氦檢儀在真空度校驗中有什么應用?氦是一種惰性氣體,不會對設備產生腐蝕,不與真空器件起化學反應,無毒,也不會污染環(huán)境,因此使用起來也十分安全。對容器環(huán)境和質譜環(huán)境干擾較小,常作為泄漏氣體使用。在接有氦檢儀(即調整到只對氦氣反應的工作狀態(tài)的氣體剖析儀)的被檢容器上噴射該氣體,如果容器有漏孔,分析儀就會發(fā)出響聲,從而知道漏孔的位置和漏氣量。氦質譜檢測泄漏技術是真空檢測領域中不可缺少的一項技術,由于其檢測效率高、簡便易行、儀器反應靈敏、準確度高、不受其它氣體干擾等特點,在電阻爐檢測泄漏中被普遍應用。氦質譜檢漏儀安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏,可用儀器進行自身檢漏。國產氦檢設備原理
隨著汽車行業(yè)的迅猛發(fā)展,汽車空調行業(yè)對氦檢的需求越來越大,對氦檢的性能指標要求越來越高。氦檢儀在汽車空調蒸發(fā)器、冷凝器和壓縮機檢漏上在擁有氦氣檢漏的普遍優(yōu)點的同時,更具備操作方便、工作節(jié)拍快、誤判率低等獨有特點。對被檢工件抽空后充入一定壓強的氦氣,被檢工件外面是具有一定真空度要求的真空箱,真空箱與氦檢儀檢漏口相接。若被檢工件有漏,則漏入真空箱的氦氣可通過氦檢儀測出。與被檢工件相連的是充氣回收裝置,在檢漏前后分別實現(xiàn)氦氣的充鑄和回收。電廠使用氦檢儀主要是對汽輪機內部真空系統(tǒng)的檢漏,還有冷凝罐的檢漏,由于每一個環(huán)節(jié)如果有泄漏的話都會增加生產成本,所以電廠檢漏在實際生產中是非常重要的。氦檢儀在電廠檢漏領域被普遍使用。移動式氦檢儀原理氦檢儀是磁偏轉型的質譜分析計。
氦檢儀的組成部分有哪些?真空系統(tǒng),儀器的真空系統(tǒng)提供質譜正常工作所需要的真空條件,不同型號的氦檢儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。真空系統(tǒng)一般包括:1)主泵。一般用擴散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-1Pa,其抽速應與氣載匹配。2)前級真空泵。一般采用旋片式機械真空泵,在以分子示為主泵的系統(tǒng)中,也有采用薄膜泵或干泵的。抽速與主泵匹配。3)預抽真空泵。一般與前級真空泵共同一個泵,預抽真空泵一般采用旋片式機械真空泵,其抽速視被檢件大小而定,因此預抽真空泵大都由用戶自配。
氦檢儀作為一種磁偏轉型質譜分析儀器,結構上分單級磁偏轉型和雙級串聯(lián)偏轉性,而在結構組成上,大部分氦檢儀就是由質譜室、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的:質譜室是這種真空氦檢儀器的心臟,又包括離子源、分析器、收集器、前級放大器、冷陰極電離真空計等組成部分;真空系統(tǒng)用于為質譜室提供真空工作條件,保證氦離子的傳輸率;電氣系統(tǒng)的重點功能就是為質譜室供電與測量。另外在有些條件下,氦質譜檢漏可能還會需要輔助真空系統(tǒng),完成一些預抽、保證氦檢儀真空度等工作。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。
氦檢儀在使用過程中,較常見的故障就是燈絲脆斷,氦檢儀燈絲多采用鎢錸合金絲制作。氦檢儀燈絲壽命如何延長?造成氦檢儀燈絲脆斷的原因:1.真空度低;2.燈絲電流過大;3.對燈絲有害的氣體氣壓太高(氧化性氣體、水蒸氣、氫氣)。那么,在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環(huán)境下長時間開啟,或者說盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長氦檢儀的燈絲壽命。如:1.使用中盡量將預置真空開關空擋;2.避免電離室泄入有害氣體(氧化性氣體、水蒸氣、氫氣)。氦檢儀不只靈敏度高,而且操作方便;無損氦檢機注意事項
氦檢儀能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。國產氦檢設備原理
氦檢儀測量數(shù)據(jù)處理:漏率示值誤差,①漏率的溫度修正,標準漏孔漏率易受溫度變化影響,溫度對標準漏孔漏率的影響一般為3%/℃ ,所以如果實際環(huán)境溫度和標準漏孔證書中溫度不一致,需要將標準漏孔證書中漏率和標準漏孔漏率的氦檢儀示值修正至同一環(huán)境溫度下來計算,并在測試結果中加以說明,修正方法如下:方法一: 將標準漏孔證書中的漏率修正至實際環(huán)境溫度下,用標準漏孔證書中的漏率加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數(shù)計算值;方法二: 將標準漏孔漏率的氦檢儀示值平均值修正至標準漏孔證書中環(huán)境溫度下,用標準漏孔漏率的氦檢儀示值平均值加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數(shù)計算值。國產氦檢設備原理
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