氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用讓我國許多設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)情況得到了更好的監(jiān)控，特別是在一些真空設(shè)備的質(zhì)量檢驗(yàn)之中，應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏儀已經(jīng)成為了一種常見的事項(xiàng)。氦質(zhì)譜檢漏儀自身的能力和使用情況的直接影響到了設(shè)備的檢測準(zhǔn)度，所以選擇合適的氦質(zhì)譜檢漏儀很重要。氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇：1、如果被檢對對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低時，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。2、如果檢漏地點(diǎn)不固定，需要經(jīng)常搬運(yùn)氦質(zhì)譜檢漏儀時，就要選擇小型便攜式儀器。3、在滿足上述檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮氦質(zhì)譜檢漏儀的價格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。氦檢儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計。智能氦氣檢測機(jī)大概多少錢

選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時主要考慮以下問題：1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合檢漏；有些儀器沒有報廢漏率的設(shè)置功能，不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應(yīng)選擇有雙工位的檢漏儀。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認(rèn)真選擇。3、被檢件如果害怕油的污染，就應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的檢漏儀。4、被檢件容積如果較大，必須選用抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預(yù)抽泵。小型氦檢設(shè)備費(fèi)用氦質(zhì)譜檢漏儀的電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同。

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染，對半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏；3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會失效。綜上所述，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。

氦檢儀在使用過程中需特別注意以下幾點(diǎn)：①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi)，電壓過低儀器啟動困難，且性能不穩(wěn)定，電壓過高會燒壞電源，嚴(yán)重時還會燒毀母板的電路板和分子泵，應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS)。②儀器在運(yùn)行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中，若搬動氦檢儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。③氦檢儀應(yīng)按照說明書的要求定期進(jìn)行保養(yǎng)，保養(yǎng)的項(xiàng)目有更換機(jī)械泵油、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器。④氦檢儀在運(yùn)行了2000h后應(yīng)對前級泵進(jìn)行維修和保養(yǎng)，運(yùn)行7000h分子泵進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)。氦檢儀噴氦法檢測靈敏度高，可精確定位。

氦檢儀中沒有手動閥，現(xiàn)已采用自控閥自動調(diào)節(jié)運(yùn)轉(zhuǎn)時的誤差。同時用渦輪分子泵取代了油擴(kuò)散泵,以消除可能造成的油返流。計算機(jī)技術(shù)也在氦檢儀中獲得應(yīng)用。運(yùn)轉(zhuǎn)、控制和輸出數(shù)據(jù)均由計算機(jī)自動操作完成。典型的示波器已由陰端射線管顯像屏所代替。整個操作只須按各種按鈕自動進(jìn)行。氦檢儀現(xiàn)在已經(jīng)滲透到航空航天、新能源、電子器件、閥門、電力、核電、制冷、家電等行業(yè)。氦檢儀在未來的歲月中還將在許多的工業(yè)領(lǐng)域中得到新的應(yīng)用。氦檢儀質(zhì)量范圍很寬，不只可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統(tǒng)取代擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng)，不只解決了油蒸氣對質(zhì)譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機(jī)做出了很大貢獻(xiàn)。檢漏過程中，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)人氦質(zhì)譜檢漏儀，應(yīng)立即移去吸口?？椭苹鈾z測設(shè)備價格

氦質(zhì)譜檢漏儀是對比性測試儀器。智能氦氣檢測機(jī)大概多少錢

氦檢儀在壓力容器中的常用方法有哪些？正壓法，正壓法是先向壓力容器裝置中充入一個以上的大氣壓的氦氣或氦氣與其他氣體的混合氣，從壓力容器裝置的外部檢測從漏孔泄漏到外部的氦氣，進(jìn)而發(fā)現(xiàn)漏孔。用吸頭尋找氦氣時，一旦氦氣被吸入，氦氦檢儀就會顯示出漏率值。在這種情況下，因?yàn)閴毫θ萜餮b置外部是一個大氣壓，所以充入壓力容器裝置內(nèi)的氣體壓至少需要一個大氣壓以上。但壓力不宜過高，壓力過高，插在裝置上的壓力表或其它插件就會彈出而發(fā)生傷人等危險事故。智能氦氣檢測機(jī)大概多少錢

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