℃。二、標(biāo)準(zhǔn)器的選擇，標(biāo)準(zhǔn)器采用滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔，漏率標(biāo)稱值在(10-6～10-10)Pa·m3/s，不確定度不大于10%。精密玻璃溫度計(jì)，測(cè)量范圍(0～50)℃，不確定度U=0.04℃，k=2。氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù)，它是儀器在出廠時(shí)經(jīng)過校準(zhǔn)的在較佳條件下所能實(shí)現(xiàn)的儀器靈敏度。

氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)注意事項(xiàng)：1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機(jī)檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時(shí)的開機(jī)時(shí)間2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。3.適時(shí)對(duì)儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自身檢漏，發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)后要及時(shí)取下清洗或固緊，以免在檢漏時(shí)干擾檢漏工作。4.氦質(zhì)譜檢漏儀維修每隔一段時(shí)間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）。5.禁止任何外來物掉在或?yàn)⒃诤べ|(zhì)譜檢漏儀上，尤其是進(jìn)氣口中，由于氦質(zhì)譜檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴(kuò)散檢漏。移動(dòng)式氦氣檢測(cè)儀使用方法

氦檢儀噴氦法檢測(cè)靈敏度高，可精確定位。無損氦檢儀價(jià)錢

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺(tái)、電子束蒸發(fā)臺(tái)、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間，耗時(shí)耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會(huì)對(duì)晶元造成污染，對(duì)半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏；3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會(huì)失效。綜上所述，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。無損氦檢儀價(jià)錢

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